愛發科GLD-137AA高(gāo)功能規(guī)格油(yóu)旋片真空泵(bèng)技(jì)術(shù)介(jiè)紹：雙級(jí)逐級壓縮原理與(yǔ)工業級高真空(kōng)應(yīng)用

在半(bàn)導(dǎo)體製造，真空鍍(dù)膜(mó)，熱處(chǔ)理(lǐ)及科(kē)研(yán)實(shí)驗(yàn)等(děng)工業應(yīng)用場景中(zhōng)，穩(wěn)定(dìng)可靠的高真(zhēn)空獲得能(néng)力(lì)直接決定(dìng)著工藝(yì)質(zhì)量與(yǔ)生產效率(shuài)。愛發科（ULVAC）GLD-137AA高(gāo)功能規格(gé)油旋片式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵作(zuò)為(wéi)GLD係列中(zhōng)的高性能(néng)代表型(xíng)號，依托雙級(jí)排氣逐級壓縮(suō)技術(shù)，以高(gāo)極限真(zhēn)空度，強製供(gōng)油(yóu)潤滑，防(fáng)逆流保(bǎo)護(hù)三大核心功能(néng)模(mó)塊(kuài)，成為(wéi)麵(miàn)向高真空(kōng)要(yào)求(qiú)的工業與科(kē)研應用場(cháng)景(jǐng)中(zhōng)兼(jiān)具(jù)性能與(yǔ)可(kě)靠(kào)性的理想真空源(yuán)。

一，工(gōng)作原理：雙(shuāng)級(jí)逐(zhú)級壓縮(suō)的精密封裝(zhuāng)

GLD-137AA的(dí)核心工作(zuò)原理(lǐ)建立(lì)在(zài)容積式(shì)壓(yā)縮與油膜密封(fēng)兩大(dà)物(wù)理機製之(zhī)上。它本質(zhì)上是一(yī)種油旋片(piàn)式(shì)容(róng)積真(zhēn)空(kōng)泵——通(tōng)過(guò)旋(xuán)片(piàn)在泵腔內(nèi)的(dí)旋(xuán)轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，周(zhōu)期(qī)性地(dì)改變腔體容積，實(shí)現氣體的(dí)吸入(rù)，壓縮與(yǔ)排(pái)出。

泵的核心運(yùn)動(dòng)部(bù)件由電機偏心驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子(zǐ)與安裝(zhuāng)在轉子槽內的旋片(piàn)組成(chéng)：

• 離心密封配合：電(diàn)機驅動轉(zhuǎn)子偏心安(ān)裝(zhuāng)於泵腔內高速旋轉，旋(xuán)片在(zài)離心力(lì)和(hé)彈(dàn)簧力雙(shuāng)重(zhòng)作用下緊(jǐn)貼(tiē)泵(bèng)腔內壁滑動(dòng)，將(jiāng)泵腔(qiāng)分(fēn)隔(gé)成(chéng)多個可變(biàn)容(róng)積的(dí)工作(zuò)室(shì)。隨著轉子(zǐ)轉動(dòng)，工作(zuò)室(shì)容積(jī)周(zhōu)期性(xìng)變(biàn)化——擴(kuò)張(zhāng)時吸(xī)入氣(qì)體(tǐ)，收(shōu)縮時壓縮並排出氣(qì)體(tǐ)。

• 雙(shuāng)級排(pái)氣(qì)係統：GLD-137AA采用兩級(jí)排氣係統設計(jì)，通過兩(liǎng)個串(chuàn)聯(lián)的(dí)泵腔(qiāng)實現逐級壓縮。氣體(tǐ)首先(xiān)進入第一級（低(dī)壓(yā)級）被初步(bù)壓縮，隨(suí)後進入第(dì)二級（高(gāo)壓級）進一步壓(yā)縮(suō)至大(dà)氣壓(yā)以上並(bìng)排出(chū)泵(bèng)外。與單級排氣係(xì)統相比，雙(shuāng)級結構(gòu)可將巨(jù)大的壓(yā)縮比(bǐ)合理(lǐ)分配(pèi)至(zhì)兩個壓(yā)縮(suō)階段，使每一級都(dū)在(zài)高(gāo)效區(qū)間工(gōng)作，從而(ér)獲得更低的極限壓力（更(gēng)好的真空(kōng)度）。

