日本愛發(fā)科(kē)YTP-50MB渦輪分子(zǐ)泵(bèng)技(jì)術介紹

日(rì)本(běn)愛(ài)發科YTP-50MB渦(wō)輪分子(zǐ)泵(bèng)技術(shù)介紹

愛(ài)發科(kē)YTP-50MB渦(wō)輪分子泵(bèng)技術介(jiè)紹
：高速轉子動量(liáng)傳(chuán)遞原(yuán)理與高(gāo)真(zhēn)空(kōng)環(huán)境構建(jiàn)

在(zài)半導體製(zhì)造(zào)，分(fēn)析儀器，科研(yán)實(shí)驗(yàn)及(jí)高純氣體(tǐ)處(chǔ)理(lǐ)等對(duì)高(gāo)真空(kōng)和潔淨(jìng)度有要求的(dí)場景(jǐng)中，渦輪(lún)分子(zǐ)泵是(shì)實現10⁻⁶Pa乃至(zhì)更高(gāo)真(zhēn)空度(dù)的(dí)關(guān)鍵設(shè)備
。愛(ài)發科(kē)（ULVAC）YTP-50MB渦輪(lún)分子泵(bèng)作為YTP係(xì)列Ver.B的代表型號，依托高速轉(zhuǎn)子動量傳遞(dì)原理與(yǔ)陶(táo)瓷(cí)球軸承技(jì)術(shù)，以高抽(chōu)速(sù)，低噪(zào)音(yīn)，從(cóng)大(dà)氣(qì)壓(yā)到高(gāo)真(zhēn)空的連(lián)續排氣能(néng)力等特性，成(chéng)為各(gè)類高(gāo)真(zhēn)空係(xì)統的可(kě)靠(kào)選(xuǎn)擇
。

一，工作原(yuán)理
：高速(sù)轉子(zǐ)對(duì)氣(qì)體(tǐ)分子的(dí)動(dòng)量傳遞

YTP-50MB的(dí)核心(xīn)工作(zuò)原理建立在氣(qì)體分子(zǐ)在(zài)分(fēn)子(zǐ)流狀態下與高速(sù)旋轉葉片發生(shēng)動(dòng)量交換這一(yī)物(wù)理(lǐ)機(jī)製之(zhī)上(shàng)
。它本質上是一(yī)種動(dòng)量(liáng)傳輸(shū)型(xíng)真空泵(bèng)——通過高(gāo)速旋轉的(dí)動葉輪將動量(liáng)傳(chuán)給(gěi)氣(qì)體分子，使氣(qì)體產(chǎn)生定向(xiàng)流動而被抽除
。

泵(bèng)的核心運動(dòng)部(bù)件由(yóu)高(gāo)速旋轉的轉(zhuǎn)子和(hé)固(gù)定(dìng)的定子組(zǔ)成
：

• 葉片撞擊與(yǔ)動量傳遞
  ：渦輪分子(zǐ)泵(bèng)的轉子上(shàng)安裝有(yǒu)多級(jí)動(dòng)葉(yè)片(piàn)，以數(shù)萬(wàn)轉每分(fēn)鐘(zhōng)的速(sù)度高速(sù)旋(xuán)轉
  。氣(qì)體分子(zǐ)進入(rù)泵的進(jìn)氣(qì)口後，與高速(sù)旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片(piàn)發生(shēng)碰(pèng)撞
  。動葉(yè)片(piàn)將定向(xiàng)動量(liáng)傳遞(dì)給(gěi)氣(qì)體分子(zǐ)，使(shǐ)其獲得朝向排(pái)氣(qì)方向(xiàng)的運動(dòng)速度(dù)
  。

• 逐級(jí)壓縮(suō)與定向流(liú)動
  ：氣(qì)體分子(zǐ)經(jīng)過(guò)第一級動葉(yè)片加速後，進入(rù)下(xià)一級定子(zǐ)葉片(piàn)（靜(jìng)葉片）——靜葉片將(jiāng)分子(zǐ)運動方向重新(xīn)調整，使其(qí)以合(hé)適角(jiǎo)度進入下(xià)一(yī)級動(dòng)葉片(piàn)
  。如(rú)此經過多級動，靜葉片的交替(tì)作(zuò)用，氣體分(fēn)子被(bèi)逐級加速，壓縮並推向(xiàng)排氣口，最終被前級(jí)泵（輔(fǔ)助泵）排(pái)出泵外(wài)
  。

• 與(yǔ)前級(jí)泵的協(xié)同(tóng)工(gōng)作
  ：渦輪(lún)分子(zǐ)泵無法(fǎ)直(zhí)接(jiē)在大(dà)氣壓(yā)下工(gōng)作，需(xū)要與前級(jí)泵(bèng)（如油旋片(piàn)泵或(huò)幹式渦(wō)旋(xuán)泵）串(chuàn)聯(lián)使用(yòng)
  。前級泵負責(zé)將係(xì)統(tǒng)壓力從大氣壓降低至渦(wō)輪(lún)分(fēn)子泵的(dí)工作(zuò)壓(yā)力範(fàn)圍(wéi)（分(fēn)子流(liú)狀態），此後(hòu)渦輪分子泵(bèng)啟(qǐ)動並(bìng)接管高真空(kōng)段的抽氣任務，將壓力進一步(bù)降低至(zhì)10⁻⁶Pa乃(nǎi)至更低
  。

