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日(rì)本(běn)愛發(fā)科ULVAC VS650B單級(jí)油(yóu)旋片真空泵(bèng)技術介紹(shào)

更新時間:2026-07-17      瀏覽(lǎn)次數(shù):31

日本愛(ài)發科ULVAC VS650B單級油旋(xuán)片(piàn)真空(kōng)泵(bèng)技(jì)術(shù)介(jiè)紹(shào)

日本愛(ài)發科(kē)ULVAC VS650B單(dān)級(jí)油(yóu)旋片(piàn)真(zhēn)空泵技術(shù)介(jiè)紹



日本愛發(fā)科ULVAC VS650B單(dān)級(jí)油(yóu)旋片真(zhēn)空泵技術介紹(shào):大(dà)抽速單(dān)級(jí)壓縮原理與工(gōng)業批量真空應用

在真空鍍膜(mó),真空熱(rè)處理,真空檢(jiǎn)漏及(jí)空(kōng)間環(huán)境(jìng)模(mó)擬等大(dà)容量(liáng)真空(kōng)係(xì)統中,真(zhēn)空(kōng)泵不僅(jǐn)需要提(tí)供足夠高的抽速以(yǐ)滿(mǎn)足(zú)快速抽空(kōng)的要(yào)求,還需在長時間連續運(yùn)行(háng)中保持穩(wěn)定(dìng)的排(pái)氣(qì)性(xìng)能。愛發科(ULVAC)VS係(xì)列(liè)單(dān)級油旋(xuán)片式(shì)真空(kōng)泵(bèng)正是針對這一(yī)需求(qiú)而開發(fā),其(qí)中VS650B作(zuò)為該係列(liè)的(dí)中大(dà)抽速代表型(xíng)號,依(yī)托單級(jí)大(dà)容(róng)積旋片(piàn)壓縮技(jì)術,以(yǐ)650m³/h抽速,空冷(lěng)/水冷雙模(mó)式(shì),低(dī)振動等特性(xìng),成(chéng)為(wéi)麵(miàn)向(xiàng)大容量工業真(zhēn)空係(xì)統(tǒng)的(dí)可(kě)靠(kào)選(xuǎn)擇。

一,工作原理:單級大(dà)容(róng)積(jī)旋片離心壓(yā)縮

VS650B的核心工作原理建立(lì)在(zài)單(dān)級旋片離心壓縮與(yǔ)油(yóu)膜密封(fēng)兩(liǎng)大物(wù)理機製(zhì)之上。作(zuò)為一(yī)種單級(jí)油旋(xuán)片式容積真空泵,它(tā)通過(guò)旋片在(zài)泵腔(qiāng)內的旋轉運動,周期(qī)性(xìng)地改(gǎi)變封(fēng)閉腔體的容積(jī),實現氣體的(dí)吸入(rù),壓(yā)縮與排(pái)出。

泵(bèng)的(dí)核(hé)心(xīn)運動部(bù)件由電機(jī)驅動(dòng)轉子與安裝在(zài)轉(zhuǎn)子(zǐ)槽內的旋(xuán)片組(zǔ)成:

  • 離心密(mì)封配合:電機驅(qū)動轉子在(zài)泵(bèng)腔內偏心安裝(zhuāng)並高速(sù)旋轉(zhuǎn),旋片在(zài)離心力作用下(xià)緊貼(tiē)泵腔內(nèi)壁(bì)滑動,將(jiāng)泵腔分(fēn)隔(gé)成多個(gè)可變容積的(dí)工作(zuò)室。隨(suí)著轉子轉動(dòng),工作室(shì)容積(jī)周期性(xìng)變(biàn)化——擴張(zhāng)時通(tōng)過(guò)吸(xī)氣(qì)口吸入氣體,收(shōu)縮時壓縮氣體(tǐ)並通過排氣(qì)閥排(pái)出泵(bèng)外。

  • 單級排(pái)氣係統:VS650B采用單級(jí)排氣(qì)係統設計,氣體在(zài)一(yī)個泵(bèng)腔(qiāng)內完成從吸入到(dào)壓縮排(pái)出的(dí)全(quán)過程。相(xiāng)比雙級結構,單級設(shè)計(jì)在(zài)相同(tóng)電機(jī)功(gōng)率下可獲(huò)得更大的抽氣速率,適合需(xū)要快速(sù)建立真空的大容量(liáng)工業場(cháng)景。

