日(rì)本(běn)愛(ài)發(fā)科(kē)LS120A螺杆(gān)型(xíng)幹式真(zhēn)空泵技術(shù)介(jiè)紹

日本(běn)愛發科LS120A螺(luó)杆型幹式真空泵技術(shù)介(jiè)紹(shào)

日(rì)本(běn)愛(ài)發科(kē)LS120A螺(luó)杆(gān)型(xíng)幹式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵技術介紹
：雙螺杆(gān)無油壓縮(suō)原理(lǐ)與綠(lǜ)色潔淨真空應(yīng)用

在半導體製(zhì)造，光伏鍍(dù)膜(mó)，平(píng)板顯示(shì)及精(jīng)密(mì)科(kē)研(yán)等製造(zào)領域介紹，潔(jié)淨無油的真(zhēn)空(kōng)環境是(shì)保障(zhàng)產(chǎn)品(pǐn)良率與(yǔ)工藝穩定(dìng)性的(dí)核心前提。愛發科(kē)（ULVAC）LS係列(liè)螺(luó)杆(gān)型幹式(shì)真(zhēn)空泵(bèng)作(zuò)為兼顧高(gāo)速(sù)排氣與低功耗(hào)的產品，依(yī)托雙螺杆(gān)無油容(róng)積式(shì)壓(yā)縮(suō)技術，以高抽速，低能(néng)耗，無油(yóu)潔淨(jìng)，靜音運行四大核(hé)心優勢(shì)，成為麵向潔淨工(gōng)藝(yì)與(yǔ)輕(qīng)工(gōng)藝多元(yuán)場(cháng)景的(dí)理想真空源(yuán)。其中(zhōng)LS120A作為該(gāi)係列(liè)的(dí)入(rù)門級(jí)型號(hào)，以(yǐ)優異的(dí)綜(zōng)合(hé)性能(néng)成(chéng)為(wéi)中小(xiǎo)型真空係統的(dí)優選(xuǎn)方案。

一，工(gōng)作原理(lǐ)
：雙(shuāng)螺(luó)杆非接(jiē)觸(chù)式容(róng)積壓(yā)縮(suō)

LS120A的核心(xīn)工(gōng)作(zuò)原理建立在雙螺杆(gān)非接(jiē)觸(chù)式容積壓縮(suō)這一(yī)物理機(jī)製(zhì)之上。它本質(zhì)上是(shì)一(yī)種(zhǒng)幹式(shì)容積(jī)真空泵——通過(guò)兩根(gēn)平(píng)行(háng)齧(niè)合的螺杆轉子(zǐ)同(tóng)步反向旋(xuán)轉，周(zhōu)期(qī)性地改(gǎi)變轉(zhuǎn)子(zǐ)與泵殼之間(jiān)形成(chéng)的封(fēng)閉腔(qiāng)體容積，實(shí)現氣體(tǐ)的吸入，壓(yā)縮與(yǔ)排出(chū)。

泵(bèng)的(dí)核心(xīn)運動(dòng)部件(jiàn)由(yóu)兩(liǎng)根(gēn)精密(mì)加工的(dí)雙螺(luó)杆(gān)轉子組成
：

• 非(fēi)接觸(chù)式運(yùn)轉
  ：兩(liǎng)根(gēn)螺(luó)杆轉(zhuǎn)子在(zài)同(tóng)步齒輪(lún)的驅動(dòng)下(xià)以相(xiāng)反(fǎn)方(fāng)向(xiàng)高速(sù)旋轉(zhuǎn)，轉子(zǐ)之(zhī)間以及轉子(zǐ)與泵殼之間(jiān)始終保持微米(mǐ)級的微(wēi)小(xiǎo)間隙，無(wú)需任何潤(rùn)滑(huá)油作(zuò)為(wéi)密封(fēng)介質。這(zhè)一(yī)設(shè)計(jì)從(cóng)根(gēn)本上杜(dù)絕(jué)了(liǎo)油蒸氣的產(chǎn)生與返流。

• 容(róng)積(jī)式(shì)壓縮
  ：隨著(zhuó)轉子旋(xuán)轉，氣體由(yóu)進氣口被吸(xī)入(rù)後，在螺杆螺旋槽與(yǔ)泵殼(ké)之間形成的(dí)封閉腔體中(zhōng)沿軸(zhóu)向連續傳遞。腔體容積沿(yán)輸送方(fāng)向逐(zhú)漸(jiàn)縮小，氣(qì)體(tǐ)被逐級壓縮，最終從排氣(qì)口(kǒu)排出(chū)。LS120A的最(zuì)大(dà)抽(chōu)速(sù)可(kě)達(dá)120m³/h，極限(xiàn)壓(yā)力可達≤0.6Pa。

• 無油密封(fēng)與冷(lěng)卻
  ：軸(zhóu)承(chéng)和(hé)齒輪等旋轉部(bù)件的潤滑(huá)油通過精(jīng)密軸封嚴(yán)格隔離，確保氣體(tǐ)接(jiē)觸區域(yù)不使用任何油類介質(zhì)。泵(bèng)體(tǐ)采用強製(zhì)油(yóu)循(xún)環係(xì)統進行冷(lěng)卻，使抽(chōu)速在(zài)接(jiē)近(jìn)大氣(qì)壓(yā)時仍保(bǎo)持穩(wěn)定。