• 油潤滑與(yǔ)密封三重機製(zhì)：作為油旋(xuán)片(piàn)式(shì)真空泵，GLD-137AA使用專用(yòng)真空泵(bèng)油（SMR-100）實現三重核心(xīn)功能：

• 潤(rùn)滑：減(jiǎn)少(shǎo)旋(xuán)片與泵腔內(nèi)壁的摩(mó)擦磨(mó)損，保障長(cháng)期運轉可靠性

• 密封(fēng)：填(tián)充旋片(piàn)與(yǔ)腔(qiāng)體間(jiān)的(dí)微小(xiǎo)間(jiān)隙，防(fáng)止氣體返(fǎn)流(liú)，提升氣(qì)密(mì)性

• 冷卻：帶(dài)走(zǒu)壓縮(suō)過程中(zhōng)產(chǎn)生的熱(rè)量，維持(chí)泵(bèng)體(tǐ)溫度(dù)穩(wěn)定

• 保護(hù)：防(fáng)止內部零件腐蝕(shí)和氧化(huà)，延(yán)長(cháng)設(shè)備(bèi)使(shǐ)用壽(shòu)命

二，核心技(jì)術(shù)特點

1. 高極限(xiàn)真空(kōng)度，滿(mǎn)足(zú)嚴苛(kē)工藝需(xū)求

GLD-137AA在氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉(bì)狀(zhuàng)態(tài)下(xià)極(jí)限壓力可達0.67Pa（皮拉尼計(jì)測(cè)量值(zhí)）。這一性能指標足(zú)以(yǐ)滿足真(zhēn)空鍍膜，真空(kōng)熱處理，電(diàn)子束焊(hàn)接等對真空(kōng)度(dù)有較高要(yào)求的工(gōng)業(yè)工(gōng)藝需(xū)求(qiú)。氣(qì)鎮(zhèn)閥開啟狀態下極限(xiàn)壓(yā)力為6.7Pa，可(kě)在(zài)處理含(hán)濕(shī)氣(qì)氣體時(shí)有效防(fáng)止泵(bèng)油(yóu)乳(rǔ)化。

排氣(qì)速(sù)度(dù)方麵，50Hz工況(kuàng)下為135L/min，60Hz工(gōng)況下可(kě)達(dá)162L/min，能夠快(kuài)速建(jiàn)立所(suǒ)需的(dí)真(zhēn)空(kōng)環境(jìng)，縮短(duǎn)工藝(yì)等(děng)待時間。

2. 氣鎮閥：應(yīng)對可(kě)凝性(xìng)蒸汽(qì)的(dí)專業方案

GLD-137AA配(pèi)備(bèi)的氣鎮閥是(shì)其(qí)關鍵(jiàn)技術(shù)模塊之(zhī)一。在(zài)抽除含(hán)有水(shuǐ)蒸氣等(děng)可凝(níng)性氣(qì)體的工況(kuàng)時(shí)，開(kāi)啟(qǐ)氣(qì)鎮(zhèn)閥(fá)可向泵(bèng)腔(qiāng)引入(rù)少量幹(gān)燥(zào)空氣(qì)，提高(gāo)混合氣(qì)體(tǐ)的露點，使水(shuǐ)蒸氣在(zài)排氣(qì)閥打(dǎ)開(kāi)之(zhī)前不(bù)會凝(níng)結。

這(zhè)一設計的核心價值(zhí)在於：

• 防止乳(rǔ)化：避免水蒸氣在壓縮(suō)過程(chéng)中凝(níng)結並與真空油混合(hé)形(xíng)成乳化(huà)液

• 延長油壽命(mìng)：顯著(zhù)延長泵(bèng)油更換周期，降低(dī)運維成本

• 保(bǎo)持性(xìng)能穩定(dìng)：防止因(yīn)油品汙染(rǎn)導致的真空性(xìng)能(néng)衰減(jiǎn)

