日本(běn)愛(ài)發科(kē)ULVAC正(zhèng)式發布GLD-N280雙級油旋(xuán)片真空(kōng)泵(bèng)上新(xīn)

日本(běn)愛發科(kē)ULVAC正式發布GLD-N280雙級油(yóu)旋片真(zhēn)空(kōng)泵上新

日(rì)本(běn)愛發(fā)科ULVAC正式發(fā)布GLD-N280雙級油(yóu)旋片真(zhēn)空泵上(shàng)新(xīn)，以高效真空技(jì)術賦能半導(dǎo)體與工(gōng)業(yè)製(zhì)造領域

全球真空技術綜合解(jiě)決(jué)方(fāng)案供(gōng)應商(shāng)日本(běn)愛(ài)發(fā)科（ULVAC）今日(rì)正式麵向(xiàng)中國市(shì)場推(tuī)出GLD-N280雙(shuāng)級油旋片式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵。作為GLD-N係列中的中(zhōng)大抽(chōu)速代表機型，GLD-N280延(yán)續了(liǎo)愛發科在(zài)油旋片泵領域數(shù)十(shí)年(nián)的(dí)技(jì)術積累，依托(tuō)兩級(jí)排氣係統與(yǔ)強(qiáng)製(zhì)供油(yóu)機構(gòu)兩(liǎng)大(dà)核(hé)心技(jì)術，以336L/min抽(chōu)速，0.67Pa極(jí)限(xiàn)真空度，低噪音運(yùn)行(háng)等綜(zōng)合性(xìng)能(néng)，成為(wéi)麵向半導體(tǐ)鍍(dù)膜(mó)，真空熱處(chǔ)理，製冷行業及中等規(guī)模工業真(zhēn)空應(yīng)用(yòng)的(dí)可(kě)靠(kào)選擇(zé)。

強(qiáng)勁抽速(sù)與(yǔ)高真空度的平衡(héng)

GLD-N280采用(yòng)兩(liǎng)級排(pái)氣(qì)係(xì)統(tǒng)設計，兩(liǎng)個(gè)排氣(qì)腔串聯工(gōng)作。相比單級(jí)排(pái)氣(qì)係統，雙級結(jié)構可獲(huò)得更低的(dí)極限壓(yā)力（更(gēng)高(gāo)的真空(kōng)度）。氣(qì)體(tǐ)首先進(jìn)入第一(yī)級泵腔被初步壓縮，隨(suí)後(hòu)進(jìn)入第(dì)二級泵腔進(jìn)一步壓縮(suō)至大氣(qì)壓以上並排出泵外。50Hz電源條(tiáo)件下幾何(hé)抽速達(dá)336L/min，60Hz條件下達400L/min。極(jí)限(xiàn)壓(yā)力(lì)在(zài)氣(qì)鎮閥關閉(bì)狀(zhuàng)態(tài)下可(kě)達0.67Pa，氣(qì)鎮(zhèn)閥開啟狀(zhuàng)態(tài)下(xià)為(wéi)6.7Pa。這一(yī)性能指標(biāo)可(kě)滿足(zú)真(zhēn)空鍍(dù)膜，真(zhēn)空熱處(chǔ)理，分析儀器等多數(shù)工業中低(dī)真(zhēn)空工藝(yì)對真空(kōng)度和(hé)抽速的雙重要(yào)求。

應對可凝性(xìng)蒸汽(qì)的氣鎮閥配置(zhì)

GLD-N280配備的(dí)氣鎮閥(fá)是(shì)該型(xíng)號的(dí)關(guān)鍵(jiàn)功(gōng)能配置之一。在抽除含(hán)有(yǒu)水蒸(zhēng)氣等可(kě)凝性氣(qì)體(tǐ)的(dí)工況(kuàng)時，開啟(qǐ)氣(qì)鎮(zhèn)閥可向(xiàng)泵腔(qiāng)引入(rù)少(shǎo)量(liáng)幹燥(zào)空氣(qì)，提(tí)高(gāo)混合氣(qì)體的露點(diǎn)，使(shǐ)水(shuǐ)蒸氣(qì)在排氣閥(fá)打(dǎ)開之前(qián)不會凝(níng)結。這(zhè)一(yī)設計有效(xiào)防止水蒸(zhēng)氣在(zài)壓縮過(guò)程中與真(zhēn)空(kōng)油(yóu)混合(hé)形成乳化液(yè)，避免(miǎn)油品汙染和(hé)泵(bèng)體腐蝕(shí)，顯著(zhù)延長泵油更換周期(qī)和設(shè)備使用(yòng)壽命。用(yòng)戶可根據工(gōng)藝氣(qì)體成(chéng)分(fēn)靈(líng)活切換氣(qì)鎮閥開(kāi)閉，在(zài)真空(kōng)度與(yǔ)耐汙染性之(zhī)間(jiān)取(qǔ)得平衡(héng)。

