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更(gēng)新時間：2026-07-18 
瀏(liú)覽次(cì)數(shù)：11全(quán)球真空技術(shù)綜合解決(jué)方(fāng)案(àn)供應商日(rì)本愛發(fā)科（ULVAC）今日(rì)正式(shì)麵向中國(guó)市場(cháng)推出MS1200A螺(luó)杆式幹式真(zhēn)空泵。作為MS係列(liè)中的大(dà)抽(chōu)速代表(biǎo)機(jī)型，MS1200A依托雙(shuāng)螺(luó)杆無(wú)油容(róng)積式壓(yā)縮與(yǔ)高(gāo)耐(nài)腐蝕表(biǎo)麵(miàn)處理兩大核心技術(shù)，以(yǐ)980m³/h最大抽(chōu)速，≤0.6Pa極限壓(yā)力，專(zhuān)為(wéi)腐蝕性氣體(tǐ)和(hé)粉(fěn)末(mò)排(pái)出工藝(yì)優(yōu)化等綜(zōng)合性(xìng)能(néng)，成(chéng)為麵(miàn)向半(bàn)導體蝕刻設(shè)備(bèi)，灰(huī)化設(shè)備，真空熱處理(lǐ)爐(lú)，鋰電池製造設備(bèi)等(děng)涉及(jí)腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣(qì)體和(hé)粉(fěn)塵(chén)排出(chū)的(dí)嚴苛工(gōng)藝(yì)場景的可(kě)靠(kào)選擇(zé)。該產(chǎn)品目前深(shēn)圳倉庫有現(xiàn)貨供應，可滿足客戶(hù)的快(kuài)速交付需求。
MS1200A在傳統LS型(xíng)螺(luó)杆幹(gān)泵(bèng)基礎(chǔ)上(shàng)進行了針對性改(gǎi)進，轉子(zǐ)軸和氣(qì)缸等(děng)主要(yào)部(bù)件經過(guò)特殊表麵處(chǔ)理(lǐ)，實現(xiàn)了高耐(nài)腐(fǔ)蝕性(xìng)。同時(shí)，愛發(fā)科獨特的螺(luó)旋(xuán)式轉(zhuǎn)子軸(zhóu)設(shè)計實現(xiàn)了高(gāo)粉末排出性(xìng)能(néng)。該真空泵專為涉及腐蝕(shí)性(xìng)氣體和粉末排(pái)出的真空工藝而(ér)設(shè)計，可(kě)有(yǒu)效(xiào)應(yīng)對(duì)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)蝕刻，灰化等工(gōng)藝(yì)中(zhōng)氟(fú)化物(wù)，氯(lǜ)化物(wù)等腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣體(tǐ)對(duì)泵體的(dí)化(huà)學(xué)侵(qīn)蝕。
強勁(jìn)抽(chōu)速與穩(wěn)定的極限(xiàn)壓(yā)力(lì)
MS1200A的最大(dà)抽速達(dá)980m³/h。極(jí)限壓力(lì)為≤0.6Pa。從(cóng)大(dà)氣(qì)壓到極限壓力(lì)，整個(gè)壓(yā)力範(fàn)圍內(nèi)均(jūn)可連續運行。這一(yī)性能指標使其可快速(sù)建立大(dà)容積腔體的(dí)真空環(huán)境，適(shì)配批量生產型工業(yè)產(chǎn)綫(xiàn)的節(jié)拍(pāi)要求。
MS1200A在極(jí)限壓力下(xià)的功(gōng)耗約為3.1kW。運行噪音為(wéi)64dB(A) 。無需軸(zhóu)封(fēng)氣體(tǐ)，降(jiàng)低了輔助(zhù)氣體的消(xiāo)耗(hào)。冷卻水量需大於(yú)4.0L/min。
寬(kuān)電壓(yā)適(shì)配與(yǔ)標(biāo)準認(rèn)證(zhèng)