  • 油潤滑與密封:作為油(yóu)旋片(piàn)式(shì)真空泵(bèng),VS650B使(shǐ)用專用真空泵油(yóu)(SMR-200)實現(xiàn)三重功能(néng)——潤(rùn)滑旋(xuán)片與泵腔內(nèi)壁(bì)減(jiǎn)少(shǎo)磨損,密封旋(xuán)片與腔體間(jiān)的微(wēi)小間隙(xì)防止氣(qì)體返流(liú),帶走壓縮過程中產生(shēng)的(dí)熱(rè)量(liáng)維(wéi)持(chí)泵(bèng)體(tǐ)溫度(dù)穩定。

  • 強(qiáng)製(zhì)供(gōng)油(yóu)與(yǔ)冷卻係統:VS650B配備(bèi)強製供(gōng)油(yóu)係統,確保在(zài)高負(fù)荷(hé)工(gōng)況(kuàng)下(xià)各運動(dòng)部件獲(huò)得(dé)充分潤滑(huá)。冷卻方式可(kě)根據(jù)安裝(zhuāng)環(huán)境選擇(zé)空冷或水冷,靈(líng)活(huó)的(dí)冷(lěng)卻(què)方案(àn)使(shǐ)其(qí)可適(shì)配不(bù)同廠房(fáng)的(dí)基礎(chǔ)設(shè)施條件。

二,核心技術(shù)特(tè)點

1. 650m³/h高抽(chōu)速(sù),適(shì)配大容量係統(tǒng)

VS650B在(zài)50Hz電源條件下的設(shè)計抽速(sù)達(dá)650m³/h(約(yuē)10,833L/min) ,60Hz條件(jiàn)下達(dá)750m³/h(約12,500L/min)。這一抽(chōu)速(sù)區間適用於光(guāng)學薄膜(mó)蒸(zhēng)鍍係統(tǒng),反射鏡(jìng)薄膜沉積係統,裝飾膜蒸鍍係統,卷(juàn)繞式(shì)蒸(zhēng)鍍機,在綫(xiàn)式濺射係統,真(zhēn)空熱處(chǔ)理爐(lú),真(zhēn)空冷凍(dòng)幹(gān)燥(zào)係統,真空(kōng)檢漏儀及空(kōng)間環境(jìng)模擬(nǐ)艙等(děng)大(dà)容量真空場景(jǐng),可在較短(duǎn)時(shí)間(jiān)內完成大容積(jī)腔體(tǐ)的抽空(kōng)。

2. 穩定(dìng)的(dí)極(jí)限(xiàn)真(zhēn)空度(dù)

VS650B的極(jí)限壓(yā)力在(zài)氣(qì)鎮閥(fá)關閉(bì)狀態下(xià)可(kě)達(dá)≤8Pa,氣鎮(zhèn)閥開啟(qǐ)狀態(tài)下為(wéi)≤70Pa。這一性能可滿足真(zhēn)空(kōng)鍍(dù)膜,熱處(chǔ)理(lǐ),檢(jiǎn)漏(lòu)等工業(yè)工(gōng)藝對基礎真空度(dù)的要求(qiú)。

3. 空冷/水(shuǐ)冷雙模(mó)式可選

VS650B提供(gōng)空(kōng)冷(lěng)(-A型(xíng))和(hé)水冷(-W型) 兩(liǎng)種(zhǒng)冷(lěng)卻方(fāng)式(shì)。空(kōng)冷型(xíng)無需(xū)配(pèi)備(bèi)冷卻(què)水循(xún)環(huán)係(xì)統(tǒng),降低(dī)了(liǎo)安裝成本和場地要求;水(shuǐ)冷(lěng)型(xíng)則適用(yòng)於環(huán)境(jìng)溫度較高或需要精確控製(zhì)泵(bèng)體(tǐ)溫(wēn)差的場景(jǐng),冷(lěng)卻(què)水流量需≥3.0L/min,冷卻(què)水溫度(dù)為5~30℃,出入口壓差需≥0.1MPa。這(zhè)一靈活(huó)配(pèi)置使(shǐ)VS650B可(kě)適(shì)配不同(tóng)廠房(fáng)的(dí)基礎(chǔ)設施條(tiáo)件。

4. 低振(zhèn)動設計(jì),降(jiàng)低安裝門檻(jiàn)

VS650B采用(yòng)單(dān)級旋片設計配(pèi)合高速電機(50Hz下1500rpm,60Hz下1800rpm),顯著(zhù)降低(dī)了(liǎo)低頻區的振(zhèn)動水(shuǐ)平。這一特性使(shǐ)泵(bèng)可直接(jiē)安裝於廠房(fáng)上層,無需進(jìn)行特(tè)殊(shū)的(dí)基礎加(jiā)固(gù)工程,大幅降低了安裝成本。與工業標準油旋片泵相(xiāng)比(bǐ),同係(xì)列產品重(zhòng)量減(jiǎn)輕約(yuē)35%,占地麵積(jī)減(jiǎn)少約(yuē)20%。