• 陶瓷球軸(zhóu)承支撐(chēng)
  ：YTP-50MB采用陶瓷(cí)球(qiú)軸承作(zuò)為轉(zhuǎn)子支撐部件
  。相比(bǐ)傳統金屬軸承，陶瓷(cí)球軸承具有(yǒu)更高(gāo)的耐磨性(xìng)和更(gēng)低的摩擦(cā)係數，能夠(gòu)在高速旋轉條件下保持長(cháng)期(qī)穩(wěn)定(dìng)運(yùn)行，無需(xū)頻繁更換軸(zhóu)承
  。

二，核心(xīn)技術(shù)特(tè)點

1. 從(cóng)大氣壓(yā)到(dào)高真空的連(lián)續(xù)排氣能力

YTP-50MB作為(wéi)高(gāo)真(zhēn)空排氣單元(yuán)，可實現(xiàn)從大氣壓(yā)到高真(zhēn)空(kōng)的(dí)連續排(pái)氣(qì)
。在實(shí)際操(cāo)作中，先(xiān)由前(qián)級(jí)泵將係(xì)統(tǒng)從(cóng)大(dà)氣壓抽至(zhì)渦輪(lún)分子泵(bèng)的(dí)工作(zuò)壓力區(qū)間(jiān)，隨後渦(wō)輪分子(zǐ)泵啟動並(bìng)接管高(gāo)真(zhēn)空段的抽氣任(rèn)務(wù)，最(zuì)終(zhōng)將壓(yā)力(lì)降至10⁻⁶P別
。這一(yī)能力(lì)使(shǐ)其(qí)適用於需要從(cóng)大氣(qì)壓(yā)狀態(tài)開(kāi)始(shǐ)建(jiàn)立高真(zhēn)空的各類係統(tǒng)
。

2. 70L/s的抽(chōu)速(sù)，適(shì)配多種高(gāo)真(zhēn)空場景

YTP-50MB對氮氣（N₂）的抽速(sù)為70L/s，對氫(qīng)氣的(dí)抽速(sù)為49L/s
。這(zhè)一(yī)抽速(sù)區間適用於(yú)半(bàn)導體製造(zào)設(shè)備，蒸(zhēng)鍍設備，濺射(shè)設(shè)備，分(fēn)析(xī)儀器及(jí)科(kē)研實(shí)驗(yàn)裝(zhuāng)置等對高(gāo)真空有要求的場(cháng)景(jǐng)
。

3. 10⁻⁶Pa的(dí)極限壓(yā)力(lì)

YTP-50MB的(dí)到(dào)達壓(yā)力（極限(xiàn)壓(yā)力）可達10⁻⁶Pa
。在(zài)選配(pèi)烘(hōng)烤(kǎo)加熱(rè)器並進(jìn)行(háng)脫(tuō)氣處(chǔ)理後(hòu)，可(kě)進一(yī)步排(pái)氣至(zhì)10⁻⁸Pa的超高(gāo)真(zhēn)空(kōng)區(qū)域(yù)
。

4. 低噪音(yīn)與(yǔ)低振(zhèn)動設計

YTP-50MB充分考慮了(liǎo)使用環境對噪(zào)音和(hé)振動的敏感要(yào)求(qiú)
。運轉噪音在(zài)極(jí)限壓(yā)力(lì)下可(kě)低(dī)至(zhì)43dB(A)或(huò)以(yǐ)下——這一噪音水(shuǐ)平低於日常辦公(gōng)室(shì)環境(jìng)，使(shǐ)其(qí)可(kě)部(bù)署(shǔ)於實(shí)驗(yàn)室，分析(xī)室等(děng)對靜音有(yǒu)要求(qiú)的場所，無需(xū)額(é)外隔音設施(shī)
。

5. 陶(táo)瓷球軸承(chéng)，降(jiàng)低(dī)運(yùn)行(háng)成(chéng)本(běn)

YTP-50MB采用陶瓷球軸承作為轉(zhuǎn)子支(zhī)撐方(fāng)案
。陶(táo)瓷球軸承具(jù)有以下實際價值(zhí)
：

• 耐(nài)磨性(xìng)高(gāo)
  ：陶瓷(cí)材(cái)料硬(yìng)度高(gāo)，耐(nài)磨(mó)性(xìng)好(hǎo)，在高(gāo)速旋(xuán)轉條(tiáo)件(jiàn)下壽命更長

• 無需(xū)頻(pín)繁(fán)更換(huàn)
  ：免去(qù)了(liǎo)繁瑣(suǒ)的(dí)換油(yóu)和軸(zhóu)承更換作(zuò)業

