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玉崎【小王(wáng)子(zǐ)新上市】壓力(lì)控(kòng)製器(qì)精品(pǐn)UPC-4CW2-C150H

更(gēng)新時間：2024-03-19

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玉崎【小王子新上市】壓力(lì)控製器(qì)精品UPC-4CW2-C150H

玉崎【小(xiǎo)王子(zǐ)新上市】壓(yā)力控製器精(jīng)品UPC-4CW2-C150H

應(yīng)用

任(rèn)何(hé)壓力(lì)都(dū)可(kě)以通過(guò)電信(xìn)號(hào)設(shè)定。

當多(duō)個(gè)質量(liáng)流(liú)量連接(jiē)到(dào)一(yī)條管(guǎn)綫時，壓力會(huì)被調整，以使氣(qì)體(tǐ)流(liú)量的(dí)快速波動不會影(yǐng)響其他(tā)質量(liáng)流量(liáng)。

可用作晶(jīng)圓(yuán)背麵冷卻的(dí)控製器。

用於下(xià)遊壓力控製(zhì)。

特征(zhēng)

●工(gōng)作(zuò)原理：內置壓(yā)力(lì)傳感器，保持壓力恒定。

●可通過電信號設定任意(yì)壓力。

●在質(zhì)量流量(liáng)控(kòng)製器的上(shàng)遊連接時(shí)，可(kě)以進(jìn)行(háng)非常穩定的流量(liáng)控製。

●當多個(gè)質量流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器連(lián)接到(dào)一(yī)條(tiáo)綫路時，氣體流(liú)量(liáng)的(dí)突然波動可能(néng)會影響(xiǎng)其他(tā)質(zhì)量流量控製(zhì)器。在這(zhè)種情況(kuàng)下(xià)，使用 UPC 係(xì)列可以防止這(zhè)種影(yǐng)響(xiǎng)（下(xià)遊壓力控製型(xíng)）。

●UPCUS（上遊(yóu)壓力控製(zhì)型）保持MO-CVD等(děng)液(yè)源的內部(bù)壓(yā)力恒定，提高(gāo)汽(qì)化(huà)量(liáng)的穩定性(xìng)。

●可(kě)用(yòng)作晶(jīng)片背麵冷卻的控(kòng)製(zhì)器。還(huán)提供帶(dài)流(liú)量監控器的高溫型（150°C，250°C）。

●可(kě)用於(yú)從半導(dǎo)體，平板顯(xiǎn)示器(qì)，太陽能(néng)電池(chí)板(bǎn)等(děng)技術產業到一(yī)般產業的廣(guǎng)泛領域(yù)的(dí)壓力控製(zhì)。

●兼(jiān)容DeviseNet TM接(jiē)口（請(qǐng)注明(míng)）。符合(hé) RoHS 標(biāo)準(zhǔn)：本產品符合(hé) RoHS 規(guī)定(dìng)並且(qiě)是(shì)環保的。

規格

模(mó)型	UPC （下遊(yóu)壓力(lì)控(kòng)製器）		FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓(yā)力範圍	FS 13.3kPa abs.(100Torr)	FS 150/300/500kPa	FS 150/300/500kPa
控製(zhì)壓(yā)力範圍(wéi)	1 到(dào) 100%	1 至 100% *1
控製閥CV值(zhí)	-	L型(xíng)：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓力調節係(xì)統(tǒng) （自動(dòng)調(tiáo)零後）	1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP	FS 150kPa abs. [1 至(zhì) 40%：±0.2%FS，40 至(zhì) 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至(zhì) 100%：±0.5% SP]
供氣(qì)壓(yā)力(lì)範圍	0 至(zhì) 200kPaG	～897.3kPaG	-
耐壓性(xìng)	200kPaG	1MPaG
外部泄漏(lòu)	＜1.0×10 -10 Pa･m3 /sec
使用溫(wēn)度(dù)範(fàn)圍(wéi)	0～50℃（係統保證溫(wēn)度(dù)範(fàn)圍：15～35℃）*2
電源電(diàn)壓，電流(liú)消(xiāo)耗	+15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至(zhì) 25VDC，4.0W
壓力(lì)設(shè)定/輸(shū)出(chū)信號(hào)	0-10VDC/0-10VDC	0-5VDC/0-5VDC
接(jiē)液部分(fēn)材料	SUS316L，鎳鈷合(hé)金(jīn)	SUS316L，鎳鈷(gǔ)合金，FS9
連接配件/尺寸	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)

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