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技(jì)術文章(zhāng)/ Technical Articles
日本愛發科ULVACLR3601-R多(duō)級(jí)羅(luó)茨型(xíng)幹式真(zhēn)空泵(bèng)技術介(jiè)紹(shào)日(rì)本愛發(fā)科ULVACLR3601-R多(duō)級羅(luó)茨(cí)型幹式真空(kōng)泵技術介(jiè)紹日(rì)本愛發科ULVACLR3601-R多級羅(luó)茨(cí)型(xíng)幹式真空(kōng)泵技術介紹(shào)：低溫(wēn)均熱化原理與PVD/LoadLock高(gāo)負荷真(zhēn)空應用(yòng)在半導(dǎo)體製(zhì)造，FPD（平(píng)板(bǎn)顯(xiǎn)示(shì)器）生產及(jí)真(zhēn)空鍍膜(mó)等(děng)前沿(yán)工業(yè)領(lǐng)域(yù)，裝卸腔室（LoadLockChamber）和PVD（物理氣相沉積(jī)）工藝(yì)對真空(kōng)係統的(dí)要(yào)求日益嚴苛——不僅(jǐn)需要快速排氣(qì)，高頻(pín)啟停，還(huán)對潔(jié)淨(jìng)度(dù)和(hé)能效提(tí)出了更高(gāo)的標準(zhǔn)。傳(chuán)統(tǒng)真空...
日(rì)本愛發(fā)科ULVACVS650B單級油(yóu)旋(xuán)片(piàn)真(zhēn)空泵技術介紹日本(běn)愛發(fā)科(kē)ULVACVS650B單(dān)級(jí)油旋片真(zhēn)空泵(bèng)技術介紹日本愛發(fā)科ULVACVS650B單(dān)級(jí)油旋片真空(kōng)泵(bèng)技(jì)術(shù)介紹：大(dà)抽速(sù)單(dān)級壓(yā)縮(suō)原(yuán)理與(yǔ)工業(yè)批量(liáng)真空應(yīng)用(yòng)在(zài)真空鍍膜(mó)，真空熱(rè)處理，真(zhēn)空(kōng)檢漏(lòu)及空(kōng)間(jiān)環境模擬等大容量(liáng)真空係(xì)統中，真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)不僅需要提供足夠高(gāo)的抽速(sù)以滿足(zú)快速(sù)抽(chōu)空(kōng)的(dí)要求，還需在長時間連(lián)續(xù)運行中保(bǎo)持(chí)穩定的排氣(qì)性能(néng)。愛(ài)發(fā)科(kē)（ULVAC）VS係列單級油旋(xuán)片(piàn)式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)正是(shì)針對這一需求而開發，其(qí)中VS650B作(zuò)為該(gāi)係列的中大(dà)抽速(sù)代表(biǎo)型號(hào)...
日本愛發科YTP-50MB渦(wō)輪(lún)分子泵(bèng)技(jì)術介紹(shào)日(rì)本愛發(fā)科YTP-50MB渦輪(lún)分子泵(bèng)技術介(jiè)紹(shào)愛發科YTP-50MB渦輪分子泵技術介(jiè)紹(shào)：高速(sù)轉(zhuǎn)子動(dòng)量傳遞(dì)原理與(yǔ)高(gāo)真空(kōng)環境構建在(zài)半導體(tǐ)製造，分(fēn)析儀(yí)器(qì)，科研(yán)實驗及高純(chún)氣(qì)體處(chǔ)理等對高真空和(hé)潔淨(jìng)度(dù)有(yǒu)要求(qiú)的場(cháng)景中，渦輪分子(zǐ)泵是(shì)實(shí)現(xiàn)10⁻⁶Pa乃(nǎi)至更高真空度的關鍵設備。愛發科(kē)（ULVAC）YTP-50MB渦輪分子泵作為(wéi)YTP係列(liè)Ver.B的(dí)代(dài)表(biǎo)型(xíng)號，依托高速(sù)轉(zhuǎn)子動量(liáng)傳遞(dì)原理與(yǔ)陶瓷(cí)球(qiú)軸承技術，以(yǐ)高(gāo)抽速，低(dī)噪音(yīn)，從(cóng)大(dà)氣(qì)壓到高(gāo)真(zhēn)空的連續排氣能力(lì)等(děng)特(tè)性，...
