安川(chuān)變頻(pín)器(qì)應(yīng)用於(yú)半(bàn)導(dǎo)體真空泵行(háng)業

更新(xīn)時(shí)間：2024-06-20

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半導(dǎo)體(tǐ)是指常溫(wēn)下導電性(xìng)能(néng)介於導(dǎo)體與(yǔ)絕緣體之間(jiān)的材(cái)料。我們日(rì)常(cháng)生(shēng)活(huó)中的電子產品(pǐn)，如(rú)計算機(jī)，等(děng)當中(zhōng)的核心單(dān)元都(dū)和(hé)半導體(tǐ)有著極(jí)為密(mì)切(qiē)的聯(lián)係。

在(zài)半導(dǎo)體(tǐ)製造(zào)的(dí)多個(gè)工(gōng)藝(yì)環(huán)節中，包(bāo)括刻(kè)蝕，鍍膜等(děng)等(děng)。為(wéi)了提高(gāo)半導(dǎo)體(tǐ)製造過(guò)程的精(jīng)度和(hé)均匀性，半(bàn)導體(tǐ)工(gōng)藝(yì)必(bì)須(xū)在(zài)極度(dù)受控的(dí)真空環境中(zhōng)運(yùn)行。而(ér)獲(huò)得真空環(huán)境所需的設備即為真空(kōng)泵。

今(jīn)天要給(gěi)大(dà)家介紹的是(shì)安川變頻(pín)器產(chǎn)品在真(zhēn)空(kōng)泵設備中(zhōng)的應用(yòng)。

半導(dǎo)體用幹式真(zhēn)空泵設(shè)備

半導(dǎo)體(tǐ)成(chéng)膜(mó)工(gōng)藝(yì)

半導(dǎo)體(tǐ)用(yòng)真(zhēn)空(kōng)泵一般容(róng)易存(cún)在啟(qǐ)動(dòng)，加速響應慢，抽速(sù)不夠穩定(dìng)；運行效(xiào)率(shuài)不高；開(kāi)放大氣時(shí)易發(fā)生過載，過流故障而(ér)停(tíng)機(jī)；麵對雷雨(yǔ)季(jì)節及供(gōng)電環境不好時，易(yì)因瞬時(shí)停電(diàn)或電壓(yā)暫降(jiàng)而(ér)造成(chéng)真(zhēn)空泵(bèng)停機(jī)，造成(chéng)半導(dǎo)體生(shēng)產損(sǔn)失(shī)。

采用(yòng)安川(chuān)變頻(pín)器(qì)後(hòu)設(shè)備的特性(xìng)

1.穩定(dìng)性(xìng)

高響應性，抗(kàng)衝擊負載能(néng)力強(qiáng)，使真空(kōng)泵穩(wěn)定運行(háng)。

2.高啟動轉矩(jǔ)

轉(zhuǎn)矩(jǔ)極(jí)限可(kě)根(gēn)據(jù)速(sù)度切換，使泵在啟動及加(jiā)速過(guò)程(chéng)更(gēng)快(kuài)，更穩(wěn)定。

3.高效(xiào)性(xìng)

應(yīng)對半導(dǎo)體不同(tóng)工藝，通過專用功(gōng)能(néng)，防止過載(zǎi)前(qián)提下保(bǎo)證真(zhēn)空泵(bèng)高效運(yùn)行。

4.節(jié)能(néng)

可高(gāo)效，穩(wěn)定驅動(dòng)配置(zhì)PM電(diàn)機的真空泵，更加節(jié)能。

5.高信(xìn)賴(lài)性

即(jí)使(shǐ)發生(shēng)瞬時(shí)停電(diàn)或(huò)電壓暫降(jiàng)，可(kě)使(shǐ)真空泵保(bǎo)持輸出(chū)，電(diàn)壓恢復(fù)後繼(jì)續運(yùn)行。

安川(chuān)變(biàn)頻器在國(guó)內(nèi)外(wài)的真空泵(bèng)設備上(shàng)廣泛(fàn)應用，業(yè)內度(dù)高(gāo)。能夠使半(bàn)導體(tǐ)用真空泵(bèng)在(zài)不同的半導體工(gōng)藝(yì)下，穩(wěn)定，高(gāo)效(xiào)運行(háng)，滿足客(kè)戶需(xū)求。

上一(yī)篇(piān)：安(ān)川(chuān)運動控(kòng)製器(qì)和(hé)伺服(fú)應用(yòng)於釹(nǚ)鐵硼(péng)多綫(xiàn)切(qiē)割(gē)機(jī)
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