• 多電(diàn)壓馬達驅(qū)動(dòng)
  ：LS120A搭(dā)載由愛發(fā)科開發(fā)的(dí)高(gāo)效(xiào)能（IE3）多(duō)電壓馬達，單(dān)一(yī)馬達(dá)即(jí)可(kě)覆蓋200至240V及(jí)380至(zhì)460V的(dí)寬電壓範圍(wéi)，可適配全(quán)球不(bù)同國(guó)家和地區的電(diàn)網(wǎng)標準(zhǔn)。

二(èr)，核(hé)心技術(shù)特點

1. 高抽(chōu)速，大(dà)幅縮(suō)短工(gōng)藝節(jié)拍(pāi)

LS120A在接(jiē)近大氣(qì)壓(yā)的壓力區(qū)間仍(réng)能保(bǎo)持高抽(chōu)速(sù)，可大(dà)幅縮短腔體的(dí)抽空(kōng)時間(jiān)。以真(zhēn)空(kōng)鍍膜(mó)前的腔室(shì)準(zhǔn)備為例(lì)，LS120A可在(zài)更(gēng)短時(shí)間(jiān)內將腔體壓力(lì)降至工(gōng)藝要求(qiú)範圍(wéi)，顯著提升生產節(jié)拍(pāi)和(hé)設(shè)備綜合(hé)效(xiào)率(shuài)（OEE）。其(qí)最(zuì)大抽速(sù)達(dá)120m³/h，在同(tóng)級(jí)螺(luó)杆(gān)幹泵中處於(yú)中上(shàng)水平。

2. ECO-SHOCK節能技(jì)術，能耗顯(xiǎn)著(zhù)優(yōu)化

LS120A搭載愛(ài)發科的ECO-SHOCK節能技(jì)術，在(zài)維持高(gāo)抽速(sù)的同時(shí)實現了極低的(dí)功(gōng)耗(hào)。C型(xíng)（潔(jié)淨(jìng)工藝型）在極(jí)限(xiàn)壓(yā)力下(xià)的功(gōng)耗僅為0.6kW。對比(bǐ)市(shì)場同級別(bié)進口(kǒu)螺杆幹(gān)泵（如(rú)某(mǒu)品牌同規格產(chǎn)品極(jí)限(xiàn)壓(yā)力功(gōng)耗約1.2～1.5kW），LS120A的能耗降低(dī)約50%～60%。同時，ECO-SHOCK技術有(yǒu)效抑(yì)製(zhì)了(liǎo)泵體發熱(rè)量，間(jiān)接(jiē)降(jiàng)低(dī)了車間(jiān)空調負荷(hé)，進(jìn)一(yī)步(bù)節約(yuē)了(liǎo)綜(zōng)合運(yùn)營(yíng)成(chéng)本。

3. 無油潔淨，杜絕(jué)汙染(rǎn)風險

LS120A的氣(qì)體(tǐ)接觸(chù)區域(yù)不(bù)使(shǐ)用任何(hé)油(yóu)類介質，配合(hé)非接觸(chù)式螺(luó)杆設計和(hé)精(jīng)密軸封(fēng)隔離(lí)，從根(gēn)源上(shàng)杜(dù)絕了(liǎo)油(yóu)蒸(zhēng)氣和油霧(wù)的產生與(yǔ)返(fǎn)流(liú)。這一(yī)特性(xìng)使其(qí)成(chéng)為半導體晶(jīng)圓製造(zào)，光(guāng)學鍍膜(mó)等(děng)對潔(jié)淨(jìng)度要求(qiú)極為(wéi)嚴苛的(dí)工(gōng)藝場景(jǐng)的理(lǐ)想選擇(zé)，有(yǒu)效避(bì)免了油汙染導致的膜層缺陷(xiàn)和產品不良。

4. 低噪音(yīn)運行(háng)，改善(shàn)作業環境

LS120A標配內置(zhì)消(xiāo)音(yīn)器，運行噪音(yīn)低(dī)至61dB(A)或(huò)以(yǐ)下。這一靜音(yīn)水平(píng)相當(dāng)於(yú)日常辦(bàn)公(gōng)室(shì)環(huán)境噪音(yīn)級(jí)別，使(shǐ)其可直(zhí)接部署於對(duì)噪(zào)音敏感的精密實(shí)驗室，潔淨車(chē)間等(děng)環(huán)境，無需(xū)額外(wài)加裝(zhuāng)隔音設(shè)施(shī)，顯(xiǎn)著(zhù)改善了操作人(rén)員的工作環境(jìng)。

5. 低(dī)運行成本(běn)，無需(xū)軸封(fēng)氣(qì)體(tǐ)

