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技術文章(zhāng)/ Technical Articles
更新時間(jiān)：2026-07-14 
瀏覽次數：55WEIM-6800A 最(zuì)核心的技術(shù)創新在(zài)於其三(sān)重(zhòng)分光(guāng)光(guāng)學架(jià)構(gòu)。通過(guò)精密(mì)設(shè)計(jì)的棱(léng)鏡(jìng)分光(guāng)路徑，僅用一(yī)台綫掃描相機，即(jí)可同(tóng)時采(cǎi)集(jí)晶(jīng)圓端麵，上斜麵，下斜(xié)麵三(sān)個維度的(dí)完(wán)整圖(tú)像(xiàng)。
這一(yī)設(shè)計帶(dài)來(lái)三重價值：
成(chéng)本優化(huà)：省去(qù)兩(liǎng)套(tào)相(xiāng)機(jī)與(yǔ)鏡頭，降低硬(yìng)件成(chéng)本與維護復雜(zá)度(dù)
時序同步：三(sān)麵圖像嚴格同幀，避免(miǎn)旋轉(zhuǎn)誤差帶(dài)來(lái)的對(duì)位(wèi)偏差
跨麵(miàn)缺(quē)陷追(zhuī)蹤：對(duì)於(yú)橫跨斜麵與(yǔ)端麵的(dí)崩(bēng)邊(biān)類(lèi)缺陷，可實現完(wán)整形(xíng)貌(mào)還原，不(bù)漏判(pàn)，不重(zhòng)復(fù)計數
邊緣檢測的(dí)難點在於(yú)晶圓倒角麵(miàn)是弧(hú)形曲麵，普(pǔ)通(tōng)照明(míng)極(jí)易產生反光死(sǐ)角。WEIM-6800A 標配兩(liǎng)組集成(chéng)式 LED 環形光源，針對邊緣斜(xié)麵(miàn)角(jiǎo)度專門(mén)優(yōu)化(huà)入(rù)射(shè)角(jiǎo)度，確(què)保(bǎo)整周(zhōu)成(chéng)像亮度均(jūn)匀一(yī)致。
針對崩(bēng)邊(biān)這(zhè)類(lèi)深度型缺(quē)陷，額(é)外配置光纖(xiān)點(diǎn)光源進(jìn)行斜射(shè)照明，通(tōng)過陰影反差(chà)強化立(lì)體缺陷(xiàn)的(dí)檢出能力 —— 這(zhè)也是為什(shí)麼設備能(néng)穩(wěn)定(dìng)檢出 20μm 級(jí)微(wēi)小崩邊的關鍵(jiàn)。
從卡匣(xiá)取片，自(zì)動對心，整周掃描到返(fǎn)回卡匣(xiá)，全(quán)程(chéng)僅(jǐn)需 30 秒。按照 25 片(piàn)標(biāo)準卡匣計(jì)算(suàn)，一匣晶(jīng)圓不到 13 分鐘(zhōng)即可(kě)完(wán)成全(quán)檢，產能遠(yuǎn)超人工(gōng)目檢(jiǎn)。
高速(sù)的背後(hòu)是兩套精(jīng)密機(jī)構的(dí)配(pèi)合(hé)：
自動(dòng)對準機構：圖像(xiàng)識別(bié)自動(dòng)將(jiāng)晶圓中心與檢(jiǎn)測(cè)中心對齊(qí)，無需人工微(wēi)調
旋(xuán)轉掃(sǎo)描(miáo)架構(gòu)：晶(jīng)圓匀(yún)速(sù)旋轉 + 綫(xiàn)相(xiāng)機行(háng)采集，整周(zhōu)圖(tú)像無縫(féng)拼(pīn)接，分辨率(shuài)全程保持(chí) 10μm 一致
晶(jīng)圓邊緣常有正常的激光(guāng)打標，工(gōng)藝標記(jì)，如果簡單按灰度閾(yù)值(zhí)判(pàn)定(dìng)，極(jí)易(yì)產生大(dà)量誤(wù)報(bào)。WEIM-6800A 內置(zhì)缺陷分類算法，可將大(dà)顆粒髒(zàng)汙(wū)，工藝標記與(yǔ)真實(shí)缺陷分離，大(dà)幅降低(dī)過殺(shā)率(shuài)。
同時提(tí)供(gōng)NG 品復(fù)檢模式：判(pàn)定為不合格的晶圓可調用(yòng)原圖進行人工復核，支(zhī)持放大(dà)，反轉等(děng)操作(zuò)，方(fāng)便(biàn)質(zhì)量工(gōng)程(chéng)師(shī)做(zuò)最終判定。
晶(jīng)圓製造廠：來料檢驗(yàn)，研(yán)磨(mó)後邊緣檢查(chá)，出貨終檢(jiǎn)
晶(jīng)圓代工廠(chǎng)：入廠 QC，關(guān)鍵工序後(hòu)抽(chōu)檢，返工品(pǐn)確認(rèn)
化合(hé)物半(bàn)導(dǎo)體：SiC，GaN 晶圓邊緣崩邊與裂紋檢(jiǎn)測
先(xiān)進(jìn)封(fēng)裝(zhuāng)：薄晶圓(yuán)，TSV 晶圓邊緣完整性檢查(chá)
再(zài)生(shēng)晶(jīng)圓廠：研磨拋(pāo)光(guāng)後(hòu)的邊緣品(pǐn)質分級
相比(bǐ)同(tóng)類(lèi)設(shè)備(bèi)，WEIM-6800A 的(dí)差(chà)異化(huà)優(yōu)勢非常(cháng)明確(què)：
| 對(duì)比維度 | WEIM-6800A | 傳(chuán)統方(fāng)案 |
|---|---|---|
| 檢測效率(shuài) | 30 秒(miǎo) / 片(piàn)全自(zì)動 | 人工(gōng)目(mù)檢(jiǎn) 2~5 分鐘(zhōng) / 片 |
| 檢出一致(zhì)性 | 算(suàn)法判定，零人(rén)差(chà) | 依(yī)賴人員經(jīng)驗，波動(dòng)大 |
| 檢(jiǎn)測覆蓋(gài)麵(miàn) | 三麵同(tóng)時全周檢(jiǎn)測 | 人(rén)工僅能(néng)抽查重點區域(yù) |
| 占地麵(miàn)積(jī) | 單(dān)機(jī)緊湊設計，1.2m×0.9m | 需(xū)額外(wài)配置顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)工(gōng)位(wèi) |
| 數據追溯 | 每片圖(tú)像與缺(quē)陷數據(jù)存檔 | 紙(zhǐ)質(zhì)記錄，追溯困難 |
| 運(yùn)行成本 | AC100V 低功(gōng)耗，無人(rén)值(zhí)守(shǒu) | 需專(zhuān)職(zhí)檢驗(yàn)人員 |
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