日(rì)本愛發科(kē)ULVAC正式發布LS300A螺(luó)杆(gān)型(xíng)幹(gān)式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵上新

日(rì)本(běn)愛(ài)發(fā)科(kē)ULVAC正(zhèng)式發布LS300A螺(luó)杆(gān)型幹式(shì)真(zhēn)空泵上(shàng)新

日(rì)本愛發(fā)科(kē)ULVAC正(zhèng)式(shì)發(fā)布LS300A螺(luó)杆(gān)型幹(gān)式真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)上新，以高(gāo)速排(pái)氣與低功(gōng)耗技(jì)術賦能(néng)半(bàn)導(dǎo)體潔淨(jìng)工藝(yì)

全(quán)球真(zhēn)空技(jì)術(shù)綜合(hé)解決(jué)方(fāng)案供應(yīng)商日本(běn)愛(ài)發(fā)科(kē)（ULVAC）今(jīn)日(rì)正式麵向中國(guó)市場(cháng)推出LS300A螺(luó)杆(gān)型(xíng)幹式真空(kōng)泵
。作為(wéi)LS係(xì)列(liè)中的中等(děng)抽速代(dài)表機型(xíng)，LS300A依(yī)托(tuō)雙螺杆(gān)無油容(róng)積(jī)式壓縮與(yǔ)ECO-SHOCK節能技術兩大核心(xīn)技術，以380m³/h最(zuì)大抽(chōu)速，≤0.1Pa極(jí)限壓力，61dB(A)低噪音運行等綜(zōng)合(hé)性能，成為(wéi)麵(miàn)向半導體(tǐ)濺射(shè)/沉(chén)積，Load Lock腔(qiāng)室，TMP前級泵及真空幹燥等潔淨(jìng)工藝(yì)與輕工藝(yì)場景的可靠(kào)選擇
。該產品目前深圳倉(cāng)庫有現貨(huò)供(gōng)應，可(kě)滿(mǎn)足客戶的快(kuài)速(sù)交付需求
。

雙螺(luó)杆非(fēi)接觸(chù)式(shì)壓縮，實現無(wú)油(yóu)潔(jié)淨(jìng)運(yùn)行

LS300A的(dí)核心(xīn)工作原(yuán)理建立在(zài)雙螺(luó)杆(gān)非(fēi)接(jiē)觸(chù)式(shì)容積壓縮這(zhè)一(yī)物(wù)理機製之上(shàng)
。兩(liǎng)根精(jīng)密(mì)加(jiā)工(gōng)的螺杆轉子(zǐ)在同步齒輪驅動(dòng)下以相(xiāng)反方(fāng)向(xiàng)高(gāo)速(sù)旋轉，轉子之(zhī)間以(yǐ)及轉子(zǐ)與泵殼(ké)之(zhī)間始終保(bǎo)持(chí)微米(mǐ)級的微小間(jiān)隙，無(wú)需(xū)任(rèn)何潤滑油(yóu)作為密封介質
。這一(yī)設計從(cóng)根源上杜(dù)絕了油(yóu)蒸氣(qì)的產生(shēng)與返流，確(què)保(bǎo)氣體接(jiē)觸區域不使用(yòng)任何油(yóu)類介(jiè)質(zhì)
。

隨著(zhuó)轉子旋轉，氣(qì)體由(yóu)進氣口被吸入後(hòu)，在(zài)螺杆螺(luó)旋槽(cáo)與(yǔ)泵(bèng)殼之間(jiān)形成(chéng)的(dí)封閉(bì)腔體(tǐ)中(zhōng)沿(yán)軸(zhóu)向連(lián)續傳遞
。腔(qiāng)體容(róng)積沿輸送方(fāng)向逐漸(jiàn)縮小，氣體被逐級壓縮，最終(zhōng)從排氣口(kǒu)排出(chū)
。LS300A的(dí)最大(dà)抽速(sù)達380m³/h，極(jí)限(xiàn)壓(yā)力(lì)可達(dá)≤0.1Pa
。

ECO-SHOCK節能技術，功耗(hào)低(dī)至1.0kW

LS300A搭載愛(ài)發(fā)科(kē)ECO-SHOCK節能技術(shù)，這(zhè)是C型規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)配置
。在維持高抽速的(dí)同時，極限壓(yā)力下(xià)的功(gōng)耗可低至1.0kW或(huò)更低(dī)
。對比傳統幹式真空泵，ECO-SHOCK技術(shù)可(kě)在(zài)不影響抽(chōu)氣性(xìng)能的前提(tí)下大(dà)幅降(jiàng)低(dī)電(diàn)力消(xiāo)耗，同時有效抑(yì)製(zhì)泵體發熱量，間接降低車間(jiān)空(kōng)調能(néng)耗(hào)
。此外，LS300A無(wú)需軸封氣體，進一步降低(dī)了(liǎo)主要使用(yòng)氮氣的(dí)潔淨工(gōng)藝的運行成(chéng)本(běn)
。