5. 大型油霧(wù)過(guò)濾(lǜ)器與(yǔ)回油機構(gòu)

VS650B內(nèi)置(zhì)大容(róng)量(liáng)油(yóu)箱(xiāng)(油量23~27L) 和(hé)油(yóu)霧過(guò)濾(lǜ)器,有效(xiào)減少(shǎo)換油頻(pín)率。油霧過(guò)濾(lǜ)器采用易(yì)更換的濾芯設(shè)計,並(bìng)配備(bèi)自(zì)動回油機構——將油(yóu)霧過(guò)濾(lǜ)器(qì)中(zhōng)分(fēn)離出的油自動(dòng)收集(jí)並送回(huí)泵內(nèi)循(xún)環使用。此(cǐ)外(wài),泵內還(huán)設有油過(guò)濾(lǜ)器(qì),用於去(qù)除(chú)混(hùn)入(rù)油(yóu)中的顆粒(lì)物和(hé)粉塵(chén)。

6. 標配恒溫器(qì)與異(yì)常(cháng)檢(jiǎn)測

VS650B標(biāo)配(pèi)恒(héng)溫(wēn)器,可實(shí)時檢測泵的(dí)溫(wēn)升異(yì)常,油量(liáng)減少或泵的(dí)異常狀(zhuàng)態(tài)。這(zhè)一安全(quán)設計可在設備出(chū)現(xiàn)異(yì)常時(shí)及時發出信號(hào),防(fáng)止因過熱(rè)或(huò)缺(quē)油導(dǎo)致的設備(bèi)損壞(huài)。

7. 可(kě)直(zhí)接(jiē)搭載(zǎi)機械(xiè)增(zēng)壓泵

VS650B支持機(jī)械增壓泵(bèng)(羅(luó)茨(cí)泵)的直接(jiē)安(ān)裝,通過專用(yòng)的(dí)MBP安(ān)裝(zhuāng)套(tào)件即(jí)可(kě)實(shí)現無框(kuàng)架直連(lián)。與(yǔ)羅(luó)茨泵(bèng)串(chuàn)聯使用後可獲(huò)得更大的(dí)排(pái)氣(qì)量,使係統(tǒng)抽(chōu)速進(jìn)一步(bù)提升(shēng)。

8. 低噪(zào)音運(yùn)行(háng)

VS650B在(zài)極限壓力(lì)下(xià)的(dí)噪(zào)音(yīn)水平(píng)為(wéi)75dB(A) (空(kōng)冷型50Hz)。愛發(fā)科通過(guò)優(yōu)化(huà)運行機構設計,在極(jí)限(xiàn)壓(yā)力下(xià)有效降(jiàng)低(dī)了運(yùn)轉噪音。

三,性能參數一覽

參數(shù)VS650B-A(空冷(lěng))VS650B-W(水冷(lěng))
設計抽速(50Hz)650 m³/h(10,833 L/min)650 m³/h(10,833 L/min)
設計(jì)抽(chōu)速(sù)(60Hz)750 m³/h(12,500 L/min)
極(jí)限(xiàn)壓(yā)力(lì)(氣(qì)鎮閥(fá)關(guān))≤8 Pa≤8 Pa
極(jí)限壓(yā)力(氣鎮閥(fá)開)≤70 Pa≤70 Pa
消耗(hào)功率(極(jí)限壓(yā)力,50Hz)8 kW8 kW
電機(jī)容量22 kW(4極(jí))22 kW(4極)
電(diàn)源電壓(50Hz)200-240 / 380-415 V200-240 / 380-415 V
電(diàn)源電(diàn)壓(yā)(60Hz)200-240 / 380-460 V
噪(zào)音(極(jí)限壓(yā)力,50Hz)75 dB(A)72 dB(A)
使用(yòng)油品(pǐn)SMR-200SMR-200
油(yóu)量(liáng)23~27 L23~27 L
冷卻方(fāng)式空冷水冷
冷卻水流(liú)量≥3.0 L/min
冷卻水(shuǐ)溫度(dù)5~30℃
吸氣(qì)口法(fǎ)蘭(lán)DN100 ISO-KDN100 ISO-K
排氣口(kǒu)法蘭DN100 ISO-KDN100 ISO-K
外(wài)形尺寸(cùn)(W×D×H)1490×905×705 mm1490×841×705 mm
重(zhòng)量(liáng)820 kg820 kg

