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ARROWS玉(yù)崎小(xiǎo)王子單臂(bì)機(jī)器人電(diàn)機馬達

可以(yǐ)通過改(gǎi)變(biàn)電壓暫(zàn)降發生後(hòu)僅0.001秒(miǎo)檢測並(bìng)備(bèi)份的設置,將電壓暫(zàn) 降備(bèi)份(fèn)1秒(miǎo)或(huò)長達(dá)30秒(可(kě)選(xuǎn)) ,從而輕(qīng)鬆(sōng)充電或(huò)瞬間(jiān)提供(gōng)大電流。○重量輕,體積(jī)小,無噪音,安全 由(yóu)於沒(méi)有(yǒu)電(diàn)池或風扇,因此重量輕,體(tǐ)積小,無噪音。
ARROWS玉(yù)崎小(xiǎo)王子單(dān)臂(bì)機器(qì)人(rén)電(diàn)機馬(mǎ)達

  • 產(chǎn)品型(xíng)號:NC-M0001-01
  • 廠商性質:經銷商
  • 更(gēng)新時間:2025-11-02
  • 訪(fǎng)  問  量:742
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ARROWS玉(yù)崎小(xiǎo)王(wáng)子單(dān)臂機(jī)器人電機馬達(dá)

ARROWS玉崎小王(wáng)子單(dān)臂機(jī)器(qì)人電機(jī)馬(mǎ)達


這是盒式(shì)到盒式(shì)自(zì)動晶圓邊(biān)緣檢(jiǎn)查機。每(měi)張檢查時間(jiān)為 10 秒(miǎo),節拍時間(jiān)為 30 秒,實(shí)現了(liǎo)高吞吐量。機(jī)器(qì)人從25片(piàn)晶圓(yuán)存儲盒中一(yī)張(zhāng)一張(zhāng)取(qǔ)出晶(jīng)圓(yuán),進行(háng)自動(dòng)對(duì)準,檢查(chá),然後將(jiāng)其(qí)存儲在(zài)晶(jīng)圓盒(hé)中(zhōng)。易(yì)於(yú)操作(zuò)。
可以自動檢查(chá)劃痕(hén),異物,缺(quē)口和裂紋等(děng)缺陷。
我們(mén)在每張(zhāng) 30 秒內(包(bāo)括運輸時間)進(jìn)行高(gāo)速(sù)檢(jiǎn)查。
這是一款(kuǎn)增加了新功能,更容易使(shǐ)用的高(gāo)精(jīng)度檢查(chá)機(jī)。
緊湊且省電的設(shè)計。交流(liú)100V8A
外形尺(chǐ)寸(cùn) w1200×d900×h1600mm 重(zhòng)量(liáng) 160kg
隻需放(fàng)置好晶(jīng)圓盒並(bìng)按下操作(zuò)按鈕(niǔ),機器(qì)人(rén)就會(huì)將(jiāng)晶圓一(yī)張(zhāng)一張取出並輸(shū)送至檢(jiǎn)測站。圖(tú)像(xiàng)對(duì)準後(hòu),晶(jīng)圓(yuán)的外邊緣(yuán)和三個頂(dǐng)麵和底(dǐ)麵同(tóng)時(shí)被(bèi)拍(pāi)照(zhào)並檢(jiǎn)查是否有劃痕,異物(wù),裂紋和(hé)缺口等(děng)缺陷(xiàn),然(rán)後返(fǎn)回(huí)到晶圓(yuán)盒(hé)中(zhōng)。

通(tōng)過吸(xī)附在晶圓背麵(miàn)進(jìn)行檢(jiǎn)查,相機識別凹口(kǒu)/定向(xiàng)平麵(miàn)並對其進行(háng)最(zuì)佳(jiā)控(kòng)製。

≪特(tè)點≫

1. 可(kě)以(yǐ)同時進(jìn)行(háng)三(sān)個邊緣(yuán)成像(xiàng),整(zhěng)個晶圓(yuán)周(zhōu)邊(biān)成像以(yǐ)及(jí)缺陷檢(jiǎn)查(chá)。

2. 三(sān)光(guāng)學係(xì)統允許使(shǐ)用一台綫相機檢(jiǎn)查三個表(biǎo)麵。
3. 集(jí)成照明為邊緣檢查(chá)創造了(liǎo)理(lǐ)想的(dí)照明(míng)。
4. 可以(yǐ)進行包(bāo)括定向平麵(miàn)/缺(quē)口在(zài)內的外觀檢查。(僅檢(jiǎn)查(chá)凹(āo)口的斜麵(miàn)。)
5. 高性能(néng),測(cè)量(liáng)分辨率(shuài)為10μm,檢測缺陷(xiàn)尺寸為(wéi)20μm,通過(guò)/失(shī)敗判斷(duàn)缺(quē)陷(xiàn)為50μm。

≪功能(néng)≫
1. 自(zì)動對準機構:利(lì)用(yòng)圖像(xiàng)自(zì)動對準晶(jīng)圓(yuán)中心和(hé)檢查中(zhōng)心。
2. 三麵(miàn)獨立設置(zhì):可(kě)進行檢驗條(tiáo)件配(pèi)方(fāng)和照明(míng)設置。
3. 復檢功(gōng)能:可對判定為NG的(dí)晶圓進行目(mù)視復(fù)檢(jiǎn)。
4. 顯示更改功能:通(tōng)過(guò)放大(dà)和(hé)反轉功能,現(xiàn)在可(kě)以(yǐ)更(gēng)輕鬆(sōng)地(dì)查看(kàn)原始(shǐ)圖(tú)像。
5. 大(dà)的汙(wū)垢(gòu)和標(biāo)記可(kě)以(yǐ)與(yǔ)缺陷(xiàn)分開。檢驗點
同時(shí)拍(pāi)攝晶片的邊緣(yuán)表麵(miàn)A,頂表麵B和底(dǐ)表(biǎo)麵C的圖(tú)像。三光(guāng)學(xué)係統允許從(cóng)兩(liǎng)側檢查(chá)斜(xié)麵,從(cóng)而可以跨邊(biān)界(jiè)檢(jiǎn)查(chá)缺(quē)陷(xiàn)。





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