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更(gēng)新(xīn)時間(jiān)：2024-06-14 
瀏(liú)覽次(cì)數：1108腔(qiāng)室單(dān)元(yuán)：腔室，閘閥(fá)，濺(jiàn)射源(yuán)（或蒸發源(yuán)或等離子體(tǐ)源），觀察口，樣品台(tái)（可選(xuǎn)：加熱(rè)或冷卻，射(shè)頻(pín)應用）
排氣(qì)裝置：油(yóu)回(huí)轉泵(bèng)，渦輪(lún)分子泵（或油(yóu)擴(kuò)散(sàn)泵(bèng)+閥(fá)門），支(zhī)架等(děng)。
真空管路：（帶壓力(lì)表口，排氣(qì)閥，進(jìn)氣(qì)口）
真空計1：皮拉尼(ní)真空(kōng)計(jì)
真(zhēn)空計2：熱(rè)陰極(jí)電(diàn)離真(zhēn)空計(jì)（BA真空計(jì)）
真(zhēn)空計(jì)3：隔膜真空計(jì)
電源(yuán)裝(zhuāng)置：濺射(shè)用直(zhí)流電源(yuán)（或(huò)濺(jiàn)射用射(shè)頻電源+匹配(pèi)盒或(huò)電阻加(jiā)熱蒸發用(yòng)電源(yuán)）
氣體(tǐ)引(yǐn)入(rù)單元(yuán)：質量(liáng)流(liú)量控製(zhì)器（或針閥(fá)組）
樣品(pǐn)輸送機器(qì)人（手(shǒu)動）
負載(zǎi)鎖和(hé)轉移(yí)室：（4 或(huò) 6 個(gè)室(shì)的室安(ān)裝表麵(miàn)）蓋子，粗(cū)抽(chōu)閥，排氣(qì)閥，底座(zuò)
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