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技術(shù)文章(zhāng)/ Technical Articles
更(gēng)新時(shí)間:2025-12-24
瀏覽(lǎn)次數(shù):284半導體工(gōng)廠燈(dēng)指(zhǐ)的是半(bàn)導體工廠中(zhōng)使用光(guāng)敏材(cái)料(liào)的(dí)照(zhào)明(míng)燈。 許多(duō)燈光會(huì)發出黃色光(guāng),因(yīn)此(cǐ)也被(bèi)稱為黃(huáng)色(sè)燈。
過去使用黃色(sè)熒(yíng)光燈(dēng),但現(xiàn)在主(zhǔ)流(liú)采(cǎi)用(yòng)波長(cháng)小(xiǎo)於(yú)500納米的(dí)短(duǎn)波(bō)長LED燈,包括紫外綫(xiàn)。
在(zài)半導(dǎo)體製造過(guò)程(chéng)中,有(yǒu)一種(zhǒng)稱(chēng)為“暴露"的工藝(yì),通過(guò)照射作為半(bàn)導體基(jī)礎的(dí)矽(guī)晶(jīng)圓來形(xíng)成電路(lù)。 當(dāng)照明的紫外綫(xiàn)在此(cǐ)過程中(zhōng)暴(bào)露(lòu)於(yú)矽晶(jīng)圓(yuán)時(shí),矽晶(jīng)圓會退(tuì)化(huà),導(dǎo)致普(pǔ)通(tōng)照(zhào)明無法(fǎ)使用的問題。 在這種情況下,需要(yào)使用能截斷(duàn)紫外(wài)綫的燈具(jù)照(zhào)明。
半導(dǎo)體工(gōng)廠(chǎng)燈主要(yào)作為(wéi)半(bàn)導(dǎo)體和集成電路(lù)工廠(chǎng)的(dí)安全燈,以及(jí)其他處(chǔ)理(lǐ)光(guāng)敏材料的場所(suǒ)使(shǐ)用。
機械(xiè)和電(diàn)子行業中使用(yòng)的無塵室主要(yào)通過(guò)加壓房間(jiān)來防止灰塵(chén)進入。 因(yīn)此,潔淨(jìng)室(shì)照(zhào)明(míng)裝置(zhì)設計通(tōng)過電(diàn)源插(chā)件的套(tào)管和螺(luó)栓固定部(bù)件來保持室內氣(qì)密(mì)性。
在無(wú)菌室(shì)中,通過(guò)過濾器過濾的清(qīng)潔空氣(qì)會(huì)朝(zhāo)特定方向(xiàng)流(liú)動(dòng)。 為(wéi)了不幹擾燈(dēng)具(jù)的氣流,它(tā)采用(yòng)流(liú)綫型(xíng)造(zào)型(xíng),不易阻(zǔ)擋(dǎng)空調的(dí)氣流。
截(jié)除(chú)紫(zǐ)外綫的(dí)燈具應用廣(guǎng)泛,如(rú)商(shāng)店,工廠,食(shí)品工廠(chǎng),漁(yú)業(yè)照明(míng),以(yǐ)及文化(huà)和(hé)教育設施(shī),遊樂場,車(chē)輛和(hé)計算(suàn)機室(shì)照(zhào)明。
半(bàn)導體工(gōng)廠燈具(jù)采(cǎi)用(yòng)濾光(guāng)係統和選擇性(xìng)波長(cháng)發(fā)射法(fǎ)。
濾(lǜ)光法通過(guò)在熒(yíng)光管或LED上(shàng)覆蓋(gài)黃色顏料層,黃色(sè)熱收縮(suō)樹(shù)脂塗層或特殊薄膜(mó),切(qiē)割(gē)波長(cháng)低於500納米(mǐ)的光,包(bāo)括紫(zǐ)外(wài)綫。
選擇(zé)性波(bō)長(cháng)發射法僅通(tōng)過(guò)添(tiān)加光來發(fā)射所(suǒ)需(xū)的(dí)波長(cháng)。 這種LED照明有望(wàng)有(yǒu)效(xiào)利(lì)用能(néng)源,提升用(yòng)戶滿意度(顏色(sè)識別,工作效(xiào)率(shuài)和工(gōng)作環境(jìng))。 由於(yú)隻設(shè)定(dìng)所需的波(bō)長,因此與(yǔ)傳(chuán)統(tǒng)的基於(yú)濾(lǜ)波(bō)波(bō)長切割(減法法)LED相(xiāng)比(bǐ),能耗可以(yǐ)提(tí)高。
使用LED的半導體(tǐ)工廠(chǎng)燈具具有許(xǔ)多特性(xìng)。
