ULVAC愛發(fā)科(kē) 精(jīng)品 觸針(zhēn) 輪廓(kuò)儀(yí)

ULVAC愛(ài)發(fā)科(kē) 精品 觸(chù)針(zhēn) 輪(lún)廓儀

P-170是(shì)在經過驗(yàn)證(zhèng)的(dí)P-17的(dí)基礎上(shàng)增加(jiā)了(liǎo)自動運輸機(jī)構(gòu)的(dí)型號。標準(zhǔn)配(pèi)備傳送機器(qì)人(rén)，預對(duì)準器(qì)，自動(dòng)XY-θ平(píng)台，模式識(shí)別(bié)功能等，因此隻需放(fàng)置盒(hé)即可自動(dòng)測(cè)量(liáng)。

特(tè)征

■晶圓自(zì)動(dòng)傳(chuán)送(sòng)機構(gòu)

・支持Φ200mm單開(kāi)晶圓(yuán)盒

・支(zhī)持(chí)雙開晶圓盒（選(xuǎn)配）

・晶圓傳送機(jī)械(xiè)手，非(fēi)接觸(chù)式(shì)預對(duì)準(zhǔn)器

・支(zhī)持(chí)φ75mm～φ150mm（選配(pèi)）

■晶圓(yuán)表(biǎo)麵(miàn)自(zì)動(dòng)測量(liáng)

・高精(jīng)度(dù)自(zì)動XY-采用(yòng) θ 平台(tái)

- 測量位(wèi)置最多可注(zhù)冊 1,000 個位置(zhì)

- 使用模(mó)式識別功能(néng)校正測量位置

代(dài)理(lǐ)品(pǐn)牌(pái)：CCS晰寫(xiě)速(sù)SEN日森(sēn)，EYE岩(yán)崎，REVOX萊(lái)寶克(kè)斯(sī)，SERIC索萊(lái)克

SONIC索尼克，SANKO三高，NEWKON新(xīn)光(guāng)，HAYASHI 林(lín)時計(jì)，NPM日脈(mài)

NS日本科(kē)學，DRY-CABI東(dōng)利繁(fán)，TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田，SUGIYAMA杉(shān)山，Kakuhunt寫真(zhēn)化(huà)學(xué)，NIPPON GEAR日本齒(chǐ)輪(lún)

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾(wěi)，TOPCON拓(tuò)普康，AITEC艾泰(tài)克，FUNATECH船越龍，ORC歐(ōu)阿(ā)西

SAGADEN嵯(cuó)峨，SAKAZUME坂詰，DNP大(dà)日本科研(yán)，TOKYO DENSHOKU電(diàn)色(sè)，KKIMAC

S-VANS斯(sī)萬(wàn)斯(sī)，ORIHARA折原(yuán)，LUCEO魯機歐，HIKARIYA光屋(wū)，YAMADA山(shān)田(tián)光(guāng)學

AND艾安得(dé)，T&D天特，JIKCO吉高，DKK-TOA東亞電波(bō)，OKANO岡野(yě)，ANRITSU安立計器

IMV艾目(mù)微(wēi)，MITUTOYO三(sān)豐，KYOWA共(gòng)和，ONOSOKKI小野，SANEI三榮，HEIDON新東(dōng)科學

HEIDON新東(dōng)，KURABO倉紡(fǎng)，SHOWA昭和，THINKY新(xīn)基(jī)，AIKOH愛光

SURUGA駿河(hé)，ACCRETECH東京精(jīng)密(mì)，SANSYO三商，ITOH伊藤(téng)

RKC理化，MACOME碼(mǎ)控美，EIWA榮和，EXCEL艾庫斯，YODOGAWA澱川等