ULVAC愛(ài)發科精品分(fēn)析/測量電(diàn)離(lí)真空計

ULVAC愛發科精(jīng)品分析(xī)/測(cè)量電離(lí)真(zhēn)空(kōng)計(jì)
可連接不同測量(liáng)範圍的探(tàn)頭：多(duō)離(lí)子計允許根(gēn)據應(yīng)用(yòng)選擇探頭。
緊湊(còu)：明(míng)顯(xiǎn)小(xiǎo)於傳統產品(pǐn)（控製(zhì)器體(tǐ)積(jī)減少 56%），
提(tí)高可(kě)用(yòng)性：可(kě)通過 PC/智(zhì)能(néng)手機連接(jiē)進行設(shè)定點(diǎn)設置(zhì)，狀(zhuàng)態確認等(děng)
產品(pǐn)陣容(róng)豐(fēng)富：除了模擬(nǐ)輸(shū)出(chū)規格(gé)（ST200-A）和串(chuàn)行通(tōng)信(xìn)規格（ST200-R）外(wài)，還(huán)將(jiāng)增加EtherCAT規格（ST200-E）。

產(chǎn)品(pǐn)型號：G-TRAN SW1 SP1
廠(chǎng)商(shāng)性(xìng)質(zhì)：經銷商
更新時(shí)間(jiān)：2025-11-04
訪問(wèn) 量(liáng)：830

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ULVAC愛(ài)發科精(jīng)品分(fēn)析(xī)/測(cè)量電(diàn)離(lí)真空計

ULVAC愛(ài)發(fā)科精(jīng)品分析/測量電離真空(kōng)計(jì)

用途

用於有機(jī)EL，觸摸屏等製造設備(bèi)的極限壓力(lì)確認(rèn)和工(gōng)序管理。
用於(yú)檢(jiǎn)查(chá)真空爐等各種工業(yè)真(zhēn)空設(shè)備的(dí)極限壓力(lì)。
用(yòng)於(yú)在含有大(dà)量(liáng)碳氫化合物（油(yóu)基(jī)）的(dí)大氣中進行(háng)測(cè)量
用(yòng)於在真空零(líng)件加工(gōng)過程中殘留(liú)有(yǒu)切削油或清洗液(yè)的(dí)環境中(zhōng)進行測量(liáng)。
適用於旨在減(jiǎn)少(shǎo)更換真空(kōng)計(jì)探頭(tóu)頻率的真空設備。

*在(zài)腐蝕性(xìng)氣體(tǐ)（鹵素(sù)氣體）氣(qì)氛中(zhōng)使用時，請(qǐng)與(yǔ)我們(mén)聯係(xì)。

特(tè)征(zhēng)

可連接(jiē)不(bù)同測量範圍的(dí)探頭：多離(lí)子計(jì)允許根(gēn)據應用選擇(zé)探(tàn)頭。
緊湊：明顯(xiǎn)小於傳統(tǒng)產品（控(kòng)製器體(tǐ)積減少 56%），
提高可用(yòng)性(xìng)：可(kě)通過(guò) PC/智能手機連(lián)接(jiē)進(jìn)行設定(dìng)點設(shè)置(zhì)，狀(zhuàng)態(tài)確認等(děng)
產品(pǐn)陣(zhèn)容豐富：除(chú)了(liǎo)模(mó)擬輸出規(guī)格（ST200-A）和(hé)串行(háng)通信規格（ST200-R）外，還將(jiāng)增加EtherCAT規格(gé)（ST200-E）。
三極管型(xíng)金屬電離(lí)真(zhēn)空計：真(zhēn)空計即(jí)使在惡劣(liè)環(huán)境(jìng)下也(yě)能(néng)實(shí)現(xiàn)長壽(shòu)命(mìng)。
燈絲(sī)壽(shòu)命通知功能(néng)：通過(guò)監控燈絲(sī)功率，可以(yǐ)提前通(tōng)知(zhī)燈絲壽(shòu)命。
壓(yā)力(lì)測量範圍廣：可測量大氣壓(yā)至(zhì)高真(zhēn)空(kōng)範圍（1×10 ⁺⁵～ 1×10 ^{-5 Pa）（連接選(xuǎn)購件SWU10-R時(shí)）}
精確的大(dà)氣壓(yā)力(lì)測(cè)量：可以檢查腔室(shì)開口的(dí)大氣(qì)壓(yā)力(lì)（當連(lián)接(jiē)可(kě)選單(dān)元 SAU 時）

規(guī)格(gé)

