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您的(dí)位(wèi)置：首頁(yè) / 新(xīn)聞中心(xīn) / 愛發科(kē)發(fā)布CRYO-U16高負(fù)荷低(dī)溫(wēn)泵上新(xīn)發布 深圳京(jīng)都(dū)玉(yù)崎現貨(huò) 
更(gēng)新時間：2026-07-16 
瀏覽次(cì)數：19針對半導(dǎo)體(tǐ)先(xiān)進(jìn)製(zhì)程(chéng)，大(dà)型真空鍍(dù)膜綫及空(kōng)間環(huán)境(jìng)模(mó)擬等對超高真(zhēn)空(kōng)度和超大(dà)抽氣負荷有高(gāo)要求的應(yīng)用(yòng)場景，愛(ài)發(fā)科今(jīn)日正式推出CRYO-U16係列高(gāo)負荷低溫(wēn)泵。該產品憑(píng)借超(chāo)大容(róng)量低溫板陣列，快(kuài)速(sù)再生(shēng)能力(lì)和節(jié)能(néng)環(huán)保(bǎo)設計，為(wéi)製造業提(tí)供(gōng)了一款(kuǎn)性(xìng)能強悍的(dí)低(dī)溫真(zhēn)空核心部(bù)件(jiàn)。
CRYO-U16采(cǎi)用全(quán)金(jīn)屬密(mì)封(fēng)結(jié)構和(hé)二級GM製冷機(jī)，可實現低於10⁻⁷Pa的超高(gāo)真空(kōng)環境。其(qí)低(dī)溫(wēn)板(bǎn)陣列經過優(yōu)化設計，對水蒸氣，氮(dàn)氣(qì)，氧(yǎng)氣(qì)及氬(yà)氣(qì)等主(zhǔ)要殘(cán)餘(yú)氣體(tǐ)具有(yǒu)高的抽(chōu)速(sù)和(hé)吸附(fù)容(róng)量(liáng)，尤其(qí)適(shì)用(yòng)於需(xū)要大(dà)量工藝氣(qì)體注入(rù)的濺射(shè)，蒸發(fā)及離子注(zhù)入等(děng)工藝。在同(tóng)等製冷功(gōng)率(shuài)下，CRYO-U16的(dí)有效(xiào)抽(chōu)氣(qì)麵積較(jiào)上一(yī)代(dài)提升約(yuē)15%，顯(xiǎn)著(zhù)縮短(duǎn)工藝節拍時(shí)間。
產品(pǐn)標(biāo)配(pèi)智能化(huà)溫度監控與再生控(kòng)製(zhì)係統，支(zhī)持手(shǒu)動/自動再生模(mó)式，並具(jù)備(bèi)遠(yuǎn)程通信(xìn)接口(kǒu)，可(kě)集成到工廠自(zì)動(dòng)化管理係統。再生過程中，加熱(rè)器(qì)和吹掃(sǎo)氣(qì)路協同(tóng)工作，實現(xiàn)快速(sù)解(jiě)析(xī)，將再生停(tíng)機時(shí)間壓縮至(zhì)低，提升(shēng)設備綜合效率（OEE）。同時(shí)，該低(dī)溫泵(bèng)運(yùn)行能耗優化，進一(yī)步降(jiàng)低(dī)客(kè)戶長期用(yòng)電(diàn)成(chéng)本。
CRYO-U16已通過(guò)嚴格的震動測(cè)試(shì)和(hé)熱(rè)循(xún)環(huán)測試(shì)，適用(yòng)於(yú)對機(jī)械穩定性要求(qiú)高(gāo)的(dí)光刻機，電子顯(xiǎn)微鏡及粒子加速器等精(jīng)密設備。愛發科憑(píng)借數十年低溫泵(bèng)研發經(jīng)驗，再次以CRYO-U16彰(zhāng)顯了(liǎo)其在超高真(zhēn)空領(lǐng)域的(dí)技(jì)術地(dì)位，為國(guó)內半導體(tǐ)產業鏈自(zì)主(zhǔ)可控提(tí)供強有力的(dí)裝備(bèi)支撐。
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