半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)潔(jié)淨(jìng)室管(guǎn)理(lǐ)辦法(fǎ)如下(xià)

更新時間：2024-03-22

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1，內部(bù)要(yào)保持大於一(yī)大氣壓(yā)的環(huán)境，以確保粉(fěn)塵隻出不進。所(suǒ)以(yǐ)需(xū)要大型(xíng)鼓(gǔ)風(fēng)機(jī)，將經濾網的空氣(qì)源(yuán)源(yuán)不絕地打入(rù)潔(jié)淨室中。
2，為保持溫度與濕度(dù)的(dí)恒(héng)定，大(dà)型空調(tiáo)設(shè)備須搭配於前述(shù)之(zhī)鼓風加(jiā)壓(yā)係統中。換(huàn)言(yán)之，鼓風(fēng)機(jī)加壓多(duō)久，冷氣空調(tiáo)也開多(duō)久。
3，氣(qì)流(liú)方向(xiàng)均由上(shàng)往下為主，盡(jìn)量減少突兀之室(shì)內空間設計或(huò)機(jī)台(tái)擺放調配(pèi)，使(shǐ)粉塵(chén)在(zài)潔(jié)淨室內回(huí)旋(xuán)停滯的機會與時(shí)間減至(zhì)更低(dī)程(chéng)度。
4，建(jiàn)材均以(yǐ)不(bù)易產生靜電(diàn)吸附的材質為主(zhǔ)。
5，人事(shì)物進出(chū)，都必須經過(guò)空氣吹浴 (air shower) 的程(chéng)序(xù)，將表(biǎo)麵粉(fěn)塵先(xiān)行去除(chú)。
6，人體及衣(yī)物的毛屑(xiè)是一項(xiàng)主要(yào)粉塵來源(yuán)，為此務必(bì)嚴格(gé)要求進出使用(yòng)人員穿戴無塵(chén)衣(yī)，除了眼睛(jīng)部位(wèi)外(wài)，均需與(yǔ)外(wài)界隔絕接觸(chù) (在(zài)次微米製(zhì)程技術的(dí)工廠內，工作人員(yuán)幾(jī)乎(hū)穿戴得像(xiàng)航天(tiān)員(yuán)一樣(yàng)。) 當然(rán)，化妝是在禁絕(jué)之(zhī)內，鉛筆(bǐ)等(děng)也禁止(zhǐ)使用(yòng)。
7，除了空(kōng)氣外(wài)，水的(dí)使用也隻能(néng)限(xiàn)用去(qù)離子水 (DI water, de-ionized water)。一則(zé)防止水中粉(fěn)粒汙染(rǎn)晶圓(yuán)，二(èr)則防(fáng)止水中重(zhòng)金(jīn)屬離子，如(rú)鉀，鈉離子(zǐ)汙染(rǎn)金(jīn)氧半 (MOS) 晶體管(guǎn)結(jié)構之帶(dài)電(diàn)載子信道 (carrier channel)，影響半導體組(zǔ)件的(dí)工作特性。去(qù)離(lí)子(zǐ)水(shuǐ)以電(diàn)阻率(shuài) (resistively) 來定(dìng)義(yì)好壞(huài)，一般要求(qiú)至(zhì)17.5MΩ-cm以上(shàng)才算(suàn)合(hé)格；為此需(xū)動用(yòng)多(duō)重離(lí)子交換樹脂，RO逆滲透，與UV紫(zǐ)外綫(xiàn)shajun等重(zhòng)重關卡(qiǎ)，才能(néng)放行使用(yòng)。由於(yú)去離(lí)子(zǐ)水是更(gēng)佳的溶劑(jì)與清潔(jié)劑(jì)，其(qí)在(zài)半導(dǎo)體(tǐ)工(gōng)業之(zhī)使用量(liáng)極為(wéi)驚(jīng)人！
8，潔淨(jìng)室(shì)用得(dé)到的(dí)氣源(yuán)，包括吹(chuī)幹晶(jīng)圓及機台(tái)空壓所需(xū)要的(dí)，都得(dé)使(shǐ)用氮(dàn)氣 (98%)，吹幹晶(jīng)圓的氮氣甚(shèn)至(zhì)要求(qiú)99.8%以上的(dí)高(gāo)純氮！以上(shàng)八點(diǎn)說明是zui基本的(dí)要(yào)求(qiú)，另還有(yǒu)汙水(shuǐ)處(chǔ)理(lǐ)，廢氣排放的(dí)環(huán)保問(wèn)題(tí)，再(zài)需要(yào)大筆的(dí)建造與維(wéi)護(hù)費(fèi)用(yòng)!

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