低(dī)噪音(yīn)運行，改善作(zuò)業環境

LS300A標配(pèi)專用(yòng)消音器(qì)，運(yùn)行噪音(yīn)低(dī)至61dB(A)或以(yǐ)下(xià)
。這一靜(jìng)音水平使其(qí)可(kě)直(zhí)接部署於(yú)對(duì)噪音敏(mǐn)感的潔淨(jìng)車間，精(jīng)密實驗室等環境，無需額外加裝隔音設(shè)施(shī)
。

豐富的選(xuǎn)型配(pèi)置(zhì)，適配多元工(gōng)藝

LS300A提供兩種(zhǒng)規(guī)格(gé)選型，可根(gēn)據不同(tóng)工(gōng)藝需(xū)求靈(líng)活(huó)選(xuǎn)擇：

• C型（潔(jié)淨工(gōng)藝型，LS300AC） ：低功耗型(xíng)，內(nèi)置ECO-SHOCK技術
  。適(shì)用於潔淨排(pái)氣場(cháng)景，如空氣(qì)排氣(qì)和(hé)N₂排氣，濺射/沉積(jī)/鍵(jiàn)合，Load Lock腔(qiāng)室，TMP前(qián)級泵等
  。

• L型(xíng)（輕工藝(yì)型，LS300AL） ：輕(qīng)工(gōng)藝型，配(pèi)備表麵(miàn)處(chǔ)理和(hé)吹掃功(gōng)能
  。適(shì)用(yòng)於排出水蒸氣(qì)和揮發性化學品，真空幹燥(zào)，冷凍幹燥(zào)，灰(huī)化(huà)，一(yī)般工業(yè)應用(yòng)等場(cháng)景
  。

寬電(diàn)壓適配(pèi)與(yǔ)便(biàn)捷集成

LS300A搭載(zǎi)愛發科(kē)高效(xiào)能(néng)（IE3）多(duō)電壓馬(mǎ)達(dá)，單一馬達(dá)可(kě)覆蓋(gài)寬(kuān)電壓範圍：200V級（三(sān)相，50/60Hz，AC200-240V）或400V級（三相(xiāng)，50/60Hz，AC380-480V）
。冷(lěng)卻水(shuǐ)流量需大於(yú)4.0L/min
。對(duì)於(yú)希望進一步(bù)提(tí)升抽(chōu)速的(dí)用戶，愛發科建(jiàn)議將LS300A與(yǔ)機械增(zēng)壓(yā)泵(bèng)結合(hé)使(shǐ)用
。

多(duō)元(yuán)應(yīng)用(yòng)場景(jǐng)

LS300A廣(guǎng)泛應(yīng)用於半導體(tǐ)與工業(yè)製造領域：在半導體(tǐ)濺射(shè)/沉積工藝(yì)中(zhōng)提供潔淨無油的真(zhēn)空(kōng)環(huán)境(jìng)；在Load Lock腔(qiāng)室中(zhōng)實現快速抽真空(kōng)；作為渦(wō)輪分子(zǐ)泵（TMP）前級(jí)泵使用(yòng)；在真空幹(gān)燥(zào)，冷(lěng)凍幹燥等輕(qīng)工藝(yì)中(zhōng)穩(wěn)定運行(háng)；在(zài)一(yī)般工(gōng)業應用(yòng)中適配(pèi)各(gè)類(lèi)潔(jié)淨(jìng)排氣需求(qiú)
。

現貨供應，快(kuài)速(sù)交(jiāo)付

LS300A目(mù)前深圳(zhèn)倉庫(kù)有現貨供應(yīng)，可滿(mǎn)足客戶的(dí)快速(sù)交(jiāo)付需求(qiú)
。有(yǒu)采購(gòu)意向的客戶可(kě)聯係(xì)授權(quán)經銷商確認具體庫存數(shù)量與交(jiāo)付周期(qī)
。

購買渠(qú)道：本產品由深圳(zhèn)市(shì)京(jīng)都玉(yù)崎(qí)電子有(yǒu)限公司(sī)負責(zé)中國(guó)區銷售與(yǔ)技(jì)術支(zhī)持
。公(gōng)司(sī)地(dì)址位於深圳市(shì)龍(lóng)華新區(qū)梅龍大道906號(hào)創業樓
。客(kè)戶(hù)可通過化(huà)工(gōng)儀器網商鋪或(huò)直(zhí)接聯(lián)係(xì)銷(xiāo)售團(tuán)隊進(jìn)行(háng)產品(pǐn)咨詢與訂購
。深圳京都(dū)玉崎憑(píng)借(jiè)供應鏈(liàn)體(tǐ)係(xì)和(hé)專(zhuān)業技(jì)術服(fú)務團隊(duì)，為客戶提供(gōng)從(cóng)選(xuǎn)型咨詢(xún)，現(xiàn)貨供應(yīng)到(dào)售(shòu)後支持的(dí)一站(zhàn)式采購體驗(yàn)
。