日本(běn)愛發科HR60高(gāo)溫區域均熱(rè)化幹式真空(kōng)泵(bèng)技(jì)術介紹(shào)日(rì)本愛發(fā)科(kē)HR60高溫區域均(jūn)熱化(huà)幹式真(zhēn)空泵技術介(jiè)紹(shào)愛發(fā)科HR60高(gāo)溫區(qū)域均熱(rè)化幹(gān)式真(zhēn)空(kōng)泵技術(shù)介(jiè)紹(shào)：多級羅(luó)茨(cí)無油(yóu)壓縮原理(lǐ)與半導體(tǐ)CVD工藝(yì)應(yīng)用(yòng)在半導體(tǐ)CVD（化學(xué)氣相(xiāng)沉積(jī)），幹(gān)法(fǎ)刻蝕等(děng)高溫工藝場(cháng)景中(zhōng)介(jiè)紹(shào)，工(gōng)藝(yì)氣體(tǐ)常含(hán)有氯(lǜ)化(huà)物(wù)，氟(fú)化物等腐蝕性(xìng)成(chéng)分(fēn)及(jí)升華(huá)性副(fù)產物。這(zhè)類物質(zhì)在低溫(wēn)環(huán)境下(xià)容(róng)易冷凝沉積(jī)，導(dǎo)致泵內部(bù)件(jiàn)腐(fǔ)蝕，轉子卡滯甚至(zhì)停機。愛(ài)發科（ULVAC）HR係列高(gāo)溫區(qū)域(yù)均(jūn)熱(rè)化(huà)幹式真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)針對這(zhè)一(yī)痛點(diǎn)開發(fā)，其(qí)中HR60作(zuò)為該係(xì)列(liè)的(dí)入(rù)門(mén)型(xíng)號...
日本(běn)愛(ài)發科(kē)LS120A螺(luó)杆型(xíng)幹(gān)式真空(kōng)泵(bèng)技術(shù)介紹(shào)日本(běn)愛(ài)發(fā)科(kē)LS120A螺杆(gān)型(xíng)幹(gān)式真空泵技(jì)術介紹日(rì)本(běn)愛發(fā)科(kē)LS120A螺杆型(xíng)幹式(shì)真空(kōng)泵(bèng)技(jì)術(shù)介(jiè)紹(shào)：雙螺杆(gān)無(wú)油(yóu)壓(yā)縮原(yuán)理與綠色潔淨(jìng)真(zhēn)空應用在半導(dǎo)體製(zhì)造(zào)，光(guāng)伏(fú)鍍(dù)膜，平(píng)板顯示(shì)及精(jīng)密(mì)科(kē)研(yán)等(děng)製(zhì)造領域(yù)介紹(shào)，潔淨無油的(dí)真空環境是(shì)保障(zhàng)產品良率與(yǔ)工(gōng)藝穩(wěn)定(dìng)性的核(hé)心前提。愛發科（ULVAC）LS係(xì)列螺杆型(xíng)幹式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵作為兼(jiān)顧高(gāo)速排氣(qì)與(yǔ)低(dī)功(gōng)耗的(dí)產(chǎn)品，依托雙螺(luó)杆(gān)無(wú)油容積(jī)式壓(yā)縮技術，以高抽(chōu)速，低能(néng)耗，無(wú)油(yóu)潔淨，靜音運(yùn)行四大(dà)核(hé)心(xīn)優勢(shì)，成為麵(miàn)向潔淨(jìng)工(gōng)藝與輕(qīng)工藝(yì)多(duō)元場(cháng)景的...