防(fáng)逆(nì)流(liú)機(jī)構保障設備安(ān)全(quán)

GLD-N280內置防逆(nì)流(liú)機(jī)構，在因停電等突發情況(kuàng)停機(jī)時(shí)自動切斷(duàn)油(yóu)路，有(yǒu)效(xiào)防止(zhǐ)真(zhēn)空油(yóu)返(fǎn)流至(zhì)被抽(chōu)真(zhēn)空腔室。對於(yú)半(bàn)導(dǎo)體鍍(dù)膜，真空熱(rè)處理等對腔體潔淨(jìng)度有要求(qiú)的工藝(yì)，這一(yī)設(shè)計(jì)可避(bì)免因(yīn)油汙染導(dǎo)致的(dí)工藝缺陷和(hé)設備(bèi)損(sǔn)失。

強製供油(yóu)機(jī)構與(yǔ)穩定(dìng)排氣(qì)

GLD-N280搭載強(qiáng)製(zhì)供(gōng)油(yóu)機構，可確(què)保排(pái)氣速度(dù)長(cháng)期穩(wěn)定。無論在(zài)大氣壓啟(qǐ)動(dòng)階段還(huán)是(shì)在高(gāo)真(zhēn)空運行階(jiē)段(duàn)，都能保障旋片與泵(bèng)腔內壁(bì)的充分(fēn)潤(rùn)滑(huá)與密封(fēng)。該泵(bèng)支(zhī)持(chí)直(zhí)接在(zài)大(dà)氣壓下(xià)啟動，無需預抽即可(kě)開始工作。使用(yòng)油品(pǐn)為(wéi)ULVOIL R-7，所需油量為0.75～1.5L。

低噪(zào)音(yīn)低振(zhèn)動運(yùn)行

GLD-N280延續(xù)了GLD係(xì)列低(dī)噪音，低(dī)振動的(dí)家(jiā)族(zú)特(tè)性。通過精密動平衡調校(xiào)與優化(huà)的減(jiǎn)震(zhèn)結(jié)構(gòu)設計(jì)，實現安靜(jìng)平(píng)穩運行，可直(zhí)接(jiē)部署(shǔ)於對噪音和(hé)振動(dòng)敏感(gǎn)的生產與實(shí)驗(yàn)環(huán)境(jìng)。大尺(chǐ)寸油位視(shì)窗便於操作人(rén)員直(zhí)觀(guān)觀(guān)察泵(bèng)油量與汙染狀態(tài)，及時進行維(wéi)護。

寬(kuān)電壓適(shì)配與靈活選(xuǎn)型(xíng)

GLD-N280搭(dā)載(zǎi)寬電(diàn)壓(yā)馬(mǎ)達(dá)，支持三相(xiāng)200/380/400/415V（50Hz）及三相(xiāng)200/220/380/400/440V（60Hz）等(děng)多種電源規(guī)格，符合國(guó)際標(biāo)準，可適(shì)配(pèi)全球不(bù)同(tóng)國(guó)家和地區(qū)的(dí)電(diàn)網標準。吸氣口(kǒu)徑為KF-25標(biāo)準(zhǔn)接(jiē)口(kǒu)，排氣口(kǒu)徑(jìng)為(wéi)G1。整(zhěng)機重量34.5kg，外(wài)形(xíng)尺(chǐ)寸(cùn)181×536×269mm，使(shǐ)用(yòng)環(huán)境溫(wēn)度範圍為7～40℃。

多(duō)元(yuán)應用場景

GLD-N280廣(guǎng)泛應(yīng)用於半導體(tǐ)鍍膜(mó)，真空熱(rè)處(chǔ)理(lǐ)，製冷行業(yè)，分析儀(yí)器及科(kē)研實驗等領(lǐng)域(yù)：在半(bàn)導體(tǐ)製(zhì)造中(zhōng)用(yòng)於濺(jiàn)射，蒸鍍等鍍膜(mó)工藝的(dí)真空係(xì)統；在真(zhēn)空(kōng)爐(lú)，真空釺焊(hàn)，真(zhēn)空退火等熱處(chǔ)理(lǐ)設備中完成快(kuài)速抽真空；在空調，冰箱等(děng)製冷(lěng)設備生(shēng)產(chǎn)綫(xiàn)中用於(yú)抽(chōu)真(zhēn)空和檢漏工(gōng)藝；作為質譜儀(yí)，電(diàn)子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡等精密(mì)分析儀器(qì)的真空(kōng)源(yuán)；在高(gāo)校及科研(yán)院(yuàn)所(suǒ)的中等規模(mó)真空實(shí)驗裝置(zhì)中配(pèi)套使用。

購(gòu)買渠道(dào)

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