日(rì)本(běn)愛(ài)發(fā)科MS120A螺杆型(xíng)幹式真空(kōng)泵(bèng)技術(shù)介紹

日本(běn)愛發科MS120A螺(luó)杆型幹(gān)式真空泵技(jì)術介(jiè)紹

愛發科MS120A螺(luó)杆型(xíng)幹(gān)式真空泵技(jì)術(shù)介(jiè)紹：雙(shuāng)螺(luó)杆(gān)無油壓縮(suō)原理與(yǔ)耐(nài)腐蝕(shí)工(gōng)藝(yì)應用(yòng)

在(zài)半(bàn)導體刻(kè)蝕(shí)，光(guāng)伏(fú)鍍(dù)膜，平(píng)板顯(xiǎn)示及化學工(gōng)業(yè)等涉(shè)及(jí)腐(fǔ)蝕性氣體和粉塵排出的(dí)工(gōng)藝場(cháng)景(jǐng)中介紹(shào)，真空泵不僅需要提(tí)供潔(jié)淨(jìng)無(wú)油的真空(kōng)環境(jìng)，還(huán)需(xū)具備耐受化學(xué)侵蝕和顆粒(lì)物衝擊的能(néng)力。愛發(fā)科(kē)（ULVAC）MS120A螺杆(gān)型幹式真空(kōng)泵作為(wéi)MS係列的(dí)代表型(xíng)號，在(zài)LS係(xì)列(liè)的基礎(chǔ)上針對(duì)耐(nài)腐(fǔ)蝕性和粉末排(pái)出性能(néng)進(jìn)行了專項提升，依(yī)托雙螺(luó)杆(gān)無(wú)油容積(jī)式壓縮技(jì)術(shù)，以(yǐ)耐腐(fǔ)蝕(shí)氣體，高粉塵(chén)排出能(néng)力，115m³/h最(zuì)大抽速等(děng)特(tè)性(xìng)，成為(wéi)麵向(xiàng)嚴苛(kē)工藝(yì)環(huán)境的(dí)可靠真空獲(huò)取方(fāng)案(àn)。

一，工作(zuò)原(yuán)理：雙螺杆非(fēi)接(jiē)觸(chù)式容積壓(yā)縮

MS120A的核(hé)心工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)建(jiàn)立(lì)在雙(shuāng)螺(luó)杆(gān)非接觸式容(róng)積壓縮這(zhè)一物(wù)理機(jī)製(zhì)之上(shàng)。它本質上是一種(zhǒng)幹式容(róng)積(jī)真空(kōng)泵——通(tōng)過(guò)兩根平行(háng)齧合(hé)的(dí)螺杆(gān)轉子同(tóng)步反向(xiàng)旋轉(zhuǎn)，周(zhōu)期性地改(gǎi)變(biàn)轉子與泵(bèng)殼(ké)之(zhī)間形成的封(fēng)閉(bì)腔體(tǐ)容積，實現氣體的(dí)吸入，壓(yā)縮與排出。

泵的核(hé)心運動部(bù)件(jiàn)由兩根(gēn)精密(mì)加工的(dí)雙螺(luó)杆轉子(zǐ)組成(chéng)：

• 非(fēi)接觸式(shì)運(yùn)轉(zhuǎn)：兩根螺杆(gān)轉(zhuǎn)子在同步齒(chǐ)輪的(dí)驅動(dòng)下以相反方向(xiàng)高速(sù)旋(xuán)轉(zhuǎn)，轉子之間以及轉子與(yǔ)泵(bèng)殼之(zhī)間始終保(bǎo)持微(wēi)米(mǐ)級(jí)的(dí)微(wēi)小間隙(xì)，無(wú)需任(rèn)何潤滑油作為密(mì)封介質(zhì)。這一(yī)設(shè)計(jì)從(cóng)根源(yuán)上杜絕了(liǎo)油蒸氣的(dí)產(chǎn)生(shēng)與返流(liú)。

• 容積式(shì)壓縮(suō)：隨(suí)著(zhuó)轉(zhuǎn)子(zǐ)旋(xuán)轉，氣(qì)體由(yóu)進氣口被(bèi)吸入(rù)後，在螺杆(gān)螺旋(xuán)槽(cáo)與泵殼(ké)之間(jiān)形(xíng)成的(dí)封閉(bì)腔體(tǐ)中(zhōng)沿(yán)軸向(xiàng)連續傳遞(dì)。腔體(tǐ)容積沿輸送方(fāng)向逐漸縮小(xiǎo)，氣體(tǐ)被逐級壓(yā)縮(suō)，最(zuì)終從排(pái)氣口排出。

