幹(gān)泵基礎(chǔ)知識介(jiè)紹(shào)

更新時間(jiān)：2026-07-22

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幹(gān)泵(bèng)基礎知識(shí)

什(shí)麼是幹(gān)泵？

幹泵(bèng)是指各種不使用(yòng)油(yóu)或(huò)其他(tā)液(yè)體即(jí)可實(shí)現(xiàn)真(zhēn)空的真空(kōng)泵的(dí)總稱。

幹泵是(shì)指利用(yòng)油(yóu)和其(qí)他(tā)材料(liào)製造(zào)真空(kōng)，與濕(shī)泵(bèng)形成(chéng)對比。根(gēn)據(jù)機(jī)構(gòu)不(bù)同，有多種類(lèi)型，如根(gēn)式(shì)幹(gān)泵，滾(gǔn)泵，爪式幹泵和隔(gé)膜(mó)式幹泵(bèng)。

與(yǔ)旋轉泵不同，它(tā)不(bù)產(chǎn)生(shēng)油(yóu)霧，適合在(zài)清(qīng)潔環境中使用(yòng)。

幹泵的應用

幹(gān)泵的主(zhǔ)要應(yīng)用(yòng)包括半導(dǎo)體製(zhì)造綫，食品(pǐn)加(jiā)工(gōng)綫(xiàn)以及電子(zǐ)顯微鏡等(děng)各種科(kē)學分析設(shè)備。對於(yú)這(zhè)些應(yīng)用(yòng)，避免(miǎn)對(duì)使用環境造(zào)成汙(wū)染至關重要。幹式泵的主要特點是(shì)排氣(qì)中不(bù)含油(yóu)霧或其他物(wù)質(zhì)，適合(hé)需(xū)要清潔(jié)環境的應用。

然(rán)而，幹(gān)泵(bèng)達(dá)到(dào)的(dí)真空約為1Pa，對於典(diǎn)型(xíng)真(zhēn)空來(lái)說並不(bù)高。當需(xū)要(yào)高(gāo)真(zhēn)空時，它(tā)們與(yǔ)渦輪分子泵或(huò)離(lí)子泵結(jié)合使用。此(cǐ)外(wài)，由於排氣速度(dù)因(yīn)類(lèi)型(xíng)不同而(ér)異，因此必須根據(jù)預期用途選擇合(hé)適的(dí)類型(xíng)。

幹泵(bèng)原理(lǐ)

幹泵有多(duō)種類型(xíng)，但許多(duō)被(bèi)歸類為燃(rán)氣(qì)輸送泵(bèng)。所有(yǒu)燃(rán)氣(qì)輸送泵都(dū)設有(yǒu)一(yī)個用(yòng)於(yú)吸(xī)入氣(qì)體(tǐ)的進氣(qì)口和一(yī)個用於排放氣(qì)體(tǐ)的排氣口。通過(guò)從進(jìn)氣口吸(xī)入氣體並通過(guò)排氣口(kǒu)排出，泵內的(dí)氣(qì)體得(dé)以(yǐ)排出。

通過運輸(shū)各(gè)種氣(qì)體，空間中的氣(qì)體數量減(jiǎn)少(shǎo)，形成真(zhēn)空狀態。與(yǔ)幹泵(bèng)不同，濕(shī)泵(bèng)使(shǐ)用液壓油(yóu)，確保氣(qì)體(tǐ)輸(shū)送(sòng)過程中(zhōng)真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)內部密(mì)封。

除(chú)了密(mì)封外，液壓油(yóu)還在(zài)減(jiǎn)少零件(jiàn)間磨損，減少摩(mó)擦，吸收(shōu)氣體壓縮產生(shēng)的熱量(liáng)以及為泵部(bù)件提供防鏽(xiù)等(děng)方(fāng)麵(miàn)發揮作用。

幹(gān)泵類型

幹泵有多(duō)種結構用(yòng)於(yú)輸送(sòng)氣體。主(zhǔ)要幹(gān)泵為(wéi)體積輸送式，旋轉式為主(zhǔ)流。

1. 葉片(piàn)泵(bèng)

葉片(piàn)泵(bèng)是一種帶(dài)有多個葉(yè)片(piàn)的(dí)圓(yuán)柱體，位於圓(yuán)形空間(jiān)內，旋轉時(shí)仿(fǎng)佛(fó)通過(guò)葉(yè)片(piàn)在空(kōng)間(jiān)內(nèi)吸入空氣。葉(yè)片產(chǎn)生(shēng)的(dí)離心力(lì)使(shǐ)葉片(piàn)接觸圓形空間壁，形成(chéng)密(mì)封(fēng)空(kōng)間。

2. 爪式泵

爪泵由兩個(gè)並排排列(liè)的(dí)爪(zhǎo)形轉(zhuǎn)子(zǐ)組(zǔ)成，旋(xuán)轉(zhuǎn)方向相反(fǎn)，用(yòng)爪子排(pái)出(chū)氣體。氣體(tǐ)被壓縮後排出(chū)泵外(wài)。

3. 多級(jí)根泵

多級根泵(bèng)也是一(yī)種通過一對(duì)轉子向泵(bèng)外部方向相反旋轉吸(xī)入氣(qì)體的泵(bèng)。轉(zhuǎn)子(zǐ)采(cǎi)用(yòng)眉形橫截麵葉(yè)片。

4. 卷泵

滾泵是一種在固(gù)定(dìng)螺(luó)旋內輸送(sòng)氣體的(dí)泵(bèng)，同(tóng)時(shí)旋轉滾筒(tǒng)旋轉。

5. 螺(luó)旋泵

螺旋(xuán)泵(bèng)由1~3個螺絲(sī)和一個安(ān)裝螺絲(sī)的套管(guǎn)組成(chéng)。隨著螺(luó)旋(xuán)旋轉，氣體(tǐ)被(bèi)推(tuī)出(chū)套管時(shí)被(bèi)移動(dòng)和排出(chū)。

除了上述旋(xuán)轉(zhuǎn)泵外(wài)，其他具(jù)有體積傳遞的(dí)幹式(shì)泵(bèng)也(yě)配(pèi)備(bèi)了往復(fù)式泵。往(wǎng)復運(yùn)動部(bù)件包括隔膜，活(huó)塞，風箱(xiāng)等。

幹(gān)泵的功(gōng)能

幹(gān)泵的氣體路徑上沒有(yǒu)液(yè)壓油(yóu)。沒(méi)有油霧混(hùn)入(rù)廢氣(qì)或(huò)油在真空(kōng)容器內蒸(zhēng)發(fā)和擴散(sàn)的風險。幹泵(bèng)的一(yī)個主(zhǔ)要(yào)特點是能夠(gòu)提供幹(gān)淨的排氣和(hé)真(zhēn)空空(kōng)間。

另一(yī)個(gè)主(zhǔ)要優(yōu)勢(shì)是你不需(xū)要定期更換(huàn)機油等(děng)維護。幹(gān)泵的(dí)其(qí)他特點包(bāo)括體積小(xiǎo)巧(qiǎo)，輕(qīng)便，振動低(dī)，噪音(yīn)低(dī)。

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