ULVAC愛發科 精品 手動 高速(sù)光譜(pǔ) 橢偏儀

ULVAC愛(ài)發科 精品 手(shǒu)動 高速(sù)光譜(pǔ) 橢(tuǒ)偏儀

可(kě)以進(jìn)行映射(shè)測量的(dí)自動(dòng)台(tái)型

UNECS係列(liè)是(shì)一種(zhǒng)分光橢偏(piān)儀，可以高速，高精度(dù)地(dì)測(cè)量(liáng)薄膜的厚(hòu)度和折射率(shuài)。采用測量方法，實現高(gāo)速測量和緊湊(còu)化(huà)。我(wǒ)們提供廣泛的產品陣容(róng)，以適應不(bù)同的應用，包括(kuò)便(biàn)攜(xié)式(shì)類型(xíng)，自動平台類型和與(yǔ)真(zhēn)空環(huán)境(jìng)兼(jiān)容(róng)的內置(zhì)類型(xíng)。

UNECS-1500A/2000A/3000A采(cǎi)用(yòng)自動(dòng)R-θ平(píng)台和(hé)自(zì)動對(duì)焦功(gōng)能，可(kě)快(kuài)速自動測(cè)量(liáng)基材表麵內(nèi)的(dí)膜厚分(fēn)布(bù)，並(bìng)將(jiāng)結果(guǒ)顯(xiǎn)示在彩色圖(tú)上。

用途

透明或(huò)半(bàn)透(tòu)明薄膜（氧化(huà)膜，氮化膜，抗蝕劑(jì)，ITO等）的膜(mó)厚，折射率，消(xiāo)光係數的測量

特征

高速(sù)測(cè)量：

采用快照方式(shì)，實現了最高速(sù)度(dù)20ms的高速測(cè)量。

兼容(róng)可見(jiàn)光(guāng)譜：

波長範圍可(kě)選(xuǎn)擇標準(zhǔn)型（530nm~750nm）和(hé)可見光譜型（380nm~760nm）。

緊湊(còu)的傳(chuán)感(gǎn)器(qì)單(dān)元：

光發(fā)射(shè)/接收(shōu)傳(chuán)感(gǎn)器僅(jǐn)由光學元(yuán)件組(zǔ)成(chéng)，沒有旋(xuán)轉機構，並(bìng)且非(fēi)常輕便和緊(jǐn)湊(còu)，並且(qiě)不需要定期(qī)維(wéi)護。

豐(fēng)富(fù)的產品陣容：

我們(mén)擁有(yǒu)可(kě)適(shì)應各種(zhǒng)應用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類型(xíng)，手動/自(zì)動平(píng)台類(lèi)型，大(dà)型基(jī)板類型以及(jí)與(yǔ)大(dà)氣/真空(kōng)環(huán)境兼容的(dí)內置類(lèi)型(xíng)。

規(guī)格