ULVAC愛(ài)發科 精(jīng)品(pǐn) 手動 高速光譜 橢偏儀

ULVAC愛(ài)發科 精品 手動 高速光(guāng)譜(pǔ) 橢(tuǒ)偏(piān)儀

UNECS係(xì)列是一款(kuǎn)光譜(pǔ)橢(tuǒ)偏(piān)儀，可高速，高(gāo)精度測(cè)量薄膜(mó)的厚(hòu)度和折射率。采(cǎi)用測量方(fāng)法，實現(xiàn)高速測量(liáng)和緊(jǐn)湊(còu)化(huà)。我(wǒ)們提供廣泛(fàn)的(dí)產品陣容(róng)，以適應不同的應(yīng)用，包括便(biàn)攜式(shì)類(lèi)型(xíng)，自動平台類型和與真(zhēn)空環境兼容(róng)的(dí)內置(zhì)類型。

UNECS-1500M配(pèi)備了易(yì)於操作的手動R-θ平台(tái)，兼容φ150mm，使測(cè)量(liáng)定位(wèi)變得容(róng)易。

用(yòng)途

透(tòu)明或半透明(míng)薄(báo)膜（氧(yǎng)化膜，氮化膜(mó)，抗蝕劑，ITO等）的膜(mó)厚(hòu)，折射(shè)率(shuài)，消(xiāo)光係(xì)數的測量

特征

高(gāo)速(sù)測量(liáng)：

采(cǎi)用(yòng)快照方式(shì)，實現了(liǎo)最高速度20ms的高(gāo)速測量。

兼容(róng)可見(jiàn)光(guāng)譜：

波長(cháng)範(fàn)圍(wéi)可選擇(zé)標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和(hé)可見光譜(pǔ)型（380nm~760nm）。

緊湊(còu)的傳感(gǎn)器(qì)單元：

光發(fā)射/接收傳感器僅由(yóu)光學(xué)元(yuán)件組(zǔ)成(chéng)，沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機構，並(bìng)且非(fēi)常輕(qīng)便和緊(jǐn)湊(còu)，並且不(bù)需(xū)要(yào)定期(qī)維護。

豐富(fù)的(dí)產(chǎn)品陣(zhèn)容：

我(wǒ)們(mén)擁有(yǒu)可適(shì)應(yīng)各(gè)種應用的(dí)產品(pǐn)陣容(róng)，包括便攜式類型(xíng)，手動/自動平台(tái)類型，大(dà)型基板(bǎn)類型以及與(yǔ)大(dà)氣/真空環境(jìng)兼容的內(nèi)置類型。

規(guī)格