• 降低(dī)運(yùn)行成(chéng)本
  ：減少了(liǎo)維(wéi)護頻次(cì)和備件消(xiāo)耗

6. 兩種操(cāo)作模式與多種(zhǒng)規格(gé)選型

YTP係列(liè)提供兩種操(cāo)作模(mó)式
：

• SA型(xíng)
  ：可通(tōng)過(guò)START/STOP開(kāi)關(guān)實(shí)現自動排氣(qì)，操作簡便

• M型
  ：手動操(cāo)作模式，適用於需要(yào)靈活控製(zhì)的場景

輔助泵方(fāng)麵(miàn)，可選擇油回(huí)轉(zhuǎn)泵(bèng)作(zuò)為(wéi)標準(zhǔn)規格，也可(kě)選(xuǎn)擇幹(gān)式渦旋泵(bèng)的幹(gān)式規格(gé)
。吸氣(qì)口提供(gōng)ICF114，VG65，ISO63-K等多(duō)種法(fǎ)蘭規(guī)格(gé)
。

7. 停電對(duì)策(cè)與粗抽(chōu)監(jiān)控

YTP-50MB在前級(jí)閥(fá)門上標配電磁閥(fá)，在(zài)停電時(shí)可(kě)自動(dòng)關閉(bì)前級閥，防止逆(nì)流和故(gù)障
。此(cǐ)外(wài)，標(biāo)配(pèi)皮(pí)拉尼真空計，可(kě)在(zài)粗(cū)抽排氣過程中實(shí)時確(què)認(rèn)壓力狀態
。

三，性(xìng)能(néng)參數(shù)一(yī)覽

數(shù)據(jù)來源
：愛發科(kē)產品(pǐn)規格表(biǎo)

四，典(diǎn)型應用(yòng)場(cháng)景

半導體製造(zào)設備
：作(zuò)為蒸鍍設備(bèi)，濺射設備的主排氣係(xì)統(tǒng)，為晶(jīng)圓製(zhì)造(zào)提(tí)供潔(jié)淨的高真空(kōng)環境(jìng)
。

分析(xī)儀器
：用於質(zhì)譜儀(yí)，電子(zǐ)顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)等(děng)分析設備(bèi)的真(zhēn)空(kōng)係統(tǒng)，保障高精(jīng)度檢(jiǎn)測(cè)所需的真空(kōng)條件
。

科研實驗裝(zhuāng)置
：各(gè)類(lèi)實驗(yàn)與(yǔ)研(yán)究設(shè)備的(dí)真(zhēn)空排(pái)氣係(xì)統，從(cóng)大氣壓(yā)到(dào)高(gāo)真(zhēn)空的全流程抽氣
。

高(gāo)純氣體真空置(zhì)換
：用(yòng)於高(gāo)純氣體(tǐ)的(dí)真空(kōng)置(zhì)換工藝
。

超(chāo)高真空係統粗抽
：作(zuò)為超高真(zhēn)空(kōng)係(xì)統的粗(cū)抽(chōu)排氣(qì)係統(tǒng)，配合(hé)烘(hōng)烤(kǎo)脫氣(qì)可達(dá)10⁻⁸Pa
。

五，總結

YTP-50MB是(shì)愛發科(kē)在(zài)渦輪分子泵(bèng)領域的(dí)一款代表(biǎo)性(xìng)產品
。通過(guò)高速轉(zhuǎn)子(zǐ)動量(liáng)傳遞機(jī)製(zhì)與(yǔ)陶瓷(cí)球軸(zhóu)承技(jì)術的配合，在實現(xiàn)70L/s（N₂）抽速和10⁻⁶Pa極(jí)限(xiàn)壓力的同時，將運轉噪音控製(zhì)在43dB(A)以下(xià)
。其(qí)從(cóng)大氣壓到(dào)高(gāo)真空(kōng)的連續(xù)排(pái)氣能(néng)力(lì)，低噪音(yīn)低振動(dòng)設計(jì)，SA/M兩(liǎng)種(zhǒng)操作模(mó)式以及靈(líng)活(huó)的(dí)前級(jí)泵選(xuǎn)型(xíng)，使(shǐ)其成為(wéi)半(bàn)導體製造，分析儀器，科研實驗及(jí)高(gāo)純(chún)氣體(tǐ)處理等(děng)對(duì)高真空和潔(jié)淨度(dù)有要求場景(jǐng)的(dí)可靠選擇(zé)
。

購買渠(qú)道(dào)
：本產品由深圳市京都(dū)玉崎電子(zǐ)有(yǒu)限公(gōng)司(sī)負責中(zhōng)國區(qū)銷(xiāo)售與(yǔ)技術(shù)支持
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。客戶可通過化工儀器網(wǎng)商鋪或(huò)直(zhí)接聯係(xì)銷售團隊進(jìn)行產品(pǐn)咨(zī)詢與訂(dìng)購(gòu)
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。