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牛津儀器BEX成像技術(shù)榮獲英(yīng)國物理(lǐ)學(xué)會商業創新(xīn)獎

更新(xīn)時(shí)間(jiān)：2026-07-21

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牛(niú)津儀(yí)器BEX成像(xiàng)技術榮獲英國(guó)物理(lǐ)學會(huì)商業(yè)創(chuàng)新(xīn)獎，以18倍分析(xī)效率提升(shēng)賦能(néng)掃(sǎo)描電鏡分(fēn)析(xī)

牛津(jīn)儀器（Oxford Instruments）憑(píng)借其突破性(xìng)的(dí)BEX（Backscattered Electron and X-ray）成(chéng)像(xiàng)分析技術(shù)，榮(róng)獲(huò)英(yīng)國物理學(xué)會（Institute of Physics）頒發(fā)的商(shāng)業創新獎(jiǎng)（Business Innovation Award）。該技(jì)術(shù)實現(xiàn)了掃描電子顯(xiǎn)微(wēi)鏡（SEM）中背散(sàn)射電子(zǐ)成像(xiàng)與全元素X射綫成像(xiàng)的同步(bù)采集，將傳統(tǒng)SEM-EDS分析(xī)效(xiào)率(shuài)提(tí)升了至(zhì)少一(yī)個數量級。

BEX技術(shù)：同步(bù)成像的(dí)革命(mìng)性(xìng)突破(pò)

BEX技術的(dí)核(hé)心創新(xīn)在於將SEM中(zhōng)的(dí)背散射電(diàn)子(zǐ)成像與(yǔ)X射綫能譜分(fēn)析(xī)（EDS）同(tóng)步(bù)整(zhěng)合。在傳統SEM-EDS分析中(zhōng)，操(cāo)作人員(yuán)需要先采集背散射電(diàn)子圖(tú)像(xiàng)獲取形貌和(hé)襯度(dù)信息(xī)，再(zài)切換(huàn)至EDS模(mó)式進行元素(sù)分析(xī)——兩個(gè)步(bù)驟分別(bié)進行，耗(hào)時(shí)較長(cháng)且難(nán)以保證同一(yī)區域的數(shù)據(jù)對應(yīng)。

BEX探(tàn)測器實(shí)現了(liǎo)兩(liǎng)種(zhǒng)信(xìn)號的(dí)同(tóng)步(bù)采集：在一次(cì)掃描中同時獲得背(bèi)散(sàn)射電子圖(tú)像(xiàng)和全元素(sù)X射(shè)綫(xiàn)分(fēn)布(bù)圖(tú)。根據發表(biǎo)在Scientific Reports上的(dí)研究（2025, 15:44361），利(lì)用牛津(jīn)儀器(qì)Unity BEX探測器對(duì)微塑(sù)料(liào)進行係統研究(jiū)時(shí)，相(xiāng)比傳統SEM-EDS方法(fǎ)，分(fēn)析提(tí)升(shēng)約18倍，並(bìng)能(néng)夠(gòu)準(zhǔn)確(què)識(shí)別(bié)低(dī)至5μm²的顆粒。

從(cóng)環境科學(xué)到(dào)半(bàn)導體分(fēn)析的(dí)廣泛應(yīng)用

BEX技術的(dí)應(yīng)用場景(jǐng)覆蓋(gài)了從(cóng)環境科學(xué)到半導體分析(xī)的(dí)廣泛領(lǐng)域。在環(huán)境(jìng)科學(xué)中，BEX已被(bèi)用於(yú)微(wēi)塑(sù)料等汙染(rǎn)物的快(kuài)速(sù)識(shí)別與(yǔ)表(biǎo)征(zhēng)。在(zài)半導體(tǐ)領(lǐng)域(yù)，該技術(shù)可(kě)用(yòng)於先進(jìn)封裝，材(cái)料分(fēn)析(xī)等場(cháng)景的高(gāo)通量(liáng)檢測(cè)。在礦物解離(lí)分析(xī)中，配合(hé)牛津儀(yí)器的INCAMineral等自(zì)動化礦(kuàng)物(wù)分析工具，可(kě)對礦石進行(háng)快(kuài)速表征(zhēng)並(bìng)提供(gōng)金屬回(huí)收的(dí)關(guān)鍵數據。

英國物理學(xué)會(huì)商業創新(xīn)獎(jiǎng)旨在表彰將(jiāng)物理研(yán)究(jiū)成(chéng)果(guǒ)成功(gōng)轉(zhuǎn)化為商業應(yīng)用的企業(yè)。牛津(jīn)儀器此(cǐ)次獲(huò)獎(jiǎng)，標誌著BEX技術(shù)在技術創新與商業價(jià)值兩(liǎng)個維(wéi)度均(jūn)獲(huò)得了行(háng)業認可(kě)。

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​牛津儀器BEX成像技術(shù)榮獲英(yīng)國物理(lǐ)學(xué)會商業創新(xīn)獎

牛(niú)津儀(yí)器BEX成像(xiàng)技術榮獲英國(guó)物理(lǐ)學會(huì)商業(yè)創(chuàng)新(xīn)獎，以18倍分析(xī)效率提升(shēng)賦能(néng)掃(sǎo)描電鏡分(fēn)析(xī)

牛津儀器BEX成像技術(shù)榮獲英(yīng)國物理(lǐ)學(xué)會商業創新(xīn)獎