半(bàn)導體(tǐ)工廠燈(dēng)使(shǐ)用LED,與同(tóng)等產品(pǐn)性(xìng)能的(dí)熒光(guāng)燈(dēng)相比,能(néng)將功(gōng)耗降低約70%。 即使在(zài)特(tè)殊(shū)環境中,過(guò)去(qù)很(hěn)難(nán)降(jiàng)低能耗,它(tā)也(yě)能(néng)節(jié)省大量電(diàn)力。
LED燈具的(dí)使用(yòng)壽命(mìng)很(hěn)長。 與(yǔ)傳統熒(yíng)光黃燈相(xiāng)比,其(qí)使(shǐ)用壽命超(chāo)過4萬(wàn)小時(shí),約為黃色燈的四倍。 因(yīn)此,定(dìng)期(qī)更換等維護(hù)費(fèi)用也很劃算(suàn)。
此(cǐ)外(wài),它是一種環保的燈(dēng),因為它不使用汞。 由於亮度(dù)高(gāo),工(gōng)作環(huán)境(jìng)得到改善,半導體(tǐ)工廠中對(duì)雜(zá)物(wù)和異(yì)物(wù)的檢測率也有所提升(shēng)。
玻璃(lí)管(guǎn)燈(dēng)具結構(gòu)可防(fáng)止玻璃碎(suì)片(piàn)散射(shè),即使燈具因外(wài)表樹脂塗層而(ér)受損(sǔn)。 樹脂容器的LED燈很(hěn)輕,即使損壞,也安(ān)全且碎片散布較少(shǎo)。
半(bàn)導體工廠(chǎng)用熒光管黃(huáng)燈是指玻璃(lí)管(guǎn)內表麵(miàn)覆蓋黃(huáng)色(sè)顏(yán)料層,外(wài)表麵塗有黃(huáng)色熱收縮(suō)樹脂塗層(céng)以實現紫外(wài)綫防護。 顏(yán)料層和紫(zǐ)外輻射(shè)切割塗層被用作半導體工廠等(děng)的(dí)照明(míng)源(yuán),處理對(duì)500納(nà)米(mǐ)以下波(bō)長敏(mǐn)感(gǎn)的光(guāng)敏(mǐn)材料。 近年來,LED燈(dēng)具正(zhèng)逐(zhú)步被(bèi)取代。
普(pǔ)通半導體工(gōng)廠燈(dēng)具采(cǎi)用(yòng)黃光,但也(yě)有(yǒu)產(chǎn)品(pǐn)能改(gǎi)善黃(huáng)色房間照(zhào)明(míng)的(dí)顏(yán)色。其特征(zhēng)是顏色(sè)接(jiē)近白(bái)色,相較於具有特定(dìng)波長(cháng)切(qiē)割的LED照明(míng)。這是一種獨特的不(bù)適感,由進出(chū)房間時(shí)的(dí)色隙引起(qǐ),采用了(liǎo)特(tè)殊(shū)的色(sè)彩匹(pǐ)配技術(shù)來減輕(qīng)這種(zhǒng)獨(dú)特不適感。這是(shì)一種(zhǒng)具(jù)有優異色彩(cǎi)還(huán)原性(xìng)且對(duì)人(rén)體(tǐ)溫(wēn)和的(dí)燈(dēng)具(jù)。色溫(wēn)約(yuē)為3000~5000K。LED容(róng)器(qì)由聚(jù)碳(tàn)酸酯和(hé)鋁材(cái)製(zhì)成(chéng),不(bù)易(yì)損(sǔn)壞且易於維(wéi)護。它可以替(tì)代(dài)潔淨(jìng)室中使用的黃色(sè)燈泡(pào)。
作為(wéi)特殊(shū)應用,有具有高安(ān)全性(xìng)且(qiě)具防爆(bào)結構(gòu)的(dí)LED燈具(jù)。對於(yú)半(bàn)導(dǎo)體工廠,LED的亮(liàng)度可(kě)控製至500納米(mǐ)。該技術可(kě)用(yòng)於使用(yòng)高(gāo)靈敏光敏材料如G射綫(xiàn)和I射(shè)綫的(dí)工(gōng)廠。與(yǔ)此(cǐ)前通過(guò)濾光片切割波(bō)長的(dí)熒光燈(dēng)和黃色(sè)LED相(xiāng)比,能(néng)見(jiàn)度大大提(tí)升(shēng)。
還有(yǒu)一種橙色(sè)LED燈。橙色型(xíng)是一(yī)種短波長(cháng)530納米或(huò)更短(duǎn)的LED燈,類(lèi)似於半(bàn)導體(tǐ)製(zhì)造(zào)廠長(cháng)期(qī)使用(yòng)的熒光(guāng)黃燈(dēng)。它適用於(yú)對(duì)紫外(wài)綫防護(hù)要求(qiú)特(tè)別嚴格(gé)的(dí)照(zhào)明設備,如(rú)半(bàn)導體(tǐ)工廠(chǎng),集成電路工廠(chǎng)和(hé)食品工(gōng)廠的(dí)潔淨(jìng)室,這些設備需要(yào)驅(qū)蟲(chóng)劑。
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