深圳倉庫現貨日本(běn)FUJIKIN 壓(yā)力控製器(qì)

應(yīng)用任何壓(yā)力(lì)都可以通過(guò)電信號設定(dìng)。當多個質(zhì)量流(liú)量(liáng)連(lián)接到一條管綫時(shí)，壓(yā)力會(huì)被調整，以使(shǐ)氣(qì)體流量(liáng)的(dí)快速波動(dòng)不(bù)會影(yǐng)響其(qí)他質量流(liú)量。可用(yòng)作晶圓背麵冷卻(què)的控製器(qì)。用(yòng)於下(xià)遊(yóu)壓(yā)力控製。
深(shēn)圳倉庫(kù)現(xiàn)貨日本(běn)FUJIKIN 壓力(lì) 控(kòng)製器

產(chǎn)品(pǐn)型(xíng)號：UPC-4CW2-C150H
廠(chǎng)商性(xìng)質：經(jīng)銷(xiāo)商
更新時間(jiān)：2025-11-04
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深(shēn)圳倉庫現(xiàn)貨日本FUJIKIN 壓力控製器

深(shēn)圳倉(cāng)庫現貨(huò) 日本FUJIKIN 壓(yā)力控(kòng)製器

應(yīng)用
任何壓(yā)力都可以(yǐ)通過(guò)電信號(hào)設(shè)定(dìng)。
當(dāng)多(duō)個質(zhì)量(liáng)流量(liáng)連接到一條(tiáo)管(guǎn)綫時，壓(yā)力會被調整，以使氣(qì)體(tǐ)流(liú)量(liáng)的快(kuài)速波(bō)動(dòng)不會影響其他(tā)質(zhì)量流(liú)量。
可(kě)用作晶(jīng)圓(yuán)背麵(miàn)冷卻(què)的(dí)控製器(qì)。
用於(yú)下(xià)遊(yóu)壓力(lì)控製(zhì)。

特征

●工(gōng)作(zuò)原(yuán)理：內(nèi)置壓(yā)力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)，保(bǎo)持壓力(lì)恒(héng)定(dìng)。
●可通(tōng)過(guò)電信(xìn)號設(shè)定任意壓力。
●在(zài)質(zhì)量流(liú)量控製(zhì)器的(dí)上(shàng)遊(yóu)連接時，可以進行(háng)非常(cháng)穩定的流量(liáng)控製。
●當多個質(zhì)量流(liú)量控製器(qì)連(lián)接到(dào)一(yī)條綫路(lù)時，氣體流(liú)量(liáng)的突然波動可(kě)能會影響其(qí)他(tā)質量流(liú)量控(kòng)製器。在(zài)這(zhè)種情況下，使(shǐ)用 UPC 係列可以防(fáng)止這種影(yǐng)響（下遊壓力控(kòng)製型）。
●UPCUS（上遊(yóu)壓力控製(zhì)型(xíng)）保持(chí)MO-CVD等(děng)液源的內部壓(yā)力恒定，提高(gāo)汽化量的(dí)穩定性(xìng)。
●可用作(zuò)晶(jīng)片(piàn)背麵(miàn)冷(lěng)卻的控製器(qì)。還(huán)提供帶流量監控器(qì)的高(gāo)溫(wēn)型（150°C，250°C）。
●可用於從(cóng)半導(dǎo)體，平(píng)板(bǎn)顯示器，太陽能(néng)電(diàn)池板等技術產(chǎn)業(yè)到(dào)一般產(chǎn)業的(dí)廣泛領域(yù)的壓(yā)力控(kòng)製。
●兼(jiān)容DeviseNet TM接(jiē)口（請注明）。符合(hé) RoHS 標(biāo)準(zhǔn)：本產品符(fú)合 RoHS 規定(dìng)並且是(shì)環(huán)保(bǎo)的。

規格

模(mó)型	UPC （下(xià)遊(yóu)壓力控製器）		FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓(yā)力範圍(wéi)	FS 13.3kPa abs.(100Torr)	FS 150/300/500kPa	FS 150/300/500kPa
控製壓(yā)力範(fàn)圍(wéi)	1 到 100%	1 至 100% *1
控製(zhì)閥(fá)CV值(zhí)	-	L型(xíng)：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓(yā)力調(tiáo)節係(xì)統(tǒng) （自動調零後(hòu)）	1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP	FS 150kPa abs. [1 至(zhì) 40%：±0.2%FS，40 至(zhì) 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至(zhì) 20%：±0.1%FS，20 至(zhì) 100%：±0.5% SP]
供(gōng)氣壓(yā)力範(fàn)圍(wéi)	0 至(zhì) 200kPaG	～897.3kPaG	-
耐壓(yā)性	200kPaG	1MPaG
外(wài)部泄漏(lòu)	＜1.0×10 -10 Pa･m3 /sec
使用溫度(dù)範圍(wéi)	0～50℃（係統(tǒng)保(bǎo)證溫度範圍：15～35℃）*2
電源電壓，電流消(xiāo)耗(hào)	+15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W
壓力設(shè)定/輸(shū)出(chū)信號	0-10VDC/0-10VDC	0-5VDC/0-5VDC
接液(yè)部(bù)分材(cái)料	SUS316L，鎳鈷合金(jīn)	SUS316L，鎳鈷(gǔ)合金(jīn)，FS9
連接(jiē)配件/尺(chǐ)寸	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)

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