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【小(xiǎo)王子(zǐ)上新】UPC係(xì)列(liè)UPC-4CW2-C150H

更新時間(jiān)：2025-02-17      瀏覽次(cì)數(shù)：941

【小(xiǎo)王子上新(xīn)】UPC係列UPC-4CW2-C150H

應用(yòng)
任何壓(yā)力都可以(yǐ)通(tōng)過電信(xìn)號設定。
當多個質量(liáng)流量(liáng)連接到(dào)一條管(guǎn)綫時(shí)，壓力(lì)會(huì)被(bèi)調整，以(yǐ)使氣體流(liú)量的快(kuài)速(sù)波(bō)動(dòng)不會(huì)影響(xiǎng)其他(tā)質(zhì)量(liáng)流量。
可用作晶圓背麵(miàn)冷卻的(dí)控製(zhì)器(qì)。
用於(yú)下遊(yóu)壓力控(kòng)製。

特征(zhēng)



●工作(zuò)原(yuán)理：內置壓(yā)力(lì)傳感器，保持(chí)壓力恒定(dìng)。
●可(kě)通(tōng)過電信號設定(dìng)任(rèn)意(yì)壓(yā)力(lì)。
●在質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器(qì)的上遊(yóu)連(lián)接時，可以進行非常穩(wěn)定的流(liú)量控(kòng)製(zhì)。
●當(dāng)多(duō)個質(zhì)量流(liú)量(liáng)控製(zhì)器連接到(dào)一條綫路(lù)時，氣體流(liú)量的(dí)突(tū)然波(bō)動可能會(huì)影(yǐng)響其(qí)他質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控製器(qì)。在(zài)這(zhè)種情(qíng)況下，使用(yòng) UPC 係(xì)列可(kě)以(yǐ)防(fáng)止這(zhè)種(zhǒng)影響（下遊壓力(lì)控(kòng)製(zhì)型(xíng)）。
●UPCUS（上遊(yóu)壓力(lì)控(kòng)製(zhì)型）保持MO-CVD等(děng)液(yè)源(yuán)的內(nèi)部壓力恒(héng)定，提(tí)高汽化量的(dí)穩(wěn)定性。
●可用作(zuò)晶片(piàn)背(bèi)麵(miàn)冷卻的(dí)控製器(qì)。還提(tí)供(gōng)帶流量監(jiān)控(kòng)器(qì)的(dí)高(gāo)溫型（150°C，250°C）。
●可(kě)用於從(cóng)半(bàn)導體，平板(bǎn)顯示(shì)器，太陽能(néng)電池(chí)板等技術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產業(yè)的廣泛(fàn)領(lǐng)域的壓力(lì)控製。
●兼(jiān)容DeviseNet TM接口（請注明）。符合 RoHS 標準：本(běn)產(chǎn)品(pǐn)符(fú)合(hé) RoHS 規定(dìng)並(bìng)且是(shì)環保的(dí)。

規格
模型(xíng)UPC
（下遊(yóu)壓力控製器）		FCST1050(M)
ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓(yā)力範圍FS 13.3kPa abs.(100Torr)FS 150/300/500kPaFS 150/300/500kPa
控製壓力範圍1 到 100%1 至(zhì) 100% *1
控製閥CV值(zhí)-L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓(yā)力調(tiáo)節係統(tǒng)
（自(zì)動調零後）		1～40%：±0.2%FS
40～100%：±0.5%SP		FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至(zhì) 100%：±0.5%SP]
FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP]
供氣(qì)壓(yā)力範圍(wéi)0 至 200kPaG～897.3kPaG-
耐壓(yā)性(xìng)200kPaG1MPaG
外部泄(xiè)漏(lòu)＜1.0×10 -10 Pa･m3 /sec
使(shǐ)用(yòng)溫度範(fàn)圍0～50℃（係統保(bǎo)證(zhèng)溫度範圍：15～35℃）*2
電源電壓(yā)，電流(liú)消耗+15VDC：120mA，-15VDC：120mA
DeviceNet：+11 至(zhì) 25VDC，4.0W
壓力設(shè)定(dìng)/輸出(chū)信號0-10VDC/0-10VDC0-5VDC/0-5VDC
接液部分材(cái)料(liào)SUS316L，鎳(niè)鈷合(hé)金(jīn)SUS316L，鎳鈷(gǔ)合金(jīn)，FS9
連接(jiē)配件/尺(chǐ)寸1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)



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