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更新(xīn)時(shí)間(jiān)：2024-06-14 
瀏(liú)覽次數(shù)：1240在測(cè)量真空度時(shí)，有壓(yā)力(lì)接近(jìn)大(dà)氣(qì)壓的地方，也有(yǒu)壓(yā)力達到超高(gāo)真(zhēn)空(kōng)的地方(fāng)，所以不(bù)可能(néng)僅用(yòng)一(yī)種真(zhēn)空(kōng)計(jì)來覆(fù)蓋。即使考慮(lǜ)到殘餘氣體(tǐ)的(dí)成(chéng)分，真空設備中也(yě)存(cún)在(zài)各種(zhǒng)氣體。其(qí)中，對(duì)真(zhēn)空計產(chǎn)生負(fù)麵影(yǐng)響(xiǎng)的典(diǎn)型(xíng)是油蒸氣，氧(yǎng)氣，水(shuǐ)蒸(zhēng)氣等有機蒸氣(qì)。在低真空中，空氣(qì)常(cháng)常殘(cán)留，但(dàn)在中真空和高(gāo)真(zhēn)空(kōng)中，油(yóu)蒸(zhēng)氣的(dí)比例(lì)增(zēng)加。此外(wài)，有許(xǔ)多(duō)真(zhēn)空(kōng)設(shè)備(bèi)主(zhǔ)要處理水蒸(zhēng)氣，例(lì)如(rú)用(yòng)於冷凍幹(gān)燥(zào)的真空設備。如上所(suǒ)述，真空(kōng)計(jì)的(dí)使用條件(jiàn)多種多(duō)樣，因此(cǐ)在選擇時，除了(liǎo)測量壓(yā)力(lì)範(fàn)圍和(hé)目(mù)標(biāo)氣體外，還需(xū)要檢查以下項(xiàng)目。 1.檢查(chá)是否可以在您想要測量(liáng)的(dí)壓力範圍(wéi)內(nèi)使用(yòng)，並(bìng)檢(jiǎn)查(chá)導致測(cè)量極限(xiàn)的原因。 2，真(zhēn)空計是否(fǒu)被(bèi)可能測(cè)量(liáng)的(dí)氣(qì)體汙(wū)染或損(sǔn)壞？ 3. 準(zhǔn)確度(dù)夠嗎(má)？米大嗎？原則上有(yǒu)什麼(mó)問(wèn)題嗎？ 4，真空(kōng)表對氣(qì)體狀況有影響嗎(má)？被(bèi)測氣體是(shì)否(fǒu)有可(kě)能(néng)因反應而熱(rè)分(fēn)解(jiě)或成分發生變化？ 5. 可(kě)以測量總壓嗎？靈(líng)敏(mǐn)度是否因氣體類型(xíng)而(ér)異(yì)？ 6. 連續指令還是(shì)電氣指令？可(kě)以得到電(diàn)力(lì)輸出嗎？ 7. 響應(yīng)時間(jiān)短(duǎn)嗎？ 8. 穩定(dìng)性，再現性，可靠性和(hé)壽命是(shì)否足(zú)夠(gòu)？ 9，安裝，操作(zuò)，維護(hù)，管理是否(fǒu)方便(biàn)？ 10. 市(shì)售(shòu)產(chǎn)品的可獲得(dé)性，獲取(qǔ)難(nán)度(dù)，價格等。
日本(běn)的真空標準(zhǔn)（初(chū)級標(biāo)準）是安(ān)裝在日本(běn)產(chǎn)業技(jì)術(shù)綜合研(yán)究所的(dí)光(guāng)波幹涉標準(zhǔn)氣壓計(jì)（大(dà)氣(qì)壓(yā)～10 2 Pa，不(bù)確(què)定度(dù)±0.7 Pa） ，安裝在國(guó)立電(diàn)子研究(jiū)所的標準氣(qì)壓計技(jì)術(shù)。使用安裝(zhuāng)的標準 McLeod 真(zhēn)空計(jì)（1.3 至(zhì) 1.3 x 10 -2 Pa，不確定度 ± 2%）作為(wéi)參(cān)考(kǎo)。使用標(biāo)準麥(mài)克(kè)勞(láo)德真(zhēn)空計(jì)的校準是對(duì)日(rì)本(běn)真空(kōng)協會(huì)要(yào)求(qiú)的亞標(biāo)準電離真空(kōng)計(jì)燈(dēng)泡(pào)VS-1進(jìn)行(háng)的，該校準(zhǔn)真空計具有二(èr)級標(biāo)準（工作(zuò)壓力範圍2.7×10 -1 ~1.3× 10 -4 Pa，不確定度±3%），是(shì)目(mù)前的真(zhēn)空(kōng)計。這(zhè)通(tōng)常用(yòng)作標準(zhǔn)並用(yòng)於(yú)校準(zhǔn)其他實用真空(kōng)計。 JISZ8750中詳細(xì)說明了(liǎo)校準(zhǔn)方法，對於10 -2 Pa至10 -7 Pa左右(yòu)的(dí)應用，使用VS-1校準的(dí)BA真空(kōng)計可從(cóng)製(zhì)造商處購(gòu)買。如(rú)果按(àn)照(zhào)這樣的(dí)方式校(xiào)準(zhǔn)靈敏度，則(zé)實(shí)際使(shǐ)用的(dí)每(měi)台真(zhēn)空計的(dí)靈(líng)敏(mǐn)度都(dū)將(jiāng)達到標準。當建(jiàn)立(lì)這樣(yàng)的(dí)係統時，可(kě)追溯(sù)性(xìng)被評估為(wéi)已建立(lì)。
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