• 無油密封(fēng)與冷卻：軸(zhóu)承和齒輪(lún)等(děng)旋(xuán)轉部(bù)件的潤滑(huá)油通過(guò)精(jīng)密軸封嚴(yán)格隔離，確保氣體(tǐ)接(jiē)觸區域不(bù)接觸(chù)任(rèn)何(hé)油(yóu)類介質(zhì)。泵(bèng)體采(cǎi)用強(qiáng)製(zhì)冷卻係統，保障(zhàng)在高(gāo)溫和腐蝕性(xìng)工(gōng)藝(yì)環(huán)境下的穩定(dìng)運行(háng)。

• 耐(nài)腐(fǔ)蝕性(xìng)提升：MS120A在傳(chuán)統LS係列(liè)的基(jī)礎上進(jìn)行(háng)了專項(xiàng)升級——對(duì)轉子軸等核(hé)心部件進行了表麵處理和材料(liào)優(yōu)化(huà)，使(shǐ)其能夠(gòu)耐受腐(fǔ)蝕性氣(qì)體的化學(xué)侵蝕。同(tóng)時(shí)優化了(liǎo)排(pái)氣(qì)通道設計(jì)，提升了(liǎo)粉末排(pái)出性能，有效防止顆粒物(wù)在泵內積聚。

二(èr)，核(hé)心技(jì)術(shù)特(tè)點(diǎn)

1. 耐(nài)腐蝕(shí)設計，適(shì)配嚴苛工藝

MS120A專門針(zhēn)對使用腐蝕性氣體和產生(shēng)粉(fěn)塵(chén)的工(gōng)藝進行(háng)了優化(huà)設計。半(bàn)導體刻(kè)蝕，CVD等工藝(yì)中(zhōng)常涉(shè)及氟化(huà)物，氯化物(wù)等(děng)腐蝕(shí)性氣體，這(zhè)些(xiē)氣體對普(pǔ)通(tōng)真空(kōng)泵(bèng)的金(jīn)屬(shǔ)部件具(jù)有強侵(qīn)蝕(shí)性(xìng)。MS120A通過對氣體接(jiē)觸部件(jiàn)的表麵處理和材料(liào)選型，有效延長了在(zài)腐(fǔ)蝕性(xìng)環(huán)境(jìng)中的(dí)使用(yòng)壽命。同(tóng)時，優化(huà)的流(liú)道設計使工(gōng)藝過程中產(chǎn)生的粉末顆粒(lì)能夠(gòu)順(shùn)暢(chàng)排出(chū)，避(bì)免在泵腔(qiāng)內壁和(hé)轉(zhuǎn)子表麵的(dí)附(fù)著(zhuó)與(yǔ)堆積(jī)。

2. 高(gāo)抽速，適配批(pī)量生產節(jié)奏

MS120A在50Hz電(diàn)源條件下(xià)的最(zuì)大排(pái)氣速度達(dá)115m³/h，在同(tóng)級(jí)螺杆(gān)幹泵中處於(yú)較高(gāo)水平。這一抽速(sù)可適(shì)配(pèi)中型刻蝕設(shè)備，CVD設備及批量生(shēng)產(chǎn)型(xíng)真空(kōng)係(xì)統，在(zài)較短(duǎn)時(shí)間內(nèi)完成腔體抽(chōu)空，滿(mǎn)足產綫節拍(pāi)要求。

3. 極限壓力(lì)滿足工藝需求

MS120A的(dí)極限(xiàn)壓力(lì)為≤0.6Pa，可滿(mǎn)足刻(kè)蝕，CVD等工藝對(duì)基(jī)礎(chǔ)真(zhēn)空度的要(yào)求。配合其耐(nài)腐(fǔ)蝕(shí)和(hé)耐(nài)粉塵設計(jì)，在(zài)含腐蝕(shí)性(xìng)氣體和(hé)顆(kē)粒物的(dí)工(gōng)藝(yì)環(huán)境中仍能(néng)保持(chí)穩定的(dí)真空性能。

4. 寬電壓適(shì)配與(yǔ)低運行(háng)成本(běn)