3. 強製供油(yóu)機構：全壓(yā)力範圍的潤(rùn)滑保障(zhàng)

與(yǔ)依賴壓(yā)差潤(rùn)滑的簡單(dān)泵(bèng)型不同，GLD-137AA安裝(zhuāng)了(liǎo)強(qiáng)製供油機(jī)構。這一設(shè)計確保(bǎo)泵在各種(zhǒng)工作(zuò)壓力下均有(yǒu)穩(wěn)定，充足(zú)的油量供(gōng)應，無論是(shì)在(zài)大氣壓(yā)啟動階(jiē)段還(huán)是(shì)在高(gāo)真空運行階段，都(dū)能保障旋(xuán)片與(yǔ)泵腔內壁的充分潤滑與(yǔ)密(mì)封(fēng)。這不(bù)僅提升(shēng)了(liǎo)泵的可(kě)靠性，也顯(xiǎn)著延(yán)長(cháng)了(liǎo)核(hé)心運(yùn)動部件的使用壽(shòu)命(mìng)。

4. 防逆流機(jī)構：停電(diàn)保(bǎo)護(hù)的(dí)安心(xīn)設計

GLD-137AA內置(zhì)防逆流機構，在(zài)因(yīn)停電等(děng)突(tū)發(fā)情況停機(jī)時自(zì)動切(qiē)斷油路(lù)，有(yǒu)效(xiào)防止(zhǐ)真空油返(fǎn)流至被(bèi)抽真空腔室。這(zhè)一(yī)設(shè)計(jì)對於(yú)保(bǎo)護昂(áng)貴的真(zhēn)空(kōng)腔(qiāng)室，工藝(yì)基板及(jí)精(jīng)密(mì)儀器(qì)免受(shòu)油(yóu)汙(wū)染至關重(zhòng)要，尤其適用於半導體(tǐ)，光學鍍(dù)膜(mó)等對潔(jié)淨度(dù)要求嚴苛(kē)的場(cháng)景。

5. 寬電(diàn)壓(yā)馬達(dá)與國際(jì)認(rèn)證(zhèng)

GLD-137AA配(pèi)備寬(kuān)電(diàn)壓馬達(dá)，符合(hé)國(guó)際標準(zhǔn)，可適(shì)應(yīng)不同(tóng)國(guó)家(jiā)和地(dì)區的(dí)電網(wǎng)條件(jiàn)。產(chǎn)品(pǐn)已通過(guò)CE認證，可在全球範(fàn)圍內合規部(bù)署。

6. 低噪(zào)低振(zhèn)與易(yì)維護設(shè)計

GLD-137AA延(yán)續了(liǎo)GLD係(xì)列高(gāo)性能(néng)，低振動，低噪聲(shēng)的家族(zú)特性(xìng)。通(tōng)過精密(mì)動平(píng)衡調校與優化的(dí)減(jiǎn)震(zhèn)結(jié)構設計(jì)，可(kě)直(zhí)接(jiē)部(bù)署(shǔ)於(yú)對噪(zào)音(yīn)和(hé)振(zhèn)動敏(mǐn)感(gǎn)的生產(chǎn)與實驗(yàn)環境。超大油(yóu)位(wèi)視(shì)窗讓操作(zuò)人(rén)員(yuán)可直觀觀察泵油量與(yǔ)汙染(rǎn)狀態(tài)，配合(hé)強製(zhì)供油(yóu)機構，大(dà)幅降低(dī)了(liǎo)日(rì)常維護的復雜(zá)度。

三(sān)，性(xìng)能(néng)參(cān)數(shù)一(yī)覽

數據來源(yuán)：ULVAC技術(shù)資料(liào)

四(sì)，典型(xíng)應用(yòng)場景

真空鍍(dù)膜(mó)：作(zuò)為(wéi)真空鍍(dù)膜設(shè)備(bèi)的前(qián)級真(zhēn)空(kōng)源(yuán)，為濺(jiàn)射(shè)，蒸發(fā)等工藝提(tí)供(gōng)穩定(dìng)可靠(kào)的(dí)高真空基礎環境(jìng)。