日本愛(ài)發(fā)科ULVACPRC-003A密閉(bì)式電(diàn)機羅(luó)茨泵(bèng)技術(shù)介(jiè)紹(shào)日本愛發(fā)科(kē)ULVACPRC-003A密(mì)閉式電機羅茨(cí)泵技術介紹日本(běn)愛(ài)發科ULVACPRC-003A密(mì)閉式電機(jī)羅茨泵技術介紹：無(wú)油容(róng)積式(shì)壓縮(suō)原(yuán)理(lǐ)與半(bàn)導體潔淨真空應用在半(bàn)導體製(zhì)造，液(yè)晶麵板(bǎn)生產及精密鍍膜等對(duì)潔(jié)淨(jìng)度要求高的工藝(yì)場景(jǐng)中，真空(kōng)係(xì)統(tǒng)的油汙(wū)染問題直接(jiē)關(guān)係到產(chǎn)品(pǐn)良率。傳統(tǒng)的機(jī)械增(zēng)壓(yā)泵(bèng)（羅(luó)茨泵）通(tōng)過軸封(fēng)與電機連(lián)接，長期使(shǐ)用後密(mì)封(fēng)件磨(mó)損會導(dǎo)致(zhì)潤(rùn)滑油泄(xiè)漏，汙(wū)染(rǎn)真空環(huán)境。愛(ài)發(fā)科（ULVAC）PRC係(xì)列密(mì)閉式(shì)電機(jī)羅(luó)茨泵(bèng)針對(duì)這一(yī)行...
日本愛發科HELIOT711W1氦質譜(pǔ)檢漏儀技術介紹日本(běn)愛(ài)發科HELIOT711W1氦質譜檢漏儀技術介(jiè)紹愛(ài)發科HELIOT711W1氦質譜檢漏儀(yí)技術(shù)介紹：磁(cí)場偏(piān)向型質譜(pǔ)分析(xī)原理(lǐ)與高(gāo)精(jīng)度(dù)氣(qì)密性(xìng)檢(jiǎn)測(cè)應用(yòng)在(zài)半導體封(fēng)裝，新(xīn)能(néng)源電池，真空裝置製(zhì)造及食(shí)品(pǐn)醫藥(yào)包(bāo)裝等對氣密性(xìng)有(yǒu)嚴格要求(qiú)的領(lǐng)域介(jiè)紹，微小(xiǎo)泄漏(lòu)的精(jīng)準(zhǔn)檢測直接關(guān)係到(dào)產品可靠性與(yǔ)安(ān)全(quán)性。愛發(fā)科（ULVAC）HELIOT711W1氦質譜檢漏(lòu)儀(yí)依(yī)托磁場90度偏向(xiàng)型(xíng)質譜(pǔ)分析(xī)原(yuán)理與自由選擇流(liú)量(liáng)方式(shì)排氣(qì)係(xì)統(tǒng)，以高(gāo)靈(líng)敏(mǐn)度(dù)，快速啟(qǐ)動，智能(néng)操控等(děng)特(tè)性(xìng)...