MS120A搭(dā)載寬電(diàn)壓馬達，支持(chí)200V級（三相，50/60Hz，AC200-240V±10%）和(hé)400V級(jí)（三相，50/60Hz，AC380-480V±10%）兩種(zhǒng)電源(yuán)規(guī)格，可適配(pèi)全(quán)球不同國家和地(dì)區(qū)的電網標(biāo)準(zhǔn)。在(zài)運(yùn)行成(chéng)本(běn)方麵(miàn)，MS120A無(wú)需軸封(fēng)密封(fēng)氣體，減(jiǎn)少了輔助氣(qì)體的(dí)消耗。

5. 維(wéi)護便捷(jié)性(xìng)

MS係(xì)列(liè)在(zài)產品設(shè)計(jì)上充分考慮了(liǎo)維(wéi)護的便(biàn)利(lì)性。氣體(tǐ)接觸(chù)區(qū)域(yù)不(bù)使(shǐ)用(yòng)油類(lèi)介(jiè)質，無(wú)需進行(háng)定(dìng)期的真(zhēn)空油(yóu)更換(huàn)和(hé)油(yóu)位檢查。對於需要(yào)長(cháng)期(qī)連續運行的(dí)工業產綫(xiàn)，這一(yī)特(tè)性顯(xiǎn)著降低(dī)了日(rì)常維(wéi)護工作量(liáng)和備件消耗。

三，性能參(cān)數(shù)一覽

數(shù)據(jù)來源：愛發科(kē)產(chǎn)品規(guī)格表

四(sì)，典型應用場景

半導體刻蝕：在(zài)等(děng)離子刻蝕工藝中，MS120A的耐腐蝕設計可有(yǒu)效(xiào)應對(duì)含氟，含(hán)氯等腐蝕性工(gōng)藝氣(qì)體(tǐ)的(dí)排氣需求，同時其(qí)粉(fěn)末排(pái)出能(néng)力可處理刻(kè)蝕過程中(zhōng)產生的(dí)副產(chǎn)物顆粒(lì)。

半(bàn)導(dǎo)體CVD：用於化(huà)學氣(qì)相沉積(jī)設備的(dí)真空排(pái)氣，處理含有(yǒu)腐蝕性(xìng)前驅體氣體的工藝環境(jìng)。

光(guāng)伏(fú)製造(zào)：用(yòng)於(yú)光伏電池(chí)片鍍膜等(děng)工藝的真(zhēn)空(kōng)係統，應(yīng)對(duì)工(gōng)藝(yì)中可能(néng)產生(shēng)的腐蝕性(xìng)氣體(tǐ)和(hé)粉塵。

平(píng)板顯示(shì)製造(zào)：適用於FPD製造(zào)中(zhōng)的(dí)沉積和刻蝕工藝，為潔淨真空環境(jìng)提供(gōng)可靠保(bǎo)障。

化(huà)學工業：用(yòng)於化工生產中的(dí)真空蒸餾(liù)，幹燥(zào)等涉及腐蝕(shí)性(xìng)介(jiè)質的工藝。

一般(bān)工業(yè)鍍(dù)膜(mó)：適(shì)用於(yú)各類工業級真(zhēn)空鍍(dù)膜(mó)設(shè)備的排(pái)氣(qì)，尤其適合(hé)含有腐蝕(shí)性氣(qì)氛(fēn)的工藝(yì)場景。

五(wǔ)，總結

MS120A是愛發科在耐(nài)腐(fǔ)蝕型螺(luó)杆幹式真空(kōng)泵(bèng)領(lǐng)域的一款代(dài)表性(xìng)產品(pǐn)。通(tōng)過雙螺(luó)杆(gān)非接觸(chù)式(shì)容積壓縮機(jī)製(zhì)與耐腐(fǔ)蝕表麵(miàn)處(chǔ)理技術(shù)的配(pèi)合，在(zài)實現115m³/h最大抽速(sù)和≤0.6Pa極(jí)限(xiàn)壓(yā)力(lì)的同時(shí)，有效(xiào)解(jiě)決了(liǎo)半導體刻蝕，CVD等(děng)工藝中(zhōng)腐蝕性(xìng)氣體(tǐ)和粉塵排出(chū)對真空(kōng)泵的(dí)嚴(yán)苛(kē)要求。其寬電壓適配，無油(yóu)潔淨運行等特(tè)性，使(shǐ)其(qí)成為半(bàn)導(dǎo)體刻(kè)蝕，CVD，光(guāng)伏(fú)鍍(dù)膜及平板顯(xiǎn)示(shì)製造等含(hán)腐蝕性(xìng)氣體和(hé)粉(fěn)塵工藝場景中可靠的真(zhēn)空獲取方案(àn)。

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