LS120A的運行成(chéng)本極(jí)低——無需軸封密(mì)封氣體，大幅減少了輔(fǔ)助(zhù)氣體(tǐ)的消耗(hào)。對於(yú)L型（輕(qīng)工(gōng)藝型(xíng)），還(huán)可選(xuǎn)配(pèi)吹掃氣(qì)體（Purge gas）功(gōng)能，進一步提(tí)升(shēng)對(duì)可(kě)凝性(xìng)蒸汽(qì)的(dí)處(chǔ)理能(néng)力。

6. 豐富(fù)的選(xuǎn)型配(pèi)置(zhì)，適配(pèi)多元工藝(yì)

LS120A提供(gōng)多種規(guī)格(gé)選型，可根據不同(tóng)工藝(yì)需(xū)求靈活選(xuǎn)擇(zé)
：

• C型(xíng)（潔淨工(gōng)藝型）
  ：低功耗機(jī)型，內置(zhì)ECO-SHOCK技(jì)術，適(shì)用於(yú)空(kōng)氣(qì)和氮氣等(děng)潔淨工藝場景，如濺射(shè)，蒸(zhēng)鍍(dù)，層(céng)壓(yā)，負(fù)載(zǎi)鎖(suǒ)室(shì)及(jí)渦輪(lún)分(fēn)子泵前級泵等。

• L型(xíng)（輕(qīng)工(gōng)藝(yì)型(xíng)）
  ：輕工藝機型，配(pèi)備(bèi)表(biǎo)麵處理和(hé)吹(chuī)掃功(gōng)能(néng)，適用於含(hán)有(yǒu)蒸(zhēng)汽和(hé)易(yì)揮發液(yè)體藥品(pǐn)等輕(qīng)工藝場景，如真空幹燥(zào)，冷凍幹燥(zào)，灰(huī)化(huà)處理(lǐ)及一般工業用途(tú)等(děng)。

三，性(xìng)能參(cān)數一覽(lǎn)

數據來源(yuán)
：ULVAC規(guī)格表(biǎo)

四，典(diǎn)型應用場景

半導體(tǐ)製造(zào)
：作為(wéi)晶(jīng)圓濺射(shè)，CVD，刻(kè)蝕(shí)等(děng)工(gōng)藝的(dí)真空(kōng)源(yuán)，LS120A的(dí)無油潔淨特性可(kě)有(yǒu)效避免晶(jīng)圓表麵汙染，保障芯片(piàn)良(liáng)率(shuài)。

光伏(fú)與(yǔ)平板(bǎn)顯示
：用(yòng)於光(guāng)伏(fú)電池片(piàn)鍍膜，FPD沉(chén)積(jī)工(gōng)藝(yì)的真(zhēn)空(kōng)係統(tǒng)，快速(sù)抽(chōu)排反(fǎn)應氣體，提(tí)升(shēng)鍍膜效(xiào)率(shuài)與產(chǎn)品品質。

真(zhēn)空鍍(dù)膜
：作為濺(jiàn)射，蒸鍍(dù)等鍍膜(mó)設備的主泵或(huò)前級(jí)泵(bèng)，為光(guāng)學鏡片，裝飾塗層(céng)等提(tí)供潔淨高真空(kōng)環(huán)境。

負載鎖室(shì)與TMP前級
：作為渦(wō)輪分子泵(bèng)（TMP）的(dí)前(qián)級(jí)泵，或用(yòng)於負載鎖室（Load Lock）的(dí)快(kuài)速(sù)抽空。

真(zhēn)空幹燥與(yǔ)冷凍(dòng)幹燥
：L型適(shì)用於含有蒸汽和(hé)揮(huī)發(fā)性物(wù)質的(dí)真(zhēn)空幹燥，冷凍(dòng)幹燥等輕工藝(yì)場景。

科(kē)研(yán)與(yǔ)實驗室(shì)
：高校及科研院(yuàn)所(suǒ)的材(cái)料(liào)研發，物(wù)理化學實驗等對(duì)潔(jié)淨真空有(yǒu)要求的場景。

五(wǔ)，總結(jié)

LS120A是愛發(fā)科(kē)在螺杆(gān)型(xíng)幹式真空泵(bèng)領(lǐng)域技(jì)術實力的集中(zhōng)體(tǐ)現。通(tōng)過雙螺杆非接觸(chù)式(shì)容積壓縮(suō)機(jī)製與ECO-SHOCK節能技(jì)術(shù)的精(jīng)密配合，在實現120m³/h最大抽速和(hé)≤0.6Pa極限壓力(lì)的同時(shí)，將極限(xiàn)壓(yā)力(lì)下的(dí)功耗(hào)控製在0.6kW，對(duì)比市場同(tóng)級別產品降低(dī)約(yuē)50%～60%，噪(zào)音低(dī)至61dB(A)。其無(wú)油潔(jié)淨，低運行(háng)成本，多(duō)電(diàn)壓(yā)適(shì)配及C型(xíng)/L型靈(líng)活選(xuǎn)型(xíng)等綜(zōng)合優勢，使其成為半導體製造，光伏(fú)鍍膜，真(zhēn)空(kōng)鍍膜及(jí)精密(mì)科(kē)研等潔淨工(gōng)藝與輕工藝場景中兼(jiān)具性能(néng)，能效與(yǔ)環保(bǎo)價值的理想選擇。

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