MS1200A搭(dā)載多電(diàn)壓電(diàn)機，支(zhī)持(chí)三相50/60Hz，AC200-240V±10%或AC380-480V±10% 兩種(zhǒng)電源(yuán)規格。產品已(yǐ)通過(guò)CE，cTUVus國際(jì)標(biāo)準認(rèn)證。主機(jī)選(xuǎn)項(xiàng)包括200V或(huò)400V級電(diàn)源(yuán)電壓(yā)，氟(fú)橡(xiàng)膠（FKM）或全氟(fú)橡膠（FFKM）密封材料(liào)等(děng)。外(wài)部選項(xiàng)包(bāo)括外殼(ké)排氣口，抗震(zhèn)固定支(zhī)架(jià)，吹掃氣閥等。
MS1200A標(biāo)準(zhǔn)配件(jiàn)包括快速使用手(shǒu)冊(cè)，電源(yuán)連(lián)接(jiē)器(qì)，防(fáng)水電纜(lǎn)夾(jiā)，信號連接(jiē)器，電源(yuán)連接器(qì)保護罩(zhào)，專(zhuān)用消音器套(tào)裝。吸(xī)氣口(kǒu)采(cǎi)用ISO-F-100標(biāo)準接口。排氣(qì)口為(wéi)KF40。整機(jī)重(zhòng)量(liáng)264kg。
產品係(xì)列對(duì)比(bǐ)
MS係(xì)列提供多型號選(xuǎn)擇：
| 型(xíng)號(hào) | 最(zuì)大抽速（m³/h） | 極限(xiàn)壓力（Pa） | 功耗(hào)（kW） | 噪(zào)音（dB(A)） | 重量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|
| MS120A | 115 | ≤0.6 | 2.4 | 61 | 139 |
| MS600A | 560 | ≤0.1 | 3.1 | 62 | 241 |
| MS1200A | 980 | ≤0.6 | 3.1 | 64 | 264 |
數據(jù)來源(yuán)：愛發(fā)科產品規格表
MS1200A廣泛(fàn)應用(yòng)於半導(dǎo)體(tǐ)與工(gōng)業製造(zào)領域(yù)：在半導體蝕(shí)刻(kè)設備，灰化(huà)設(shè)備，等離(lí)子(zǐ)清(qīng)洗設備的真空(kōng)排(pái)氣(qì)係統(tǒng)中(zhōng)應(yīng)對腐(fǔ)蝕性氣(qì)體(tǐ)；在真空(kōng)熱(rè)處理(lǐ)爐，燒(shāo)結爐(lú)，滲碳爐等熱(rè)處理(lǐ)設(shè)備中(zhōng)提(tí)供穩(wěn)定(dìng)真(zhēn)空；在鋰(lǐ)電池製造設備(bèi)，電極幹燥設(shè)備，脫氣設(shè)備，液體(tǐ)噴(pēn)射設備的真空係統(tǒng)中發揮作用；在醫療和(hé)食品相關(guān)設備的真空(kōng)排(pái)氣冷凍(dòng)幹燥，真空幹(gān)燥(zào)等工(gōng)藝中配套使(shǐ)用。
MS1200A目(mù)前深圳倉庫有現貨供應(yīng)，可滿足客(kè)戶(hù)的(dí)快速(sù)交(jiāo)付需(xū)求。有采(cǎi)購(gòu)意向(xiàng)的客戶(hù)可聯係授權(quán)經(jīng)銷商(shāng)確(què)認具體庫存數量與(yǔ)交(jiāo)付周(zhōu)期。
購買(mǎi)渠(qú)道：本(běn)產(chǎn)品由深(shēn)圳市京(jīng)都玉崎電子有限(xiàn)公司負(fù)責(zé)中國區(qū)銷售與(yǔ)技術支(zhī)持(chí)。公司地址(zhǐ)位於(yú)深圳(zhèn)市龍華(huá)新(xīn)區梅龍大(dà)道(dào)906號創(chuàng)業樓(lóu)。客戶(hù)可(kě)通(tōng)過化(huà)工儀器網商鋪或直接(jiē)聯係銷(xiāo)售(shòu)團隊(duì)進行產(chǎn)品(pǐn)咨(zī)詢與訂購。深圳(zhèn)京都(dū)玉(yù)崎(qí)憑借(jiè)供應(yīng)鏈體(tǐ)係(xì)和專業技術(shù)服務團隊(duì)，為客(kè)戶(hù)提供從(cóng)選型(xíng)咨詢，現貨供(gōng)應(yīng)到(dào)售後(hòu)支持的一(yī)站(zhàn)式(shì)采(cǎi)購體驗。
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