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ARROWS玉崎小(xiǎo)王(wáng)子(zǐ)單臂機器人電機(jī)馬(mǎ)達(dá)

可以(yǐ)通過(guò)改變電壓暫降發(fā)生後僅0.001秒檢(jiǎn)測並(bìng)備份(fèn)的設置(zhì)，將電(diàn)壓暫(zàn) 降備份1秒或(huò)長(cháng)達(dá)30秒(miǎo)（可(kě)選），從(cóng)而(ér)輕(qīng)鬆充電或瞬間提(tí)供(gōng)大電流。○重量輕(qīng)，體積小，無噪(zào)音(yīn)，安全由(yóu)於沒有電(diàn)池或風扇(shàn)，因此(cǐ)重量輕(qīng)，體積(jī)小(xiǎo)，無噪(zào)音。
ARROWS玉(yù)崎(qí)小王子單(dān)臂機器人電機馬達(dá)

產品型號(hào)：NC-M0002-01
廠商(shāng)性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商(shāng)
更新(xīn)時(shí)間(jiān)：2025-11-02
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ARROWS玉(yù)崎小王子單臂機器人電(diàn)機馬達

ARROWS玉(yù)崎小(xiǎo)王(wáng)子單(dān)臂機(jī)器人電機馬達

這是(shì)盒式到(dào)盒式自動(dòng)晶圓(yuán)邊緣(yuán)檢(jiǎn)查(chá)機。每張(zhāng)檢查(chá)時間(jiān)為(wéi) 10 秒，節拍時(shí)間(jiān)為 30 秒(miǎo)，實現(xiàn)了(liǎo)高吞吐量(liáng)。機器人從(cóng)25片晶圓(yuán)存(cún)儲(chǔ)盒中(zhōng)一(yī)張一(yī)張(zhāng)取出晶圓，進行(háng)自(zì)動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，檢查，然(rán)後將其(qí)存儲(chǔ)在晶(jīng)圓盒(hé)中。易於操(cāo)作。

可以(yǐ)自(zì)動檢查(chá)劃痕，異物，缺(quē)口和(hé)裂(liè)紋等缺陷(xiàn)。

我們(mén)在(zài)每張 30 秒(miǎo)內（包(bāo)括運輸時間）進行高速檢查(chá)。

這是(shì)一款增加了新(xīn)功能，更(gēng)容(róng)易使(shǐ)用的(dí)高精度檢查(chá)機。

緊(jǐn)湊(còu)且省(shěng)電(diàn)的設計。交流(liú)100V8A

外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重(zhòng)量 160kg

隻(zhī)需放置好晶(jīng)圓盒並(bìng)按下(xià)操作(zuò)按(àn)鈕，機(jī)器(qì)人就(jiù)會將晶圓一張(zhāng)一張取出並輸送至檢(jiǎn)測站(zhàn)。圖像對準後，晶(jīng)圓的外(wài)邊緣和三(sān)個頂(dǐng)麵和(hé)底麵同(tóng)時被拍照(zhào)並檢查是否有劃痕(hén)，異物(wù)，裂紋(wén)和(hé)缺口等(děng)缺陷，然(rán)後(hòu)返回到晶(jīng)圓(yuán)盒中。

通(tōng)過(guò)吸(xī)附在(zài)晶圓背(bèi)麵(miàn)進(jìn)行檢查(chá)，相(xiāng)機(jī)識別(bié)凹口(kǒu)/定(dìng)向(xiàng)平(píng)麵(miàn)並對(duì)其(qí)進行(háng)最佳控(kòng)製(zhì)。

≪特(tè)點(diǎn)≫

1. 可(kě)以同時(shí)進行三(sān)個邊緣(yuán)成像(xiàng)，整(zhěng)個晶(jīng)圓周邊(biān)成(chéng)像以(yǐ)及(jí)缺陷(xiàn)檢查。

2. 三光學係(xì)統(tǒng)允(yǔn)許(xǔ)使用(yòng)一台綫(xiàn)相(xiāng)機檢查三個表麵。

3. 集成照明(míng)為邊緣(yuán)檢查創造(zào)了(liǎo)理(lǐ)想的(dí)照明。

4. 可以進行(háng)包(bāo)括定向平麵/缺(quē)口(kǒu)在(zài)內的外觀(guān)檢查。（僅檢(jiǎn)查(chá)凹口的斜(xié)麵。）

5. 高性能，測量(liáng)分(fēn)辨率為10μm，檢測缺陷(xiàn)尺寸為20μm，通過(guò)/失(shī)敗判斷(duàn)缺陷(xiàn)為50μm。

≪功能(néng)≫

1. 自動對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)：利用圖(tú)像自動對(duì)準(zhǔn)晶圓(yuán)中心和檢查中(zhōng)心。

2. 三(sān)麵(miàn)獨立(lì)設(shè)置：可(kě)進(jìn)行檢驗條(tiáo)件(jiàn)配方和(hé)照明(míng)設置(zhì)。

3. 復(fù)檢功能：可對判(pàn)定為NG的(dí)晶(jīng)圓(yuán)進行目視復(fù)檢。

4. 顯示更改(gǎi)功能(néng)：通過(guò)放大和(hé)反轉(zhuǎn)功(gōng)能，現在可以(yǐ)更輕(qīng)鬆地(dì)查看原始圖像。

5. 大的(dí)汙(wū)垢和標記可以與缺陷分開(kāi)。檢驗點

同時(shí)拍攝(shè)晶(jīng)片的(dí)邊緣(yuán)表(biǎo)麵(miàn)A，頂表麵(miàn)B和底(dǐ)表(biǎo)麵(miàn)C的(dí)圖像。三光(guāng)學(xué)係統允許(xǔ)從(cóng)兩側(cè)檢查(chá)斜麵，從(cóng)而可(kě)以(yǐ)跨(kuà)邊界(jiè)檢查缺陷。

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