日(rì)本愛發科(kē)MS120A螺杆(gān)型(xíng)幹式真(zhēn)空(kōng)泵技(jì)術介紹日本(běn)愛發科MS120A螺杆型(xíng)幹式真空泵技術介(jiè)紹(shào)愛發科MS120A螺杆型(xíng)幹式(shì)真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)技(jì)術(shù)介(jiè)紹(shào)：雙螺杆(gān)無油(yóu)壓(yā)縮原理與耐(nài)腐蝕工藝應用在半導體刻蝕，光伏鍍(dù)膜，平(píng)板(bǎn)顯(xiǎn)示及化(huà)學工(gōng)業等(děng)涉(shè)及(jí)腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣體(tǐ)和粉(fěn)塵排(pái)出的(dí)工(gōng)藝場景(jǐng)中介(jiè)紹，真空(kōng)泵不(bù)僅(jǐn)需(xū)要提供潔(jié)淨無(wú)油的真(zhēn)空環(huán)境(jìng)，還需具備(bèi)耐受(shòu)化學侵(qīn)蝕(shí)和顆粒物(wù)衝擊的能力(lì)。愛(ài)發科(kē)（ULVAC）MS120A螺杆(gān)型(xíng)幹(gān)式(shì)真空(kōng)泵(bèng)作為(wéi)MS係(xì)列的代表(biǎo)型(xíng)號，在(zài)LS係列(liè)的基礎上(shàng)針對耐腐(fǔ)蝕性和粉(fěn)末排出(chū)性(xìng)能進行了專項(xiàng)提(tí)升(shēng)，依托雙(shuāng)螺(luó)杆(gān)無(wú)油...
日本愛發科ULVACHR90多(duō)級羅(luó)茨(cí)型(xíng)幹(gān)式(shì)真空(kōng)泵技(jì)術介(jiè)紹日(rì)本愛(ài)發科(kē)ULVACHR90多(duō)級(jí)羅茨型幹(gān)式(shì)真(zhēn)空泵技(jì)術介紹愛發科HR90多(duō)級羅茨型幹(gān)式(shì)真空(kōng)泵技術(shù)介(jiè)紹：高溫區域均(jūn)熱化(huà)原(yuán)理(lǐ)與半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)CVD/刻(kè)蝕工藝應用(yòng)在半導(dǎo)體(tǐ)CVD（化學氣相沉積），幹(gān)法刻(kè)蝕及(jí)灰(huī)化（Ashing）等(děng)工藝(yì)中(zhōng)，反應(yīng)氣(qì)體(tǐ)常含(hán)有氯化(huà)物，氟化物等(děng)腐蝕性成分(fēn)，工藝過程中還(huán)會生成大量(liáng)升(shēng)華(huá)性副產物(wù)。這些(xiē)副產物(wù)在低溫(wēn)環(huán)境下(xià)容(róng)易(yì)冷凝(níng)沉(chén)積(jī)，附著於(yú)泵(bèng)腔內(nèi)壁(bì)和轉子(zǐ)表麵(miàn)，導致部(bù)件腐(fǔ)蝕，轉子卡滯(zhì)乃(nǎi)至(zhì)設備停機(jī)。愛發(fā)科(kē)（ULVAC）HR係列高...
日(rì)本(běn)愛發科ULVACDA-121D大氣(qì)壓式幹式真(zhēn)空泵技(jì)術(shù)介紹日本(běn)愛(ài)發科ULVACDA-121D大氣(qì)壓式(shì)幹(gān)式(shì)真空泵技(jì)術介紹日本愛發(fā)科ULVACDA-121D大氣壓式幹(gān)式真(zhēn)空(kōng)泵技(jì)術介(jiè)紹：擺(bǎi)動活(huó)塞(sāi)無(wú)油(yóu)壓(yā)縮原理與工(gōng)業真(zhēn)空(kōng)應(yīng)用(yòng)在真空(kōng)吸盤，自動(dòng)包(bāo)裝設備(bèi)，醫療器械及半導體(tǐ)檢測等工業場景中(zhōng)，對真空泵(bèng)的要求(qiú)往(wǎng)往不(bù)是極限高(gāo)真(zhēn)空，而是在(zài)大氣壓(yā)附(fù)近持(chí)續(xù)穩定地提(tí)供(gōng)負壓，同時要(yào)求(qiú)設備無(wú)油，耐用，易(yì)維(wéi)護。愛發科（ULVAC）DA-121D大氣(qì)壓(yā)式(shì)幹(gān)式真空泵正是(shì)針(zhēn)對(duì)這(zhè)一(yī)需求(qiú)而開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品(pǐn)。作為擺動(dòng)活塞型(xíng)幹式(shì)真(zhēn)...
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