數據(jù)來源:愛發科產品規(guī)格(gé)表

四(sì),典(diǎn)型應(yīng)用場景(jǐng)

真空(kōng)鍍膜:用於(yú)光學薄(báo)膜蒸(zhēng)鍍(dù)係統,反(fǎn)射(shè)鏡(jìng)薄(báo)膜沉(chén)積係統,裝飾膜蒸鍍係(xì)統,卷(juàn)繞(rào)式蒸鍍機(jī),在綫式濺射(shè)係(xì)統(tǒng)等(děng)鍍(dù)膜設備的真空(kōng)排氣(qì)。VS650B的(dí)650m³/h高(gāo)抽速(sù)可快速(sù)建立(lì)鍍(dù)膜(mó)所需(xū)的真(zhēn)空(kōng)環(huán)境,提升(shēng)產綫(xiàn)節(jié)拍。

真空(kōng)熱(rè)處(chǔ)理:用於真空(kōng)熱處理爐(lú),燒結爐(lú),釺焊(hàn)爐等(děng)熱處(chǔ)理設備的真空(kōng)係(xì)統(tǒng)。強(qiáng)製供(gōng)油(yóu)和高效(xiào)冷(lěng)卻(què)係(xì)統確保在高負荷(hé)工(gōng)況下排氣性(xìng)能的穩(wěn)定。

真空檢(jiǎn)漏(lòu):用(yòng)於真空檢漏儀的真(zhēn)空(kōng)係統,尤其適用於零(líng)部件(jiàn)自動化檢漏產(chǎn)綫中(zhōng)大量重(zhòng)復的抽(chōu)真(zhēn)空-檢漏(lòu)循環操(cāo)作。

空(kōng)間環境模擬(nǐ):用(yòng)於空間環境模(mó)擬(nǐ)艙等大型(xíng)真空腔體的(dí)排(pái)氣。

真空幹燥(zào)與(yǔ)冷凍(dòng)幹燥(zào):用於真空(kōng)冷凍幹燥(zào)係統(tǒng)等。

真(zhēn)空包(bāo)裝與吸附(fù)輸(shū)送:用於(yú)真空包(bāo)裝(zhuāng),真空吸附(fù)與輸(shū)送等(děng)工(gōng)業(yè)場(cháng)景(jǐng)。

五,總結

VS650B是愛發(fā)科在(zài)單級(jí)大(dà)抽(chōu)速油(yóu)旋片真(zhēn)空泵領域的(dí)一款(kuǎn)代表(biǎo)性產(chǎn)品(pǐn)。通過(guò)單級大(dà)容積旋片離心壓縮機製與強(qiáng)製供油潤滑係統的配合,在實(shí)現650m³/h(50Hz)抽速和≤8Pa極限壓力(lì)的(dí)同(tóng)時,提供了空冷/水冷(lěng)雙模式(shì)可(kě)選(xuǎn),低振動低噪音運行,大(dà)型(xíng)油霧(wù)過(guò)濾器(qì)與(yǔ)自動回油機(jī)構等綜合特性。其可(kě)直接搭載機(jī)械(xiè)增(zēng)壓泵(bèng)獲(huò)得更(gēng)大(dà)排氣量的(dí)能力(lì),使其(qí)成為真空鍍膜,熱(rè)處理(lǐ),檢漏(lòu)及(jí)空(kōng)間環境模(mó)擬(nǐ)等大容量(liáng)工業真空(kōng)係統中兼(jiān)具(jù)效(xiào)率與可靠(kào)性(xìng)的選(xuǎn)擇(zé)。

購買(mǎi)渠道(dào):本(běn)產品由(yóu)深圳(zhèn)市京都玉崎電子有限(xiàn)公(gōng)司(sī)負責(zé)中國區(qū)銷(xiāo)售與(yǔ)技(jì)術(shù)支(zhī)持。公司地(dì)址位於(yú)深(shēn)圳(zhèn)市(shì)龍華新(xīn)區梅(méi)龍大道906號(hào)創(chuàng)業樓(lóu)。客(kè)戶(hù)可通(tōng)過(guò)化(huà)工儀器網(wǎng)商鋪或(huò)直(zhí)接聯係銷售團隊(duì)進(jìn)行(háng)產品(pǐn)咨詢與(yǔ)訂購。深圳(zhèn)京都(dū)玉崎(qí)憑借供應(yīng)鏈體(tǐ)係(xì)和專業(yè)技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊,為客戶提(tí)供(gōng)從選(xuǎn)型咨(zī)詢,現貨供應(yīng)到售(shòu)後支(zhī)持的一站式(shì)采購(gòu)體驗(yàn)。



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