模(mó)型		ST200-A	ST200-R	ST200-E（預(yù)定發(fā)布(bù)）
規格(gé)		標準規(guī)格	串(chuàn)行通(tōng)訊規格(gé)	EtherCAT規(guī)格
適(shì)應(yīng)性(xìng)強(qiáng)的多離(lí)子規(guī)傳(chuán)感器		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可連(lián)接(jiē)的傳感器(qì)		多離子壓(yā)力傳感(gǎn)器(qì)：1 件皮拉尼壓力計(jì) SWU10-R：1 件（可選）大(dà)氣壓(yā)力(lì)傳感(gǎn)器 SAU：1 件(jiàn)（可選）
重復性（N ₂）		ST200單模：±2%
采(cǎi)樣時(shí)間		60ms 5次移動(dòng)平(píng)均(jūn)處(chǔ)理
測(cè)量值輸出		輸出電壓 DC 0 至(zhì) 10V LOG 輸(shū)出 0.75V/1 位壓(yā)力(lì)轉換(huàn)公(gōng)式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間(jiān)		60毫秒(miǎo)
控製輸入(rù)信(xìn)號(hào)		FIL ON/OFF，FIL 1/2，DEGAS ON/OFF 采用集(jí)電極(jí)開路(lù)輸(shū)入，負(fù)邏(luó)輯操作	-	-
控製輸出信(xìn)號		傳感器錯(cuò)誤，設定值(zhí) 1/2/3，發射有效，燈(dēng)絲功率監控額定(dìng)值：_最(zuì)大24V ，_最大(dà)50mA ，飽和電(diàn)壓(yā) 1V	-	-
串行通訊規(guī)格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED表示		POWER/ERROR：電源，錯誤 LED（閃爍(shuò)狀態(tài)根(gēn)據(jù)每種模式(shì)而(ér)變化）
發(fā)射電流		2mA（1×10 ^-2 Pa以下），10μA（1×10 ^-2 Pa以上）
脫氣		電(diàn)子轟(hōng)擊法(fǎ)，發(fā)射電流(liú)2mA，柵極(jí)電(diàn)壓約330V
傳(chuán)感器(qì)耐(nài)壓		2×10 ⁺ 5Pa（絕對壓力） * 必須單獨(dú)考(kǎo)慮(lǜ)法(fǎ)蘭(lán)，卡(qiǎ)箍等的耐(nài)壓性(xìng)能(néng)。
傳(chuán)感(gǎn)器內容(róng)積(jī)		17厘米³（SWT-16），19厘米³（SWT-25）
工(gōng)作溫(wēn)度限(xiàn)製(zhì)		10～50℃
工作濕度(dù)範圍(wéi)		15 至 80%（無(wú)冷(lěng)凝(níng)）
保管(guǎn)溫度(dù)		-20～65℃（不(bù)通(tōng)電時(shí)不結(jié)露）
IP保(bǎo)護等級(jí)		IP30
電源電壓		DC20~28V（紋波，噪聲1%以下(xià)） 8W以下
輸(shū)入/輸出(chū)連接(jiē)器		D-sub15針(zhēn)（M2.6螺絲）
質量(liáng)		控(kòng)製器(qì)：約 280g 測(cè)頭(tóu)（SWT-16，SWT-25）：80g
外形(xíng)尺寸(cùn) 寬(kuān)×深×高		69mm×63mm×90mm（控製器(qì)部(bù)分）
兼(jiān)容(róng)標(biāo)準(zhǔn)		這(zhè)
選(xuǎn)項(xiàng)	多離(lí)子計(jì)傳(chuán)感器	SWT-16 (NW16)，SWT-25 (NW25) 材質：燈絲(sī)：Ir/Y ₂ O ₃塗(tú)層其他：PtC-Mo，SUS304，W，Kovar 玻璃，Kovar/Ni 鍍層
	皮(pí)拉尼(ní)壓(yā)力(lì)計(jì)	SWU10-R *也兼(jiān)容(róng)傳(chuán)統(tǒng)SPU
	皮(pí)拉尼(ní)壓(yā)力傳感(gǎn)器	SWP-16(NW16)，SWP-25(NW25)，SWP-R1/8(R1/8)，SWP-P18(Φ18管(guǎn)端(duān))，SWP-P15(Φ15管(guǎn)端)，SWP-CF16(ICF034) 材(cái)質：燈(dēng)絲(sī) - Pt，其(qí)他 - BS/Ni，電(diàn)鍍(dù)，Ni，焊(hàn)料(liào)
	大氣壓力傳感器	SAU(NW16) 材(cái)質：SUS316L
	單(dān)元(yuán)電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用(yòng)）：0.5m, 1m, 2m
	顯(xiǎn)示單元(yuán)	1CH：ISG1 (DC24V電(diàn)源(yuán)使用)
	顯示單元(yuán)電纜(lǎn)	SH200至(zhì)顯示(shì)單元電(diàn)纜(lǎn) 2m，5m，10m，15m，20m，25m，30m，35m，40m
	連接器	輸入/輸出(chū)連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺(luó)絲(sī)））
	其他的(dí)	檢驗報告，一般校準測(cè)試報告(gào)，JCSS校(xiào)準證書(shū)

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