真(zhēn)空(kōng)熱(rè)處理：用於(yú)真空(kōng)爐，真空釺焊(hàn)，真空(kōng)退(tuì)火等熱(rè)處(chǔ)理工藝(yì)的(dí)抽(chōu)真空，保(bǎo)障金(jīn)屬(shǔ)材料在(zài)無氧環境下(xià)的熱處(chǔ)理品(pǐn)質(zhì)。

半導(dǎo)體(tǐ)與電子(zǐ)製造：適配半(bàn)導體(tǐ)製程(chéng)設(shè)備，電子(zǐ)元件生(shēng)產綫的真空係統，滿(mǎn)足對潔(jié)淨(jìng)度(dù)與(yǔ)真空穩(wěn)定(dìng)性(xìng)的雙重(zhòng)要求。

科研與(yǔ)實驗室(shì)：高(gāo)校及科(kē)研院所物理(lǐ)，化(huà)學，材(cái)料等實(shí)驗(yàn)室(shì)的(dí)高(gāo)真(zhēn)空(kōng)實驗(yàn)配(pèi)套。

輔助排氣(qì)：作為渦(wō)輪(lún)分子泵(bèng)，機械增壓泵(bèng)的前級(jí)或輔助(zhù)排氣(qì)泵(bèng)，構建(jiàn)多級(jí)真空係(xì)統。

五，總(zǒng)結(jié)

GLD-137AA是愛(ài)發科在中等抽速油(yóu)旋片(piàn)真(zhēn)空泵領域技(jì)術實力(lì)的集(jí)中體(tǐ)現(xiàn)。通過雙級(jí)排氣逐級壓縮機(jī)製與(yǔ)強製(zhì)供油(yóu)潤滑係(xì)統的精密(mì)配合，實(shí)現(xiàn)了(liǎo)0.67Pa的高(gāo)極限(xiàn)真空度(dù)與(yǔ)長期穩(wěn)定(dìng)的排(pái)氣性(xìng)能(néng)。其氣鎮(zhèn)閥(fá)，強製供(gōng)油機(jī)構(gòu)和(hé)防逆(nì)流(liú)機(jī)構(gòu)三(sān)大(dà)核(hé)心(xīn)功能(néng)模(mó)塊的協同(tóng)設(shè)計，使其(qí)在(zài)含(hán)濕(shī)氣(qì)工藝，突發停電(diàn)等復雜工況下依(yī)然(rán)保持可靠的真空獲(huò)取(qǔ)能力，成為真空鍍膜，熱(rè)處理(lǐ)，半導(dǎo)體製(zhì)造及科研實(shí)驗等工(gōng)業級(jí)高(gāo)真(zhēn)空應用場景中兼具性(xìng)能與可靠(kào)性(xìng)的優選(xuǎn)方案(àn)。

購買渠道(dào)：本產(chǎn)品由深(shēn)圳(zhèn)市(shì)京都玉崎(qí)電子(zǐ)有限公(gōng)司負責中(zhōng)國區銷(xiāo)售與技(jì)術(shù)支(zhī)持(chí)。公司(sī)地址位(wèi)於深(shēn)圳市(shì)龍(lóng)華新區梅(méi)龍(lóng)大道906號(hào)創業(yè)樓(lóu)。客戶可(kě)通過化(huà)工(gōng)儀器網商(shāng)鋪或(huò)直接(jiē)聯係銷售團隊進行(háng)產品咨詢與訂購。深(shēn)圳京(jīng)都(dū)玉(yù)崎憑借(jiè)供(gōng)應(yīng)鏈體係(xì)和(hé)專(zhuān)業技(jì)術(shù)服(fú)務(wù)團隊，為客(kè)戶(hù)提供從選(xuǎn)型(xíng)咨詢(xún)，現(xiàn)貨供應(yīng)到售後支持的(dí)一(yī)站式(shì)采購體(tǐ)驗。