紫(zǐ)外綫照(zhào)射(shè)裝(zhuāng)置(zhì)SUN ENERGY 紫外(wài)臭(chòu)氧(yǎng)清洗儀

紫(zǐ)外(wài)綫照(zhào)射裝置(zhì)SUN ENERGY 紫外臭氧(yǎng)清洗儀

SKM係列機(jī)器人將工件(jiàn)
從(cóng)供料區運(yùn)送(sòng)到存(cún)儲區。

| 獨立式機(jī)器(qì)人運輸型 | 用於大(dà)規模生(shēng)產(chǎn) |
 

這(zhè)是一(yī)款適用(yòng)於大規(guī)模(mó)生產(chǎn)的(dí)獨立式(shì)機器人(rén)運輸設備，可根據(jù)您的(dí)需求(qiú)進行(háng)定製(zhì)。

根(gēn)據您的需求(qiú)定製

這套(tào)紫外綫(xiàn)照射(shè)設備(bèi)配備了(liǎo)機(jī)械(xiè)臂清洗機器人。它可以自(zì)動對尺寸達(dá) 12 英寸的晶圓執行(háng)一(yī)係列操(cāo)作(zuò)，包(bāo)括(kuò)供料(liào)→運輸→紫外綫處理→存(cún)儲(chǔ)。

追求(qiú)舒適的(dí)操(cāo)作體驗

配備用(yòng)於(yú)晶(jīng)圓(yuán)轉(zhuǎn)移(yí)的(dí)理想(xiǎng)機械臂(bì)清(qīng)洗機器(qì)人(rén)，能夠(gòu)以(yǐ)高(gāo)速，
高(gāo)精度。此外(wài)，我們(mén)還(huán)提供(gōng)多種高(gāo)精度轉(zhuǎn)移設備，可處理(lǐ)除晶圓以(yǐ)外的其(qí)他(tā)工件。
 
機械臂

支(zhī)持(chí)最大 300 毫(háo)米（12 英寸）的晶(jīng)圓(yuán)

我們(mén)可以(yǐ)製造適用於最大(dà)尺寸(cùn)為(wéi) 300 毫米（12 英(yīng)寸）的(dí)設備(bèi)。
我們還可(kě)以根據玻璃基板(bǎn)等非(fēi)晶(jīng)圓(yuán)材(cái)料(liào)的形狀(zhuàng)和尺(chǐ)寸(cùn)，為其(qí)推薦最佳(jiā)的紫外綫照射(shè)設(shè)備。
 
晶(jīng)圓

采用紫(zǐ)外照(zhào)度測量(liáng)模式(shì)可實(shí)現穩定處理

紫外(wài)燈(dēng)的輻照(zhào)度會隨時間(jiān)推移而(ér)降低(dī)。紫外輻照度測(cè)量(liáng)模(mó)式會在(zài)處(chǔ)理前(qián)自(zì)動(dòng)測(cè)量輻照度(dù)，並(bìng)根據(jù)測得的(dí)輻照度值自(zì)動(dòng)計算(suàn)和設(shè)置(zhì)所需(xū)的(dí)照(zhào)射時間。這(zhè)確保了在恒定(dìng)的紫外(wài)照射(shè)量下(xià)進(jìn)行穩(wěn)定(dìng)的處(chǔ)理。

燈(dēng)光(guāng)設計技(jì)術(shù)

我們運用光學設計(jì)技術計(jì)算紫外綫(xiàn)照(zhào)射量(liáng)，優化(huà)紫(zǐ)外綫燈(dēng)的布(bù)置，並將紫外綫均(jūn)匀分(fēn)布在(zài)有效照(zhào)射區(qū)域，從而(ér)實現高(gāo)效(xiào)，精準的(dí)性能(néng)設(shè)計。我們(mén)
還可根據(jù)客戶(hù)需(xū)求，例如工件的加工溫度和(hé)所需的照(zhào)明(míng)強(qiáng)度，提(tí)供優化的(dí)紫外綫照射設(shè)備。
 

使用(yòng)起來更安全

這是一(yī)款安(ān)全的紫外綫(xiàn)照射裝(zhuāng)置(zhì)，不(bù)會向外(wài)泄漏臭氧或(huò)紫(zǐ)外綫。它(tā)
標配(pèi)聯鎖功能，當(dāng)燈(dēng)亮著(zhuó)時，如(rú)果門打(dǎ)開，燈會自(zì)動關閉。

臭(chòu)氧排氣風機(jī)和(hé)軟管(guǎn)均為標準(zhǔn)配置。

紫(zǐ)外綫(xiàn)燈產(chǎn)生(shēng)的臭氧(yǎng)可通過風(fēng)機排出(chū)，同時(shí)紫外(wài)綫燈也需要冷卻。排出的臭氧(yǎng)應(yīng)排(pái)放到室外，或(huò)先用(yòng)催化(huà)劑或其(qí)他方(fāng)法(fǎ)分(fēn)解(jiě)後再排(pái)放。