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日(rì)本FUJIKIN 精品(pǐn) 壓力傳感器(qì) 深(shēn)圳(zhèn)倉(cāng)庫現貨(huò)

應(yīng)用(yòng)任何壓(yā)力(lì)都可以通過(guò)電信(xìn)號設定。當多個(gè)質量(liáng)流(liú)量(liáng)連接(jiē)到一(yī)條管(guǎn)綫(xiàn)時,壓力會被(bèi)調整,以(yǐ)使(shǐ)氣體(tǐ)流(liú)量(liáng)的快速(sù)波(bō)動不會(huì)影響(xiǎng)其(qí)他(tā)質量流量。可用作晶圓背(bèi)麵冷卻(què)的(dí)控製(zhì)器。用(yòng)於(yú)下遊(yóu)壓力控製。
日本(běn)FUJIKIN 精(jīng)品(pǐn) 壓力(lì)傳(chuán)感器(qì) 深圳(zhèn)倉(cāng)庫現(xiàn)貨

  • 產品(pǐn)型號:UPC-4CW2-C150H
  • 廠商(shāng)性質(zhì):經銷(xiāo)商
  • 更新(xīn)時(shí)間(jiān):2025-11-04
  • 訪(fǎng)  問  量(liáng):1069
詳(xiáng)細介(jiè)紹

日本FUJIKIN 精品(pǐn) 壓力(lì)傳感(gǎn)器 深圳倉(cāng)庫現(xiàn)貨(huò) 

日本FUJIKIN 精品 壓力(lì)傳感器(qì) 深圳倉庫現(xiàn)貨(huò) 




應(yīng)用
任(rèn)何壓力都可(kě)以通(tōng)過電信號設(shè)定(dìng)。
當(dāng)多(duō)個質(zhì)量流量(liáng)連(lián)接到(dào)一(yī)條(tiáo)管(guǎn)綫(xiàn)時(shí),壓(yā)力會被調(tiáo)整(zhěng),以使氣體(tǐ)流(liú)量(liáng)的快(kuài)速波(bō)動不會影響(xiǎng)其他(tā)質量(liáng)流(liú)量。
可用作晶(jīng)圓背麵(miàn)冷(lěng)卻(què)的(dí)控製器(qì)。
用於(yú)下遊(yóu)壓力控製。

特征(zhēng)



●工(gōng)作原理:內置(zhì)壓力(lì)傳感(gǎn)器,保(bǎo)持壓力恒定(dìng)。
●可(kě)通過(guò)電信號(hào)設定任意壓(yā)力。
●在質量(liáng)流(liú)量控(kòng)製(zhì)器的(dí)上遊(yóu)連(lián)接時(shí),可以進行非(fēi)常(cháng)穩定(dìng)的流(liú)量(liáng)控製。
●當多(duō)個質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器連接到一(yī)條綫(xiàn)路時,氣(qì)體流量的突然波(bō)動(dòng)可能(néng)會影響其(qí)他質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控(kòng)製器(qì)。在(zài)這種情(qíng)況(kuàng)下,使(shǐ)用(yòng) UPC 係列(liè)可以防止這種影響(下遊壓(yā)力(lì)控(kòng)製(zhì)型)。
●UPCUS(上(shàng)遊壓力控製(zhì)型)保持(chí)MO-CVD等液源的內部壓力恒定,提高汽化量(liáng)的穩(wěn)定性。
●可用作晶片背(bèi)麵(miàn)冷卻的(dí)控製器(qì)。還(huán)提供帶流量監控(kòng)器的高溫(wēn)型(xíng)(150°C,250°C)。
●可(kě)用(yòng)於從(cóng)半(bàn)導體,平板顯示(shì)器(qì),太陽能(néng)電池板(bǎn)等技(jì)術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產業的廣(guǎng)泛領域的壓(yā)力控(kòng)製。
●兼(jiān)容DeviseNet TM接(jiē)口(請注明)。符合 RoHS 標準(zhǔn):本產品(pǐn)符(fú)合 RoHS 規(guī)定並(bìng)且(qiě)是(shì)環(huán)保(bǎo)的。

規格(gé)
模型UPC
(下遊壓力(lì)控製器(qì))
FCST1050(M)
ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓(yā)力範(fàn)圍FS 13.3kPa abs.(100Torr)FS 150/300/500kPaFS 150/300/500kPa
控製壓(yā)力範圍1 到 100%1 至(zhì) 100% *1
控製(zhì)閥(fá)CV值-L型:0.0055 / M型:0.011 / H型:0.03
壓(yā)力調(tiáo)節(jié)係統
(自動調零(líng)後)
1~40%:±0.2%FS
40~100%:±0.5%SP
FS 150kPa abs. [1 至(zhì) 40%:±0.2%FS,40 至(zhì) 100%:±0.5%SP]
FS 300/500kPa abs. [1 至 20%:±0.1%FS,20 至 100%:±0.5% SP]
供氣(qì)壓(yā)力範圍(wéi)0 至(zhì) 200kPaG~897.3kPaG-
耐壓性(xìng)200kPaG1MPaG
外部泄漏(lòu)<1.0×10 -10 Pa・m3 /sec
使用(yòng)溫(wēn)度範圍(wéi)0~50℃(係統保證溫度範(fàn)圍(wéi):15~35℃)*2
電源(yuán)電(diàn)壓,電流(liú)消耗+15VDC:120mA,-15VDC:120mA
DeviceNet:+11 至(zhì) 25VDC,4.0W
壓力(lì)設(shè)定(dìng)/輸出(chū)信號0-10VDC/0-10VDC0-5VDC/0-5VDC
接(jiē)液部分材料(liào)SUS316L,鎳鈷合(hé)金SUS316L,鎳(niè)鈷合金(jīn),FS9
連接配(pèi)件/尺寸1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)



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