皮(pí)拉(lā)尼真空計可測量(liáng)從大氣壓到(dào)5×10 _-2
Pa的寬範(fàn)圍(wéi)壓力。此外，該(gāi)真空(kōng)計(jì)去除了傳(chuán)統控(kòng)製器(qì)的操(cāo)作和(hé)顯示部(bù)分(fēn)，將其縮小到(dào)最少的必要(yào)功(gōng)能，從而(ér)可以“降低(dī)成本(běn)"和(hé)“節(jié)省(shěng)空間"。
[特(tè)點] -廣(guǎng)域測量：可以測量
從大(dà)氣壓(yā)到5 x 10 _-2 Pa的廣域。
- 節(jié)省布綫：集(jí)成傳感器和控製(zhì)器(qì)可(kě)減少布(bù)綫，空間和(hé)功耗。
・提高可視性：配備LED，可以檢(jiǎn)查(chá)異(yì)常情(qíng)況。
・可(kě)進(jìn)行一鍵(jiàn)式調(tiáo)整：可(kě)通過一(yī)鍵(jiàn)式進行氣壓調(tiáo)整和(hé)零點調(tiáo)整。
・維(wéi)護(hù)：探(tàn)頭(tóu)更(gēng)換方(fāng)便。
- 燈絲材料(liào)采用(yòng)耐(nài)腐(fǔ)蝕(shí)性強的(dí)鉑金。
・測量(liáng)值(zhí)輸出(chū)信號：壓(yā)力為(wéi)標(biāo)準配備，日誌輸(shū)出(chū)為DC0至10V。
・提(tí)高耐(nài)衝擊性(xìng)：采(cǎi)用高耐衝擊(jī)性的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
・控(kòng)製輸出(chū)信號(hào)：可(kě)輸出2個(gè)設定點。
- 兼(jiān)容(róng)標(biāo)準：符(fú)合CE標準(zhǔn)。
[應(yīng)用(yòng)] -
用於太陽能(néng)電池(chí)，FPD，半導體和電(diàn)子元件等各(gè)種(zhǒng)設(shè)備的低(dī)真空區域的(dí)過(guò)程控(kòng)製。
・用(yòng)於熔爐(lú)等(děng)各種工業設(shè)備(bèi)的低真空區域(yù)的(dí)過程(chéng)控製(zhì)。
・用於在綫型，單晶(jīng)圓型(xíng)等(děng)具(jù)有多(duō)個工藝(yì)室的各種製造設備的(dí)低(dī)真空區域的(dí)工(gōng)藝控(kòng)製。